JPH0311056U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第６図はこの考案の実施例を示し
、第１図はこの考案の要部構造を示す原理説明図
、第２図は真空蒸着装置の概略構造を示す内部正
面図、第３図はホルダ駆動装置の一部破断平面図
、第４図は自転角度調節機構を示す側面図、第５
図は自転角度調節機構及び自転機構の要部破断平
面図、第６図は第５図におけるＡ−Ａ線断面図で
ある。第７図は従来装置における自転角度調節機
構を示す内部正面図である。 ５……基板ホルダ、６……レール、７……自転
機構、８……自転角度調節機構、９……公転枠、
１９……自転回転輪、２７……可動枠、２８……
調節フレーム、２９……ガイド手段、３０……締
結手段、３２……円弧溝、３４……スライドブロ
ツク、Ｐ……俯仰中心、Ｑ……円弧中心。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 基板ホルダ及び自転回転輪を備えた自転機構と
   、自転機構に自転角度調節機構を介して支持され
   る公転枠と、自転回転輪を走行案内する円環状の
   レールとを備えており、 自転角度調節機構は、公転枠に固定される調節
   フレームと、自転機構に固定される可動枠とを有
   し、 調節フレームと可動枠との間に、可動枠を揺動
   変位自在に案内支持するガイド手段と、任意の揺
   動位置で可動枠を調節フレームに固定する締結手
   段とをそれぞれ設け、 ガイド手段が、面接触状態で相対移動する円弧
   溝とスライドブロツクとを含んで構成されており
   、 円弧溝の円弧中心が、自転回転輪のレールに対
   する俯仰中心と一致させてあることを特徴とする
   真空蒸着装置。