JPH023095B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH023095B2 JPH023095B2 JP59086868A JP8686884A JPH023095B2 JP H023095 B2 JPH023095 B2 JP H023095B2 JP 59086868 A JP59086868 A JP 59086868A JP 8686884 A JP8686884 A JP 8686884A JP H023095 B2 JPH023095 B2 JP H023095B2
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Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、半導体装置製造のクリーンルーム
など、一定温度、湿度で高清浄を要する室内へ、
所要の清浄空気を供給する空気調和装置に関す
る。
など、一定温度、湿度で高清浄を要する室内へ、
所要の清浄空気を供給する空気調和装置に関す
る。
従来、この種の空気調和装置として、第１図に
構成図で示すものがあつた。１は比較的大きい異
物を除く金属メツシユ、２は第１粗粒フイルタ、
３は第１エリミネータ、４は外気Ａを金属メツシ
ユ１側から吸込み、装置の後段に圧送する送風
機、５及び６は第２粗粒フイルタ２及び第１エリ
ミネータ３と材者、性能は同一であり、異物を再
度除去する。７は取入れた空気を加熱する加熱
器、８は第１中性能フイルタで、次の第２中性能
フイルタ９とで小さな異物を順次除去する。１０
は通風する空気を加湿又は減湿し適当な湿度に調
整する調湿器、１１は送気を冷却又は加熱し適温
に調整する冷暖房器、１２は送気ダクト、１３は
この送気ダクト１２からの調和空気の微細異物を
除去し、高清浄空気として室１６内に送る高性能
（HEPA）フイルタである。１４は金属メツシユ
１の下部に設けられ、水滴などによる水を排水す
るドレン抜きで、Ｃは排水を示す。１５は送気ダ
クト１２の途中から余分の空気を排気する排気管
である。
構成図で示すものがあつた。１は比較的大きい異
物を除く金属メツシユ、２は第１粗粒フイルタ、
３は第１エリミネータ、４は外気Ａを金属メツシ
ユ１側から吸込み、装置の後段に圧送する送風
機、５及び６は第２粗粒フイルタ２及び第１エリ
ミネータ３と材者、性能は同一であり、異物を再
度除去する。７は取入れた空気を加熱する加熱
器、８は第１中性能フイルタで、次の第２中性能
フイルタ９とで小さな異物を順次除去する。１０
は通風する空気を加湿又は減湿し適当な湿度に調
整する調湿器、１１は送気を冷却又は加熱し適温
に調整する冷暖房器、１２は送気ダクト、１３は
この送気ダクト１２からの調和空気の微細異物を
除去し、高清浄空気として室１６内に送る高性能
（HEPA）フイルタである。１４は金属メツシユ
１の下部に設けられ、水滴などによる水を排水す
るドレン抜きで、Ｃは排水を示す。１５は送気ダ
クト１２の途中から余分の空気を排気する排気管
である。
上記従来装置の動作は、次のようになる。送風
機４により吸込まれた外気は、まず、金属メツシ
ユ１により主に大きな水滴が虫等が除去される。
このメツシユ１は60〜100番の金属網等で構成さ
れてある。つづいて、第１粗粒フイルタ２により
メツシユ１で除去できなかつた比較的大きいごみ
を除去し、後段フイルタの詰まりを防止する。第
１エリミネータ３は大きなミスト粒子を除去する
装置で、第１粗粒フイルタ２を通過した３〜5μ
ｍ径以上のミスト、水滴、微粒子を60〜70％除去
する。
機４により吸込まれた外気は、まず、金属メツシ
ユ１により主に大きな水滴が虫等が除去される。
このメツシユ１は60〜100番の金属網等で構成さ
れてある。つづいて、第１粗粒フイルタ２により
メツシユ１で除去できなかつた比較的大きいごみ
を除去し、後段フイルタの詰まりを防止する。第
１エリミネータ３は大きなミスト粒子を除去する
装置で、第１粗粒フイルタ２を通過した３〜5μ
ｍ径以上のミスト、水滴、微粒子を60〜70％除去
する。
つづいて、送風機４により押出された送気は、
第２粗粒フイルタ５及び第２エリミネータ６によ
り、これまで除去されなかつた比較的大径の粒子
が再度除去される。
第２粗粒フイルタ５及び第２エリミネータ６によ
り、これまで除去されなかつた比較的大径の粒子
が再度除去される。
次に、加熱器７は、例えば海塩粒子などのよう
に潮解性をもつた粒子が再びミスト、水滴状の粒
子になつて、中性能フイルタ８，９などがミスト
通過や捕集じんあいの再飛散などを起こすことの
ないように、流通空気を適温に加熱して相対湿度
を除去し、対象イオン物質の潮解湿度以下に制御
する。このような構成により、まず、外部環境の
変化、特に、強風時の雨などの場合に入り込んで
くるミスト、水滴の除去に有効であるようにして
いる。この前段でミスト、水滴はほとんど除去さ
れるので、中段の第１中性能フイルタ８、第２中
性能フイルタ９の負坦が大きく抵減され、さら
に、フイルタの性能が有効に発揮される。
に潮解性をもつた粒子が再びミスト、水滴状の粒
子になつて、中性能フイルタ８，９などがミスト
通過や捕集じんあいの再飛散などを起こすことの
ないように、流通空気を適温に加熱して相対湿度
を除去し、対象イオン物質の潮解湿度以下に制御
する。このような構成により、まず、外部環境の
変化、特に、強風時の雨などの場合に入り込んで
くるミスト、水滴の除去に有効であるようにして
いる。この前段でミスト、水滴はほとんど除去さ
れるので、中段の第１中性能フイルタ８、第２中
性能フイルタ９の負坦が大きく抵減され、さら
に、フイルタの性能が有効に発揮される。
この第１中性能フイルタ８で粒径0.3μｍ以上の
ごみを50〜80％以上除去し、さらに、第２中性能
フイルタ９で粒径0.3μｍ以上のごみを約70〜90％
以上除去する。ついで、調湿器１０により一定湿
度に調整し、冷暖房器１１により一定温度に制御
し、この空気を送風ダクト１２により後段の各高
性能フイルタ１３に送る。このフイルタ１３で粒
径0.1μｍ以上のごみが99.97％以上除去され、高
清浄な空気を室１６内に送込む。
ごみを50〜80％以上除去し、さらに、第２中性能
フイルタ９で粒径0.3μｍ以上のごみを約70〜90％
以上除去する。ついで、調湿器１０により一定湿
度に調整し、冷暖房器１１により一定温度に制御
し、この空気を送風ダクト１２により後段の各高
性能フイルタ１３に送る。このフイルタ１３で粒
径0.1μｍ以上のごみが99.97％以上除去され、高
清浄な空気を室１６内に送込む。
上記従来の装置は、外気中にごみの混入量が多
くなると、中段第２中性能フイルタ９では、除去
効率70〜90％以上であつて不十分であり、また、
はつ水性が悪く、捕集じんあいを再飛散しやすか
つた。
くなると、中段第２中性能フイルタ９では、除去
効率70〜90％以上であつて不十分であり、また、
はつ水性が悪く、捕集じんあいを再飛散しやすか
つた。
この発明は、上記従来装置の欠点を除去するた
めになされたもので、中段のフイルタに、中性能
フイルタの次段として、良はつ水性の低圧損高性
能フイルタを設け、じんあいの捕集効率を高め、
再飛散をなくする空気調和装置を提供することを
目的としている。
めになされたもので、中段のフイルタに、中性能
フイルタの次段として、良はつ水性の低圧損高性
能フイルタを設け、じんあいの捕集効率を高め、
再飛散をなくする空気調和装置を提供することを
目的としている。
第２図はこの発明の一実施例による空気調和装
置の構成図であり、１〜８，１０〜１６は上記従
来装置を同一のものである。２０は中段のフイル
タ群として中性能フイルタ８の次段に設けられ
た、良はつ水の低圧損高性能（HEPA）フイル
タである。
置の構成図であり、１〜８，１０〜１６は上記従
来装置を同一のものである。２０は中段のフイル
タ群として中性能フイルタ８の次段に設けられ
た、良はつ水の低圧損高性能（HEPA）フイル
タである。
上記一実施例の装置の動作は、次のようにな
る。送風機４により吸込まれた外気は、前段フイ
ルタ群のうちのメツシユ１、第１粗粒フイルタ
２、第１エリミネータ３を通り、従来装置と同様
に、ミスト、水滴、微粒子が60〜70％除去され
る。つづいて、送風機４により押出された空気
は、前段フイルタの第２粗粒フイルタ５及び第２
エリミネータ６により、上記従来装置と同様に、
これまで除去されなかつた大径粒子が再度除去さ
れる。次に、加熱器７により従来のものと同様
に、送気を適温に加熱し相対湿度を除去する。こ
のように処理された送気は、上記従来のものと同
様に中段フイルタのうちの中性能フイルタ８によ
り、粒径0.3μｍ以上のごみが50〜80％以上除去さ
れる。
る。送風機４により吸込まれた外気は、前段フイ
ルタ群のうちのメツシユ１、第１粗粒フイルタ
２、第１エリミネータ３を通り、従来装置と同様
に、ミスト、水滴、微粒子が60〜70％除去され
る。つづいて、送風機４により押出された空気
は、前段フイルタの第２粗粒フイルタ５及び第２
エリミネータ６により、上記従来装置と同様に、
これまで除去されなかつた大径粒子が再度除去さ
れる。次に、加熱器７により従来のものと同様
に、送気を適温に加熱し相対湿度を除去する。こ
のように処理された送気は、上記従来のものと同
様に中段フイルタのうちの中性能フイルタ８によ
り、粒径0.3μｍ以上のごみが50〜80％以上除去さ
れる。
次段の低圧損高性能フイルタ２０は、従来の高
性能フイルタよりはつ水性を強化してあり、0.3μ
ｍ以上のごみを99.97％以上除去する。このよう
に微細ごみが除去された送気は、調湿器１０によ
り従来装置と同様に、一定湿度に調整され、冷暖
房器１１で一定温度に制御され、送風ダクト１２
に導かれ後段の高性能フイルタ１３を通る。ここ
で、粒径0.1以上のごみが99.97％以上除かれ、室
１６内へ送込まれる。
性能フイルタよりはつ水性を強化してあり、0.3μ
ｍ以上のごみを99.97％以上除去する。このよう
に微細ごみが除去された送気は、調湿器１０によ
り従来装置と同様に、一定湿度に調整され、冷暖
房器１１で一定温度に制御され、送風ダクト１２
に導かれ後段の高性能フイルタ１３を通る。ここ
で、粒径0.1以上のごみが99.97％以上除かれ、室
１６内へ送込まれる。
なお、上記実施例では、前段フイルタ群とし
て、メツシユ１、第１粗粒フイルタ２、第１エリ
ミネータ３、送風機４、第２粗粒フイルタ５、第
２エリミネータ６の順に構成したが、加熱器７の
加温能力、中段の中性能フイルタ８及び低圧損高
性能フイルタ２０への負坦を考慮したうえ、外気
環境に応じた構成変更及びフイルタの種類変更や
増減をしてもよい。
て、メツシユ１、第１粗粒フイルタ２、第１エリ
ミネータ３、送風機４、第２粗粒フイルタ５、第
２エリミネータ６の順に構成したが、加熱器７の
加温能力、中段の中性能フイルタ８及び低圧損高
性能フイルタ２０への負坦を考慮したうえ、外気
環境に応じた構成変更及びフイルタの種類変更や
増減をしてもよい。
また、上記実施例ではドレン抜き１４を金属メ
ツシユ１にのみ設けたが、この後の各フイルタ部
にも設けてもよい。
ツシユ１にのみ設けたが、この後の各フイルタ部
にも設けてもよい。
以上のように、この発明によれば、中段のフイ
ルタに、中性能フイルタの次段として、良はつ水
性の低圧損高性能フイルタを設けたので、中段で
じんあいの捕集効率が高められ、再飛散をなく
し、外気状態が不順であつても適正に調和した高
清浄な空気を安定して供給することができる。
ルタに、中性能フイルタの次段として、良はつ水
性の低圧損高性能フイルタを設けたので、中段で
じんあいの捕集効率が高められ、再飛散をなく
し、外気状態が不順であつても適正に調和した高
清浄な空気を安定して供給することができる。
第１図は従来の空気調和装置を示す構成図、第
２図はこの発明の一実施例による空気調和装置を
示す構成図である。 １……金属メツシユ、２……第１粗粒フイル
タ、３……第１エリミネータ、４……送風機、５
……第２粗粒フイルタ、６……第２エリミネー
タ、７……加熱器、８……中性能フイルタ、１０
……調湿器、１１……冷暖房器、１２……送風ダ
クト、１３……高性能フイルタ、２０……低圧損
高性能フイルタ。なお、図中同一符号は同一又は
相当部分を示す。
２図はこの発明の一実施例による空気調和装置を
示す構成図である。 １……金属メツシユ、２……第１粗粒フイル
タ、３……第１エリミネータ、４……送風機、５
……第２粗粒フイルタ、６……第２エリミネー
タ、７……加熱器、８……中性能フイルタ、１０
……調湿器、１１……冷暖房器、１２……送風ダ
クト、１３……高性能フイルタ、２０……低圧損
高性能フイルタ。なお、図中同一符号は同一又は
相当部分を示す。
Claims (1)
- １ 送風機により外気を吸込み前段のフイルタ群
に順次通し、外気中の大き目から細目の異物を除
去し、この送気を加熱器により適温に加熱し相対
湿度を除去し、中段のフイルタ群に通して微粒の
異物を除去し、この送気を調湿器により調湿し、
冷暖房器により適温にしてから後段の高性能フイ
ルタに通し、極微粒異物を除去して清浄空気を室
内に送り込むようにした装置において、上記中段
のフイルタ群を中性能フイルタと、このフイルタ
の次段の良はつ水性の低圧損高性能フイルタとに
より構成したことを特徴とする空気調和装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59086868A JPS60232442A (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 空気調和装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59086868A JPS60232442A (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 空気調和装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60232442A JPS60232442A (ja) | 1985-11-19 |
| JPH023095B2 true JPH023095B2 (ja) | 1990-01-22 |
Family
ID=13898795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59086868A Granted JPS60232442A (ja) | 1984-04-28 | 1984-04-28 | 空気調和装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60232442A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0694011B2 (ja) * | 1988-12-20 | 1994-11-24 | 株式会社東芝 | 空気清浄装置 |
| JPH083901Y2 (ja) * | 1990-06-27 | 1996-01-31 | 村田機械株式会社 | 冷却機能付きクリーン対応保管庫 |
| KR20050063592A (ko) | 2003-12-22 | 2005-06-28 | 삼성전자주식회사 | 공기청정기 |
| JP6901747B2 (ja) * | 2016-11-15 | 2021-07-14 | 伸和コントロールズ株式会社 | 加湿槽付き空調機 |
-
1984
- 1984-04-28 JP JP59086868A patent/JPS60232442A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60232442A (ja) | 1985-11-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |