JPH0230839Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、IC等の半導体素子のパツケージを
キヤリアユニツトを使用して搬送しつつボンデイ
ング作業を行うに際し、ボンデイング作業を合理
的かつ能率的に行うことができるボンデイング装
置に関するものである。

〔従来の技術〕

IC等の半導体素子のパツケージのボンデイン
グ作業においては、被ボンデイング体であるパツ
ケージをボンデイングステーシヨンに搬送するた
めに、多くの品種のパツケージの寸法に適合する
ようにした、パツケージ搬送用のキヤリアユニツ
トが使用されている。

例えば、第４図に示すように、水平方向（Ｘ，
Ｙ方向）に移動するXYテーブル１上に支持され
たパツケージトレー２上に配列されたボンデイン
グされるべきパツケージ３が、真空又はマグネツ
トを利用したローダ４によつて吸引、移送され、
途中で要すれば位置修正されたのち、走行路５の
ローデイング位置にあるキヤリアユニツト６にロ
ーデイングされ、図示しない送り爪等によつてキ
ヤリアユニツト６は走行路５を走行し、パターン
認識カメラ７でパツケージ３のパターン認識を行
つて位置ズレを検出したのち、ボンデイングステ
ーシヨン８にパツケージ３を搬送する。ボンデイ
ングステーシヨン８においては、受台９の上昇に
よつてキヤリアユニツト６が持ち上げられて、支
持され、位置ズレが修正されたのち、ボンデイン
グヘツド１０に取り付けられたボンデイングツー
ル１０ａによつてパツケージ３の必要なボンデイ
ング作業が行われる。その後受台９は下降し、キ
ヤリアユニツト６はアンローデイング位置にまで
走行し、ローダ４と同様のアンローダ１１によつ
て、ボンデイング済のパツケージ３を回収部の
XYテーブル１２に支持されたパツケージトレー
１３に回収している。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、このようにキヤリアユニツト６
を使用してパツケージ３のボンデイング作業を行
う場合には、ボンデイングステーシヨン８におけ
るキヤリアユニツト６の持ち上げ、水平方向
（Ｘ，Ｙ方向）、回転方向（θ方向）及び上下方向
（Ｚ方向）等の位置修正は、キヤリアユニツト６
と一緒に行われており、パツケージ３のみを対象
とする場合に比較して、キヤリアユニツト６の分
だけ体積、重量が大となり、持ち上げ、XYθ方
向の位置修正等に時間を要し、また、大きな質量
を加速するのに要するエネルギーは大とならざる
を得なかつた。また、熱圧着式ボンダの場合は、
キヤリアユニツト６にも熱が伝わり、損失熱量が
大となり、超音波式ボンダの場合は、超音波がキ
ヤリアユニツト６にも伝わり、超音波エネルギー
の損失を生ずる。また、キヤリアユニツト６の縁
が高い場合には、これをかわすため、ボンデイン
グツールのＺ軸の上下ストロークが大となる。

本考案は、このようにキヤリアユニツトにパツ
ケージを載置して搬送する場合、ボンデイングス
テーシヨンにおいてキヤリアユニツトからパツケ
ージを自動的に分離し、パツケージの持ち上げ、
位置修正等をキヤリアユニツトに関係なく、小エ
ネルギーにて能率的に行うことができ、加熱エネ
ルギーの損失を抑制し、ボンデイングの上下スト
ロークを最小となすようにしたボンデイング装置
を提供しようとするものである。

〔問題点を解決するための手段及び作用〕

本考案は、走行路５上に順次移送されるキヤリ
アユニツト６の上面にパツケージ３を載置すると
共にその中心部に貫通孔１６を設け、これをボン
デイングヘツド１０と位置修正爪１７を備えたボ
ンデイングステーシヨン８へ搬送可能とし、ボン
デイングステーシヨン８においてパツケージ吸着
面を有する受台９をキヤリアユニツト６の貫通孔
１６を通して昇降自在に配備したことを特徴とす
るボンデイング装置を提供するものであつて、キ
ヤリアユニツト６でボンデイングステーシヨン８
に搬送されてきたパツケージ３を、貫通孔１６を
通して上昇する受台９により持ち上げてキヤリア
ユニツト６から分離して真空吸着等により支持
し、また位置修正爪１７を水平移動させてパツケ
ージ３の位置修正を行い、パツケージ３の持ち上
げ、位置修正等を小エネルギーにて容易に行い、
加熱エネルギーも小となし、ボンデイングツール
の上下移動を最小とすることができるようにした
ものである。

〔実施例〕

本考案の実施例を図面を参照しながら説明すれ
ば、第１図は超音波ボンデイング装置のボンデイ
ングステーシヨン８の付近のみの説明図であつ
て、パツケージ３の寸法に適合しパツケージ３を
載置したキヤリアユニツト６が走行路５上を走行
し、パツケージ３をボンデイングステーシヨン８
へ搬送するものであるが、キヤリアユニツト６の
中心部には貫通孔１６が設けられ、キヤリアユニ
ツト６がボンデイングステーシヨン８に達したと
きに、昇降する受台９が貫通孔１６内を貫通し、
パツケージ３のみを持ち上げ支持するようになつ
ている。

なお、受台９の上面には、パツケージ３を真空
又はマグネツトで吸着保持するための吸着面が形
成されており、ボンデイングステーシヨン８のパ
ツケージ３上昇位置には水平方向に移動する位置
修正爪１７が配備されている。

したがつて、第２図に示すように、パツケージ
３が載置されたキヤリアユニツト６が移送爪２０
に押されてボンデイングステーシヨン８に至る
と、受台９が上昇してキヤリアユニツト６中心部
の貫通孔１６を貫通してパツケージ３のみを持ち
上げ真空吸着により支持し、位置修正爪１７で水
平方向の位置修正がなされたのち、ボンデイング
ツール１０ａによりボンデイング作業が行われ
る。このとき、受台９はキヤリアユニツト６を支
持することなく、パツケージ３のみを支持するも
のであるから、持ち上げ及びＸ，Ｙ，θ方向の位
置修正のために要するエネルギー及び時間は僅少
ですむことになる。このようにしてボンデイング
作業が終了したときには、受台９を下降させて真
空を破壊し再びパツケージ３をキヤリアユニツト
６に載置し、キヤリアユニツト６はパツケージ３
を回収位置にまで搬送する。

また、第３図示例は本考案の他の実施例を示
し、図示例では熱圧着ボンデイング装置の一部を
示している。即ち、走行路５にプレヒータ１８が
昇降可能に設けられており、このプレヒータ１８
と一体にボンデイング用の受台９が形成され、プ
レヒータ１８の他部にもキヤリアユニツト６の一
回の走行距離に相当する間隙で、キヤリアユニツ
ト６の貫通孔１６を貫通するパツケージ３の持ち
上げ用の受台１９が配備されている。

この第３図示例では、キヤリアユニツト６で搬
送されるパツケージ３はプレヒータ１８で加熱さ
れるものであるが、プレヒータ１８の上昇により
前述したように受台９も上昇してボンデイングの
ためにパツケージ３のみを支持すると共に、受台
１９がボンデイング位置に至る前のパツケージ３
を持ち上げ予熱することになる。このようにし
て、順次パツケージ３は予熱されたのちボンデイ
ングされるが、この場合、パツケージ３はキヤリ
アユニツト６を介することなく直接加熱されるこ
とになり、熱エネルギーが節減される。またボン
デイングステーシヨン８においては、受台９から
受けた熱はキヤリアユニツト６に逃げることなく
有効に利用されるので熱エネルギーの損失が少な
い。

〔考案の効果〕

以上述べたように、本考案は、従来の如くキヤ
リアユニツトと共にパツケージを昇降されること
なく、パツケージのみをキヤリアユニツトから分
離して持ち上げ吸着支持し、さらにパツケージ上
昇位置に水平方向への位置修正爪を配備したもの
であるから、パツケージの持ち上げや位置修正の
ためのエネルギーは少なくてすみ、熱圧着ボンデ
イングにおいては加熱に必要な熱カロリーは少な
くてすみ、しかも極めて能率的に作業を行うこと
ができるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す要部の断面
図、第２図は第１図のボンデイングステーシヨン
付近の詳細説明図、第３図は本考案の他の実施例
を示す要部の断面図、第４図はボンデイング装置
の従来例を示す断面図である。 １……XYテーブル、２……パツケージトレ
ー、３……パツケージ、４……ローダ、５……走
行路、６……キヤリアユニツト、７……パターン
認識カメラ、８……ボンデイングステーシヨン、
９……受台、１０……ボンデイングヘツド、１０
ａ……ボンデイングツール、１１……アンロー
ダ、１２……XYテーブル、１３……パツケージ
トレー、１６……貫通孔、１７……位置修正爪、
１８……プレヒータ、１９……受台、２０……移
送爪。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 走行路５上を順次移送されるキヤリアユニツト
   ６の上面にパツケージ３を載置すると共にその中
   心部に貫通孔１６を設け、これをボンデイングヘ
   ツド１０と位置修正爪１７を備えたボンデイング
   ステーシヨン８へ搬送可能とし、ボンデイングス
   テーシヨン８においてパツケージ吸着面を有する
   受台９をキヤリアユニツト６の貫通孔１６を通し
   て昇降自在に配備したことを特徴とするボンデイ
   ング装置。