JPH023465U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の第１の実施例に係る薄膜形成
用基台装置の縦断面図、第２図は第１図のＡ―Ａ
線に沿つた平面断面図、第３図ａ〜ｄは基板ホル
ダーの動作を示す概略的な平面図、第４図は従来
の薄膜作成装置の概略図、第５図は本考案の第２
の実施例の縦断面図である。 １……基板、２……基板ホルダー、４……羽根
車、６……リンク機構、８……ガイドローラ、９
……ガイド部材、９Ａ……筒体、１０……エアシ
リンダー、１１……支持軸、１１ａ……ねじ部、
１３，１６……モータ、１４……回転駆動軸、１
７……旋回ホルダー、２２……上下調整板、２５
，２５Ａ……駆動リンク、２６……長孔、３１…
…すべりキー。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 基板ホルダーを回転自在に軸支した旋回ホルダ
   ーと、前記旋回ホルダーに保持されかつ前記基板
   ホルダーをその軸線のまわりに回転させる自転駆
   動機構と、前記基板ホルダーの自転中心から半径
   方向にずれた位置に配置された回転駆動軸と、前
   記旋回ホルダーと前記回転駆動軸とを連結する平
   行リンク機構と、前記回転駆動軸を上下動可能に
   支持する上下動機構と、前記上下動機構上に設け
   られかつ前記平行リンク機構を傾斜状態に保持す
   るとともに傾動させる平行リンク駆動機構とを有
   し、前記旋回ホルダーは、前記平行リンク機構に
   よつて前記回転駆動軸のまわりの旋回半径が変化
   することを特徴とする薄膜形成用基台装置。