JPH0234752Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0234752Y2 JPH0234752Y2 JP1984199351U JP19935184U JPH0234752Y2 JP H0234752 Y2 JPH0234752 Y2 JP H0234752Y2 JP 1984199351 U JP1984199351 U JP 1984199351U JP 19935184 U JP19935184 U JP 19935184U JP H0234752 Y2 JPH0234752 Y2 JP H0234752Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- irradiation
- electron beam
- sample
- excitation
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Cameras Adapted For Combination With Other Photographic Or Optical Apparatuses (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は試料像の写真撮影を自動的に行なうよ
うにした電子顕微鏡における写真撮影装置に関す
る。
うにした電子顕微鏡における写真撮影装置に関す
る。
電子顕微鏡においては、照射レンズ系により電
子線を集束して試料に照射し、試料を透過した電
子線を結像レンズ系により写真フイルム上に結像
して電子顕微鏡像を写真撮影している。ところ
で、照射レンズ系による電子線の集束の程度によ
り試料に照射される電子線の照射角は変化する
が、生物試料等を写真撮影する場合、電子線の平
行度が大き過ぎるとバツクグラウンドとなる粒子
が強調されすぎ、試料の注目する部分の微細構造
が見にくいものとなる。逆に、平行度が小さ過ぎ
ると、試料の微細構造そのものが見えなくなつて
しまう。
子線を集束して試料に照射し、試料を透過した電
子線を結像レンズ系により写真フイルム上に結像
して電子顕微鏡像を写真撮影している。ところ
で、照射レンズ系による電子線の集束の程度によ
り試料に照射される電子線の照射角は変化する
が、生物試料等を写真撮影する場合、電子線の平
行度が大き過ぎるとバツクグラウンドとなる粒子
が強調されすぎ、試料の注目する部分の微細構造
が見にくいものとなる。逆に、平行度が小さ過ぎ
ると、試料の微細構造そのものが見えなくなつて
しまう。
そのため、従来においては熟練した操作者で
も、試料に照射する電子線の平行度を最適に設定
することは困難であつた、 本考案は、このような従来の欠点を解決し、簡
単に電子線の最適な照射角を見つけだすことので
きる電子顕微鏡における写真撮影装置を提供する
ことを目的としている。
も、試料に照射する電子線の平行度を最適に設定
することは困難であつた、 本考案は、このような従来の欠点を解決し、簡
単に電子線の最適な照射角を見つけだすことので
きる電子顕微鏡における写真撮影装置を提供する
ことを目的としている。
このような目的を達成するため、本考案は電子
銃よりの電子線を集束して試料に照射するための
対物レンズの前段に配置された照射レンズ系と、
電子顕微鏡像を撮影するための写真フイルム上へ
の電子線の照射を制御するシヤツター機構と、該
写真フイルムの送りと該シヤツター機構を制御し
自動的に複数回の電子顕微鏡像の写真撮影を行う
手段とを備えた装置において、該複数回の写真撮
影の都度該試料に照射される電子線の照射角が前
記対物レンズの励磁を一定に維持したまま自動的
に小刻みに変化するように前記照射レンズ系の励
磁を制御する手段を具備することを特徴としてい
る。
銃よりの電子線を集束して試料に照射するための
対物レンズの前段に配置された照射レンズ系と、
電子顕微鏡像を撮影するための写真フイルム上へ
の電子線の照射を制御するシヤツター機構と、該
写真フイルムの送りと該シヤツター機構を制御し
自動的に複数回の電子顕微鏡像の写真撮影を行う
手段とを備えた装置において、該複数回の写真撮
影の都度該試料に照射される電子線の照射角が前
記対物レンズの励磁を一定に維持したまま自動的
に小刻みに変化するように前記照射レンズ系の励
磁を制御する手段を具備することを特徴としてい
る。
以下、図面に基づき本考案の実施例を詳述す
る。
る。
第１図は本考案の一実施例を示すためのもの
で、図中１は電子銃であり、電子銃１よりの電子
線EBは第１，第２集束レンズ２，３により集束
されて試料４上に照射される。試料４を透過した
電子線EB′に基づく試料像は対物，中間及び投影
レンズ５，６，７により写真フイルム８上に結像
される。９はシヤツターである。１０は第２の集
束レンズ３の励磁電源であり、この励磁電源１０
には中央演算処理装置１１よりの励磁指定信号が
DA変換器１２を介して供給される。中央演算処
理装置１１に付属する記憶装置１３には励磁電源
１０の励磁強度を順次所定の値に切換えるための
プログラムが記憶されている。１４は未撮影の写
真フイルムを格納するための第１のフイルム格納
箱であり、この第１の格納箱１４からのフイルム
はフイルム送り機構１５により撮影位置に取り出
される。１６は撮影済みのフイルムを格納する第
２のフイルム格納箱である。フイルム送り機構１
５はモータ１７により駆動される。１８はモータ
１７を回転させるための駆動信号を発生する駆動
回路であり、駆動回路１８は中央演算処理装置１
１よりの制御信号に基づいて制御される。１９は
シヤツタ開閉機構であり、シヤツタ開閉機構１９
も内蔵されているモータにより駆動され、このモ
ータも中央演算処理装置１１の制御により駆動回
路２０よりの信号に基づいて回転する。２１はデ
ータ焼き込み用のCRTであり、このCRT２１よ
りの光は反射鏡２２，２３及び光学レンズ２４を
介してフイルム８上に投影される。CRT２１に
は中央演算処理装置１１より文字信号発生回路２
５を介して文字を表示するための輝度信号が供給
される。
で、図中１は電子銃であり、電子銃１よりの電子
線EBは第１，第２集束レンズ２，３により集束
されて試料４上に照射される。試料４を透過した
電子線EB′に基づく試料像は対物，中間及び投影
レンズ５，６，７により写真フイルム８上に結像
される。９はシヤツターである。１０は第２の集
束レンズ３の励磁電源であり、この励磁電源１０
には中央演算処理装置１１よりの励磁指定信号が
DA変換器１２を介して供給される。中央演算処
理装置１１に付属する記憶装置１３には励磁電源
１０の励磁強度を順次所定の値に切換えるための
プログラムが記憶されている。１４は未撮影の写
真フイルムを格納するための第１のフイルム格納
箱であり、この第１の格納箱１４からのフイルム
はフイルム送り機構１５により撮影位置に取り出
される。１６は撮影済みのフイルムを格納する第
２のフイルム格納箱である。フイルム送り機構１
５はモータ１７により駆動される。１８はモータ
１７を回転させるための駆動信号を発生する駆動
回路であり、駆動回路１８は中央演算処理装置１
１よりの制御信号に基づいて制御される。１９は
シヤツタ開閉機構であり、シヤツタ開閉機構１９
も内蔵されているモータにより駆動され、このモ
ータも中央演算処理装置１１の制御により駆動回
路２０よりの信号に基づいて回転する。２１はデ
ータ焼き込み用のCRTであり、このCRT２１よ
りの光は反射鏡２２，２３及び光学レンズ２４を
介してフイルム８上に投影される。CRT２１に
は中央演算処理装置１１より文字信号発生回路２
５を介して文字を表示するための輝度信号が供給
される。
このような構成の装置を用いて、まず、記憶装
置１３に記憶されているプログラムに従つて中央
演算処理装置１１より制御信号を駆動回路１８に
供給してモータ１７を所定量回転させ、第１の格
納箱１４に格納されている未撮影フイルム９を露
光位置に配置する。次に、中央演算処理装置１１
よりDA変換器１２を介して励磁電源１０に第１
の励磁指定信号が送られ、その結果、電子線EB
は第１，第２の集束レンズ２，３により第２図ａ
に示されるように試料４上にフオーカスされる。
次に、中央演算処理装置１１は駆動回路２０に制
御信号を送り、シヤツター駆動機構１９によりシ
ヤツター９を所定時間解放させる。その結果、露
光位置に配置されたフイルム８上にこの照射電子
線に基づく像が撮影される。このとき、中央演算
処理装置１１より文字信号発生回路２５に励磁電
源１０の励磁強度を表わす信号が送られ、その結
果、１番目のフイルム８上には、CRT２１より
の画像に基づいてレンズ３の励磁強度を表わすデ
ータが焼き込まれる。このようにして１回の撮影
が終了すると、中央演算処理装置１１は予め記憶
されたプログラムに従つて、２回目の撮影を行な
う。即ち、中央演算処理装置１１よりの出力信号
に基づいてフイルム送り機構１５を制御し２枚目
のフイルムを撮影位置に移動させ、次に励磁電源
１０よりの励磁電流を所定量減少せしめる。その
結果、試料４への電子線の照射角は第２図ｂに示
すように僅かに平行度を増加する。そこで、中央
演算処理装置１１はシヤツター開閉機構１９を制
御してシヤツター９を所定時間解放させ２枚目の
写真撮影を行なう。以下同様に、中央演算処理装
置１１よりの制御信号をDA変換器１２を介して
励磁電源１０に供給し、励磁電源１０よりの励磁
電流を所定量ずつ変化させることにより、試料に
照射される電子線の開き角を第３図のように小刻
みに変化させ、その変化の都度写真撮影を行な
う。その結果、第２図ａの状態から第２図ｃに示
す完全な平行照射の状態（開き角０）に至る各段
階の照射角における試料像の写真を自動的に得る
ことができる。この際、各撮影の都度、陰極線管
１１より励磁電源１０の励磁強度を表わす信号が
CRT２１に送られるため、各フイルム８には撮
影時におけるこの励磁強度を表わすデータが焼き
込まれる。そこで、この一連の写真を観察してこ
の視野に対して最良の写真を捜し出し、この写真
を撮影した際の励磁電源１０の電流値を写真より
読み取れば、励磁電源１０の出力を簡単に最適な
値に設定することができ、引き続き試料の他の視
野や、この試料に類似した他の試料の最良な写真
を撮影できる。
置１３に記憶されているプログラムに従つて中央
演算処理装置１１より制御信号を駆動回路１８に
供給してモータ１７を所定量回転させ、第１の格
納箱１４に格納されている未撮影フイルム９を露
光位置に配置する。次に、中央演算処理装置１１
よりDA変換器１２を介して励磁電源１０に第１
の励磁指定信号が送られ、その結果、電子線EB
は第１，第２の集束レンズ２，３により第２図ａ
に示されるように試料４上にフオーカスされる。
次に、中央演算処理装置１１は駆動回路２０に制
御信号を送り、シヤツター駆動機構１９によりシ
ヤツター９を所定時間解放させる。その結果、露
光位置に配置されたフイルム８上にこの照射電子
線に基づく像が撮影される。このとき、中央演算
処理装置１１より文字信号発生回路２５に励磁電
源１０の励磁強度を表わす信号が送られ、その結
果、１番目のフイルム８上には、CRT２１より
の画像に基づいてレンズ３の励磁強度を表わすデ
ータが焼き込まれる。このようにして１回の撮影
が終了すると、中央演算処理装置１１は予め記憶
されたプログラムに従つて、２回目の撮影を行な
う。即ち、中央演算処理装置１１よりの出力信号
に基づいてフイルム送り機構１５を制御し２枚目
のフイルムを撮影位置に移動させ、次に励磁電源
１０よりの励磁電流を所定量減少せしめる。その
結果、試料４への電子線の照射角は第２図ｂに示
すように僅かに平行度を増加する。そこで、中央
演算処理装置１１はシヤツター開閉機構１９を制
御してシヤツター９を所定時間解放させ２枚目の
写真撮影を行なう。以下同様に、中央演算処理装
置１１よりの制御信号をDA変換器１２を介して
励磁電源１０に供給し、励磁電源１０よりの励磁
電流を所定量ずつ変化させることにより、試料に
照射される電子線の開き角を第３図のように小刻
みに変化させ、その変化の都度写真撮影を行な
う。その結果、第２図ａの状態から第２図ｃに示
す完全な平行照射の状態（開き角０）に至る各段
階の照射角における試料像の写真を自動的に得る
ことができる。この際、各撮影の都度、陰極線管
１１より励磁電源１０の励磁強度を表わす信号が
CRT２１に送られるため、各フイルム８には撮
影時におけるこの励磁強度を表わすデータが焼き
込まれる。そこで、この一連の写真を観察してこ
の視野に対して最良の写真を捜し出し、この写真
を撮影した際の励磁電源１０の電流値を写真より
読み取れば、励磁電源１０の出力を簡単に最適な
値に設定することができ、引き続き試料の他の視
野や、この試料に類似した他の試料の最良な写真
を撮影できる。
尚、上述した実施例は本考案の一実施例に過ぎ
ず、実施にあたつては他の態様をとり得る。
ず、実施にあたつては他の態様をとり得る。
例えば、上述した実施例においては、第２の集
束レンズの励磁強度のみを変化させて試料に照射
される電子線の照射角を変化させるようにした
が、第１の集束レンズの励磁強度も合わせて変化
させるようにしても良い。
束レンズの励磁強度のみを変化させて試料に照射
される電子線の照射角を変化させるようにした
が、第１の集束レンズの励磁強度も合わせて変化
させるようにしても良い。
上述した説明から明らかなように、本考案によ
れば、同一フオーカス条件で電子線の照射角だけ
異にする一連の写真を自動的に得ることができる
ため、この一連の写真から最良の写真を選択する
ことにより最良の照射角を簡単に見つけ出し、こ
の照射角を設定することができる。
れば、同一フオーカス条件で電子線の照射角だけ
異にする一連の写真を自動的に得ることができる
ため、この一連の写真から最良の写真を選択する
ことにより最良の照射角を簡単に見つけ出し、こ
の照射角を設定することができる。
尚、上述した実施例によれば、写真フイルム上
に撮影時の第２の集束レンズの励磁強度を表わす
データが焼き込まれるため、一連の写真の中から
最良の写真を選択した後、この写真に焼き込まれ
たデータ値を読み取ることにより簡単に第２の集
束レンズの励磁電流値を設定できる。
に撮影時の第２の集束レンズの励磁強度を表わす
データが焼き込まれるため、一連の写真の中から
最良の写真を選択した後、この写真に焼き込まれ
たデータ値を読み取ることにより簡単に第２の集
束レンズの励磁電流値を設定できる。
第１図は本考案の一実施例を示すための図、第
２図は照射角を異にする照射状態を例示するため
の図、第３図は電子線の照射角の変化を示すため
の図である。 １……電子銃、２，３……集束レンズ、４……
試料、５……対物レンズ、６……中間レンズ、７
……投影レンズ、８……写真フイルム、９……シ
ヤツター、１０……励磁電源、１１……中央演算
処理装置、１２……DA変換器、１３……記憶装
置、１４……第１の収納箱、１５……フイルム送
り機構、１６……第２の収納箱、１７……モー
タ、１８，２０……駆動回路、１９……シヤツタ
ー開閉機構、２１……CRT、２２，２３……反
射鏡、２４……光学レンズ、２５……文字信号発
生回路。
２図は照射角を異にする照射状態を例示するため
の図、第３図は電子線の照射角の変化を示すため
の図である。 １……電子銃、２，３……集束レンズ、４……
試料、５……対物レンズ、６……中間レンズ、７
……投影レンズ、８……写真フイルム、９……シ
ヤツター、１０……励磁電源、１１……中央演算
処理装置、１２……DA変換器、１３……記憶装
置、１４……第１の収納箱、１５……フイルム送
り機構、１６……第２の収納箱、１７……モー
タ、１８，２０……駆動回路、１９……シヤツタ
ー開閉機構、２１……CRT、２２，２３……反
射鏡、２４……光学レンズ、２５……文字信号発
生回路。
Claims (1)
- 電子銃よりの電子線を集束して試料に照射する
ための対物レンズの前段に配置された照射レンズ
系と、電子顕微鏡像を撮影するための写真フイル
ム上への電子線の照射を制御するシヤツター機構
と、該写真フイルムの送りと該シヤツター機構を
制御し自動的に複数回の電子顕微鏡像の写真撮影
を行う手段とを備えた装置において、該複数回の
写真撮影の都度該試料に照射される電子線の照射
角が前記対物レンズの励磁を一定に維持したまま
自動的に小刻みに変化するように前記照射レンズ
系の励磁を制御する手段を具備することを特徴と
する電子顕微鏡における写真撮影装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984199351U JPH0234752Y2 (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1984199351U JPH0234752Y2 (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61114756U JPS61114756U (ja) | 1986-07-19 |
| JPH0234752Y2 true JPH0234752Y2 (ja) | 1990-09-19 |
Family
ID=30759192
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1984199351U Expired JPH0234752Y2 (ja) | 1984-12-28 | 1984-12-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0234752Y2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS538911B2 (ja) * | 1972-06-26 | 1978-04-01 |
-
1984
- 1984-12-28 JP JP1984199351U patent/JPH0234752Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61114756U (ja) | 1986-07-19 |
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