JPH0420240U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の第１の実施例を示す縦断面図
、第２図は第２の実施例を示す縦断面図、第３図
は第２の実施例に係る作動説明図、第４図は従来
例を示す斜視図である。 １……固定台、２……スプライン軸受、３……
スプライン筒軸、４……ネジ、５……昇降駆動ナ
ツト、８……回転駆動手段（回転駆動モータ）、
１０……アーム連動機構、１１……アーム旋回軸
、１３……固定輪、１４……旋回アーム、１５…
…連結軸、１６……基板搬送アーム、１７……可
動輪、２０……アーム駆動手段（アーム駆動モー
タ）、３０……旋回駆動手段（旋回駆動モータ）
。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 固定台にスプライン軸受を介してスプライン
   筒軸を昇降自在に支持し、スプライン筒軸内にア
   ーム連動機構のアーム旋回軸を貫通して回転可能
   に支持させ、 アーム連動機構はスプライン筒軸で支持したア
   ーム旋回軸と、アーム旋回軸の突出上端部にその
   基端部を固定した旋回アームと、旋回アームの先
   端部に回転可能に立設支持させた連結軸と、この
   連結軸の一端部に固定した基板搬送アームと、連
   結軸の他端部に固定した可動輪と、スプライン筒
   軸の上端部に固定した固定輪と、固定輪と可動輪
   とを連動連結する伝動手段と、スプライン筒軸の
   下端部に設けられ、アーム旋回軸を回転させるア
   ーム駆動手段とを具備して成り、 スプライン筒軸の外周にネジを形成してそのネ
   ジに昇降駆動ナツトを螺合し、固定台に昇降駆動
   ナツトを回転自在に枢支し、回転駆動手段で昇降
   駆動ナツトを回転させることによりスプライン筒
   軸及びアーム連動機構を昇降位置制御可能に構成
   したことを特徴とするアーム旋回式基板搬送装置
   。 ２ 固定台にスプライン軸受を回転可能に枢支さ
   せ、スプライン軸受を固定台に設けた旋回駆動手
   段で回転させることにより、スプライン筒軸を介
   してアーム連動機構を旋回位置及び昇降位置制御
   可能に構成した請求項１に記載のアーム旋回式基
   板搬送装置。