JPH0233211A - 圧電振動子の製造方法 - Google Patents
圧電振動子の製造方法Info
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- JPH0233211A JPH0233211A JP18391388A JP18391388A JPH0233211A JP H0233211 A JPH0233211 A JP H0233211A JP 18391388 A JP18391388 A JP 18391388A JP 18391388 A JP18391388 A JP 18391388A JP H0233211 A JPH0233211 A JP H0233211A
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- JP
- Japan
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- wafer
- electrodes
- electrode
- conductor film
- conductive film
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
圧電性単結晶からなる圧電体を使用した圧電振動子の製
造方法に関し、 焦電効果による放電によって、少なくとも振動子の製造
過程で電極が損なわれないようにすることを目的とし、 圧電性を有する単結晶より切り出したウェーハの少なく
とも一方の切り出し面に電極形成用の導体膜を被着する
工程と、 該導電膜を選択的に除去し、複数の振動子用電極が連結
部、で連結された電極連結パターンを形成する工程と、 それぞれが該電極を含み、該電極と該連結部とを切り離
すように酸ウェーハを割断する工程とを含むことを特徴
とし、 さらには、前記ウェーハの一方の面に電極形成用の第１
の導体膜を被着する工程と、 該導体膜と選択的にエツチング可能な金属にてなり、少
なくとも１個所で該第１の導体膜と接続する第２の導体
膜を該ウェーハの他方の面に形成する工程と、 該第１の導体膜を選択的に除去し、複数の振動子用電極
が連結部で連結された電極連結パターンを形成する工程
と、 それぞれが該電極を含み、該電極と該連結部とを切り離
すように酸ウェーハを割断する工程とを含むことを特徴
とし構成する。
造方法に関し、 焦電効果による放電によって、少なくとも振動子の製造
過程で電極が損なわれないようにすることを目的とし、 圧電性を有する単結晶より切り出したウェーハの少なく
とも一方の切り出し面に電極形成用の導体膜を被着する
工程と、 該導電膜を選択的に除去し、複数の振動子用電極が連結
部、で連結された電極連結パターンを形成する工程と、 それぞれが該電極を含み、該電極と該連結部とを切り離
すように酸ウェーハを割断する工程とを含むことを特徴
とし、 さらには、前記ウェーハの一方の面に電極形成用の第１
の導体膜を被着する工程と、 該導体膜と選択的にエツチング可能な金属にてなり、少
なくとも１個所で該第１の導体膜と接続する第２の導体
膜を該ウェーハの他方の面に形成する工程と、 該第１の導体膜を選択的に除去し、複数の振動子用電極
が連結部で連結された電極連結パターンを形成する工程
と、 それぞれが該電極を含み、該電極と該連結部とを切り離
すように酸ウェーハを割断する工程とを含むことを特徴
とし構成する。
〔産業上の利用分野〕
本発明は圧電振動子の製造方法、特に圧電性単結晶が有
する焦電効果によって、少なくとも製造工程中に発生す
る放電をなくした新規製造方法に関する。
する焦電効果によって、少なくとも製造工程中に発生す
る放電をなくした新規製造方法に関する。
圧電体を用いた素子として表面波共振子、フィルタ等が
無線通信等の分野で利用されると共に、マイコン部品を
組み込んだ各種の電気製品のクロックに振動子が広く用
いられるようになった。
無線通信等の分野で利用されると共に、マイコン部品を
組み込んだ各種の電気製品のクロックに振動子が広く用
いられるようになった。
かかる振動子、特に家庭用電気製品におけるクロック用
振動子は、安価であると共に高周波数のものが要求され
るようになり、従来の水晶振動子に替えて、圧電性を有
する単結晶より切り出した圧電体に駆動電極等を形成し
た振動子が、利用されている。
振動子は、安価であると共に高周波数のものが要求され
るようになり、従来の水晶振動子に替えて、圧電性を有
する単結晶より切り出した圧電体に駆動電極等を形成し
た振動子が、利用されている。
第６図はリチウムタンタレートやリチウムナイオベート
等の単結晶からなる振動子の構成例を示す斜視図であり
、表面波共振子１は、圧電体２の表面に一対のすだれ状
電極からなる駆動電極３と、駆動電極３の左右に位置す
る一対の反射電極４を形成してなる。
等の単結晶からなる振動子の構成例を示す斜視図であり
、表面波共振子１は、圧電体２の表面に一対のすだれ状
電極からなる駆動電極３と、駆動電極３の左右に位置す
る一対の反射電極４を形成してなる。
かかる共振子１を安価に製造するための大量生産は、リ
チウムタンタレートやリチウムナイオベート等の単結晶
から切り出したウェーハの表面に、多数個の電極３．４
を形成したのち、該ウェーハを割断する方法が採用され
ている。
チウムタンタレートやリチウムナイオベート等の単結晶
から切り出したウェーハの表面に、多数個の電極３．４
を形成したのち、該ウェーハを割断する方法が採用され
ている。
第７図は従来方法でウェーハに形成した電極パターンの
平面図あり、単結晶より切り出したウェーハ５の表面に
は電極形成用の導体膜を被着し、該導体膜を選択的に除
去して多数個の電極３，４をパターン形成したのち、図
中の一点鎖線６に沿って割断し、共振子１が完成する。
平面図あり、単結晶より切り出したウェーハ５の表面に
は電極形成用の導体膜を被着し、該導体膜を選択的に除
去して多数個の電極３，４をパターン形成したのち、図
中の一点鎖線６に沿って割断し、共振子１が完成する。
共振子１の製造工程において、電極３．４をパターン形
成するには、ウェーハ５をエツチング液に浸漬して導体
膜の不要部分を溶去したのち、洗浄し乾燥させることに
なるが、圧電性を有するウェーハ５には焦電効果、即ち
温度差によって表面に電荷が蓄積される効果を有する。
成するには、ウェーハ５をエツチング液に浸漬して導体
膜の不要部分を溶去したのち、洗浄し乾燥させることに
なるが、圧電性を有するウェーハ５には焦電効果、即ち
温度差によって表面に電荷が蓄積される効果を有する。
そのため、非連続に形成された電極３と４との間および
、電極３を構成するすだれ状電極間に温度差が生じると
、それぞれが異なった電荷をもちそのバランスがくずれ
ると、放電が起こり、電極３，４の一部分が損なわれる
という問題点があった。
、電極３を構成するすだれ状電極間に温度差が生じると
、それぞれが異なった電荷をもちそのバランスがくずれ
ると、放電が起こり、電極３，４の一部分が損なわれる
という問題点があった。
本発明の目的は、共振子１の製造過程および完成品に対
し、前記放電による電極３．４の損傷をなくすことであ
る。
し、前記放電による電極３．４の損傷をなくすことであ
る。
本発明による圧電振動子の製造方法は、その一実施例に
係わる第１図によれば、圧電性を有する単結晶より切り
出したウェーハ５の少なくとも一方の切り出し面に導体
膜１１を被着する工程と、導電膜１１を選択的に除去し
、複数の振動子用電極３．４が連結部で連結された電極
連結パターン１２を形成する工程と、 それぞれが電極３，４を含むようにウェーハ５を割断す
る工程とを含むことを特徴とし、さらに他の実施例に係
わる第４図によれば、つニーム５の一方の面に電極形成
用の第１の導体膜１１を被着する工程と、 導体膜１１と選択的にエツチング可能な金属にてなり、
少なくとも１個所で第１の導体膜１１と接続する第２の
導体膜３１をウェーハ５の他方の面に形成する工程と、 第１の導体膜ＩＩを選択的に除去し、複数の振動子用電
極３．４が連結部で連結された電極連結パターン１２を
形成する工程と、 それぞれが電極３．４を含むようにウェーハ５を割断す
る工程とを含むことを特徴とする。
係わる第１図によれば、圧電性を有する単結晶より切り
出したウェーハ５の少なくとも一方の切り出し面に導体
膜１１を被着する工程と、導電膜１１を選択的に除去し
、複数の振動子用電極３．４が連結部で連結された電極
連結パターン１２を形成する工程と、 それぞれが電極３，４を含むようにウェーハ５を割断す
る工程とを含むことを特徴とし、さらに他の実施例に係
わる第４図によれば、つニーム５の一方の面に電極形成
用の第１の導体膜１１を被着する工程と、 導体膜１１と選択的にエツチング可能な金属にてなり、
少なくとも１個所で第１の導体膜１１と接続する第２の
導体膜３１をウェーハ５の他方の面に形成する工程と、 第１の導体膜ＩＩを選択的に除去し、複数の振動子用電
極３．４が連結部で連結された電極連結パターン１２を
形成する工程と、 それぞれが電極３．４を含むようにウェーハ５を割断す
る工程とを含むことを特徴とする。
上記手段によれば、ウェーハに形成した複数の電極の全
てを連結した電極連結パターンを形成し、電極とその連
結部とはウェーハの割断時に切り離すようにしたことに
よって、割断前の同一ウェーハに形成した全電極は、ウ
ェーハに温度差が生じても同一電位となり、製造過程で
電極間の放電が起こらないようになる。
てを連結した電極連結パターンを形成し、電極とその連
結部とはウェーハの割断時に切り離すようにしたことに
よって、割断前の同一ウェーハに形成した全電極は、ウ
ェーハに温度差が生じても同一電位となり、製造過程で
電極間の放電が起こらないようになる。
さらには、ウェーハの表面に前記電極連結パターンを形
成するのに先立って、該電極連結パターンをエツチング
で形成させる際に支障とならない導体膜（第２の導体膜
）を、ウェーハの裏面に被着したことによって、圧電振
動子の製造過程および完成品に対し電極間の放電が起こ
らないようになる。
成するのに先立って、該電極連結パターンをエツチング
で形成させる際に支障とならない導体膜（第２の導体膜
）を、ウェーハの裏面に被着したことによって、圧電振
動子の製造過程および完成品に対し電極間の放電が起こ
らないようになる。
以下に、図面を用いて本発明による圧電振動子の製造方
法を説明する。
法を説明する。
第１図（イ）〜（ハ）は本発明の第１の実施例による圧
電振動子の主要工程を説明するための模式図、第２図（
イ）〜（ニ）は本発明の第２の実施例による圧電振動子
の主要工程を説明するための模式図、第３図（イ）〜（
ハ）は本発明の第３の実施例による圧電振動子の主要工
程を説明するための模式図、第４図（イ）〜（＝）は本
発明の第４の実施例による圧電振動子の主要工程を説明
するための模式図、第５図は第１図ト第２図および第４
図に示す電極連結パターンを形成したウェーハの平面図
である。
電振動子の主要工程を説明するための模式図、第２図（
イ）〜（ニ）は本発明の第２の実施例による圧電振動子
の主要工程を説明するための模式図、第３図（イ）〜（
ハ）は本発明の第３の実施例による圧電振動子の主要工
程を説明するための模式図、第４図（イ）〜（＝）は本
発明の第４の実施例による圧電振動子の主要工程を説明
するための模式図、第５図は第１図ト第２図および第４
図に示す電極連結パターンを形成したウェーハの平面図
である。
第１図（イ）において、リチウムタンタレートやリチウ
ムナイオベート等の単結晶から切り出しなウェーハ５の
表面に、電極形成用の導体膜１１を被着する。
ムナイオベート等の単結晶から切り出しなウェーハ５の
表面に、電極形成用の導体膜１１を被着する。
次いで、第１図（Ｉｌ＋）に示すように導体膜１１の不
要部を除去して電極連結パターン１２を形成する。
要部を除去して電極連結パターン１２を形成する。
電極連結パターン１２は第５図に示すように、多数の駆
動電極３と反射電極４と、ウェーハ５の外周縁に沿って
形成された連結部１４と、全ての電極３および４を連結
部１４に連結する連結部１５からなる。
動電極３と反射電極４と、ウェーハ５の外周縁に沿って
形成された連結部１４と、全ての電極３および４を連結
部１４に連結する連結部１５からなる。
次いで、第１図（［１）および第５図に示す複数本の一
点鎖線１３に沿ってウェーハ５を割断すると、第１図（
ハ）に示すように、圧電体２の上面に駆動電極３を一対
の反射電極４で挟む複数個の振動子１が同時に完成する
。
点鎖線１３に沿ってウェーハ５を割断すると、第１図（
ハ）に示すように、圧電体２の上面に駆動電極３を一対
の反射電極４で挟む複数個の振動子１が同時に完成する
。
第２図（イ）において、リチウムタンタレートやリチウ
ムナイオベート等の単結晶から切り出したウェーハ５の
表面に、電極形成用の導体膜１１を被着したのち、ウェ
ーハ５の裏面に導体膜１日を被着する。ただし、通常の
成膜技術によって導体膜１１と導体膜１８を被着したと
き、ウェーハ５の周側面にも導体膜Ｉｆと導体膜１８の
一部が被着するため、導体膜１１と導体膜１８ば電気的
に接続される。
ムナイオベート等の単結晶から切り出したウェーハ５の
表面に、電極形成用の導体膜１１を被着したのち、ウェ
ーハ５の裏面に導体膜１日を被着する。ただし、通常の
成膜技術によって導体膜１１と導体膜１８を被着したと
き、ウェーハ５の周側面にも導体膜Ｉｆと導体膜１８の
一部が被着するため、導体膜１１と導体膜１８ば電気的
に接続される。
次いで、第２図（ロ）に示すように導体膜１１の不要部
を除去して電極連結パターン１２を形成する。
を除去して電極連結パターン１２を形成する。
電極連結パターン１２は第５図に示すように、多数の駆
動電極３と反射電極４と、ウェーハ５の外周縁に沿って
形成された連結部１４と、全ての電極３および４を連結
部１４に連結する連結部１５からなる。
動電極３と反射電極４と、ウェーハ５の外周縁に沿って
形成された連結部１４と、全ての電極３および４を連結
部１４に連結する連結部１５からなる。
次いで、第２図（ハ）に示すようにウェーハ５の裏面に
被着する導体膜Ｉ８を、例えばエツチングによって除去
したのち、第２図（ハ）および第５図に示す複数本の一
点鎖線１３に沿ってウェーハ５を割断すると、第２図（
ニ）に示すように、圧電体２の上面に駆動電極３を一対
の反射電極４で挟む複数個の振動子１が同時に完成する
。
被着する導体膜Ｉ８を、例えばエツチングによって除去
したのち、第２図（ハ）および第５図に示す複数本の一
点鎖線１３に沿ってウェーハ５を割断すると、第２図（
ニ）に示すように、圧電体２の上面に駆動電極３を一対
の反射電極４で挟む複数個の振動子１が同時に完成する
。
第３図（イ）において、リチウムタンタレートやリチウ
ムナイオベート等の単結晶から切り出したウェーハ５の
表面に、表面電極形成用の導体膜１１を被着したのち、
ウェーハ５の裏面に、裏面電極形成用の導体膜１９を被
着する。ただし、通常の成膜技術によって導体膜１１と
１９を被着したとき、ウェーハ５の周側面にも導体膜１
１．１９の一部が被着するため、導体膜１１と１９は電
気的に接続状態になる。
ムナイオベート等の単結晶から切り出したウェーハ５の
表面に、表面電極形成用の導体膜１１を被着したのち、
ウェーハ５の裏面に、裏面電極形成用の導体膜１９を被
着する。ただし、通常の成膜技術によって導体膜１１と
１９を被着したとき、ウェーハ５の周側面にも導体膜１
１．１９の一部が被着するため、導体膜１１と１９は電
気的に接続状態になる。
次いで、導体膜１１と１９の不要部を除去して第３図（
Ｅｌ）に示すように、多数個の表面電極２３の連結され
た電極連結パターン２０と、多数個の裏面電極２４の連
結された電極連結パターン２１とを形成する。
Ｅｌ）に示すように、多数個の表面電極２３の連結され
た電極連結パターン２０と、多数個の裏面電極２４の連
結された電極連結パターン２１とを形成する。
電極連結パターン１２に相当する導体パターン２０と２
１は、複数の表面電極２３または電極２３に対向する裏
面電極２４を連結部材で接続したパターン形状に形成す
る。 次いで、第３図（０）に示す複数本の一点鎖線２
２に沿ってウェーハ５を割断すると、第３図（ハ）に示
すように、圧電体２の上面に表面電極２３を形成し、下
面に裏面電極２４を形成した複数個の振動子２５が同時
に完成する。
１は、複数の表面電極２３または電極２３に対向する裏
面電極２４を連結部材で接続したパターン形状に形成す
る。 次いで、第３図（０）に示す複数本の一点鎖線２
２に沿ってウェーハ５を割断すると、第３図（ハ）に示
すように、圧電体２の上面に表面電極２３を形成し、下
面に裏面電極２４を形成した複数個の振動子２５が同時
に完成する。
第４図（イ）において、リチウムタンタレートやリヂウ
ムナイオベート等の単結晶から切り出したウェーハ５の
表面に、電極形成用に例えばアルミニウムにてなる導体
膜１１を被着する。
ムナイオベート等の単結晶から切り出したウェーハ５の
表面に、電極形成用に例えばアルミニウムにてなる導体
膜１１を被着する。
次いで、第４図（ＩＩ）に示すようにウェーハ５の裏面
には、導体膜１１に対し選択的にエツチング可能な金属
にてなる導体膜３１、例えばアルミニウムにてなる導体
膜１１に対しニクロムにてなる導体膜３１を、導体膜１
１と電気的に接続するように被着する。ただし、通常の
成膜技術によって導体膜１１と導体膜３１を被着したと
き、ウェーハ５の周側面にも導体膜１１と導体膜３１の
一部が被着するため、導体膜１１と導体膜３１とは、特
別の配慮なしに電気的接続が可能である。
には、導体膜１１に対し選択的にエツチング可能な金属
にてなる導体膜３１、例えばアルミニウムにてなる導体
膜１１に対しニクロムにてなる導体膜３１を、導体膜１
１と電気的に接続するように被着する。ただし、通常の
成膜技術によって導体膜１１と導体膜３１を被着したと
き、ウェーハ５の周側面にも導体膜１１と導体膜３１の
一部が被着するため、導体膜１１と導体膜３１とは、特
別の配慮なしに電気的接続が可能である。
次いで、導体膜１１の不要部を除去して第４図（ハ）に
示すように、電極連結パターン１２を形成する。ニクロ
ム導体膜３１に反応せずアルミニウム導体膜１１に反応
するエッチャント、例えば燐酸系エッチャントにて導体
ＩＩＵ１１の不要部を溶去した電極連結パターン１２は
、第５図に示すように、多数の駆動電極３と、反射電極
４と、ウェーハ５の外周縁に沿って形成された連結部１
４と、全ての電極３および４を連結部１４に連結する連
結部１５からなる。
示すように、電極連結パターン１２を形成する。ニクロ
ム導体膜３１に反応せずアルミニウム導体膜１１に反応
するエッチャント、例えば燐酸系エッチャントにて導体
ＩＩＵ１１の不要部を溶去した電極連結パターン１２は
、第５図に示すように、多数の駆動電極３と、反射電極
４と、ウェーハ５の外周縁に沿って形成された連結部１
４と、全ての電極３および４を連結部１４に連結する連
結部１５からなる。
次いで、第４図（ハ）および第５図に示す複数本の一点
鎖線１３に沿ってウェーハ５を割断すると、第４図（＝
）に示すように、圧電体２の上面に駆動電極３と一対の
反射電極４とを形成し、圧電体２の下面には焦電防止用
導体層３２を具えた複数個の振動子３３が、同時に完成
する。
鎖線１３に沿ってウェーハ５を割断すると、第４図（＝
）に示すように、圧電体２の上面に駆動電極３と一対の
反射電極４とを形成し、圧電体２の下面には焦電防止用
導体層３２を具えた複数個の振動子３３が、同時に完成
する。
以上説明したように本発明方法によれば、同一ウェーハ
に形成した複数の電極を連結部で連結した電極連結パタ
ーンを形成し、電極とその連結部とはウェーハの割断時
に切り離すようにしたことによって、割断前の同一ウェ
ーハに形成した全電極は、ウェーハに温度差が生じても
同一電位となって、焦電による電極間の放電が起こらな
いようになり圧電振動子の製造歩留まりが向上し、さら
には、製造過程における焦電防止用としてウェーハの裏
面に被着した導体膜を圧電体の裏面に残すことで、焦電
による完成品の損傷をなくし得た効果が顕著である。
に形成した複数の電極を連結部で連結した電極連結パタ
ーンを形成し、電極とその連結部とはウェーハの割断時
に切り離すようにしたことによって、割断前の同一ウェ
ーハに形成した全電極は、ウェーハに温度差が生じても
同一電位となって、焦電による電極間の放電が起こらな
いようになり圧電振動子の製造歩留まりが向上し、さら
には、製造過程における焦電防止用としてウェーハの裏
面に被着した導体膜を圧電体の裏面に残すことで、焦電
による完成品の損傷をなくし得た効果が顕著である。
第１図は本発明の第１の実施例の説明図、第２図は本発
明の第２の実施例の説明図、第３図は本発明の第３の実
施例の説明図、第４図は本発明の第４の実施例の説明図
、第５図は第１図と第２図および第４図に示す電極連結
パターンの平面図、 第６図は圧電振動子の構成例、 第７図は従来方法でウェーハに形成した電極パターンの
平面図、 図中において、 １．２５．３３は圧電振動子、 ２は圧電体、 ３．４，２３．２４は電極、 ５はウェーハ、 １１、１８．１９．３１は導体膜、 １２．２０．２１は電極連結パターン、１４．１５ は連結部、 を示す。 ｚ 不党明の第４の丈鉋停止の説明図 ＄４図 本７哨の第１／′）犬鉋例の説明図 ｊＪｉ ロ 不２を畔平の第２ハ突由ｈイ列の説明図茶２０ 第 図 圧を探動）の構成例 ＄ ６ 図
明の第２の実施例の説明図、第３図は本発明の第３の実
施例の説明図、第４図は本発明の第４の実施例の説明図
、第５図は第１図と第２図および第４図に示す電極連結
パターンの平面図、 第６図は圧電振動子の構成例、 第７図は従来方法でウェーハに形成した電極パターンの
平面図、 図中において、 １．２５．３３は圧電振動子、 ２は圧電体、 ３．４，２３．２４は電極、 ５はウェーハ、 １１、１８．１９．３１は導体膜、 １２．２０．２１は電極連結パターン、１４．１５ は連結部、 を示す。 ｚ 不党明の第４の丈鉋停止の説明図 ＄４図 本７哨の第１／′）犬鉋例の説明図 ｊＪｉ ロ 不２を畔平の第２ハ突由ｈイ列の説明図茶２０ 第 図 圧を探動）の構成例 ＄ ６ 図
Claims (2)
- （１）圧電性を有する単結晶より切り出したウェーハ（
５）の少なくとも一方の切り出し面に電極形成用の導体
膜（１１）を被着する工程と、 該導電膜（１１）を選択的に除去し、複数の振動子用電
極（３，４）が連結部（１４，１５）で連結された電極
連結パターン（１２）を形成する工程と、 それぞれが該電極（３，４）を含み、該電極（３，４）
と該連結部（１５）とを切り離すように該ウェーハ（５
）を割断する工程とを含むことを特徴とした圧電振動子
の製造方法。 - （２）前記ウェーハ（５）の一方の面に電極形成用の第
１の導体膜（１１）を被着する工程と、 該導体膜（１１）と選択的にエッチング可能な金属にて
なり、少なくとも１個所で該第１の導体膜（１１）と接
続する第２の導体膜（３１）を該ウェーハ（５）の他方
の面に形成する工程と、 該第１の導体膜（１１）を選択的に除去し、複数の振動
子用電極（３，４）が連結部（１４，１５）で連結され
た電極連結パターン（１２）を形成する工程と、それぞ
れが該電極（３，４）を含み、該電極（３，４）と該連
結部（１５）とを切り離すように該ウェーハ（５）を割
断する工程とを含むことを特徴とした圧電振動子の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18391388A JPH0233211A (ja) | 1988-07-22 | 1988-07-22 | 圧電振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18391388A JPH0233211A (ja) | 1988-07-22 | 1988-07-22 | 圧電振動子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0233211A true JPH0233211A (ja) | 1990-02-02 |
Family
ID=16144006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18391388A Pending JPH0233211A (ja) | 1988-07-22 | 1988-07-22 | 圧電振動子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0233211A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006086701A (ja) * | 2004-09-15 | 2006-03-30 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置およびその製造方法ならびに通信装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5298491A (en) * | 1976-02-13 | 1977-08-18 | Citizen Watch Co Ltd | Thin-sheet piezo-electric vibrator |
| JPS5732115A (en) * | 1980-08-05 | 1982-02-20 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Forming method for electrode of tuning fork type quartz oscillator |
| JPS62256508A (ja) * | 1986-04-30 | 1987-11-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電振動子の製造法 |
-
1988
- 1988-07-22 JP JP18391388A patent/JPH0233211A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5298491A (en) * | 1976-02-13 | 1977-08-18 | Citizen Watch Co Ltd | Thin-sheet piezo-electric vibrator |
| JPS5732115A (en) * | 1980-08-05 | 1982-02-20 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | Forming method for electrode of tuning fork type quartz oscillator |
| JPS62256508A (ja) * | 1986-04-30 | 1987-11-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電振動子の製造法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006086701A (ja) * | 2004-09-15 | 2006-03-30 | Kyocera Corp | 弾性表面波装置およびその製造方法ならびに通信装置 |
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