JPH0527084B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0527084B2 JPH0527084B2 JP58084770A JP8477083A JPH0527084B2 JP H0527084 B2 JPH0527084 B2 JP H0527084B2 JP 58084770 A JP58084770 A JP 58084770A JP 8477083 A JP8477083 A JP 8477083A JP H0527084 B2 JPH0527084 B2 JP H0527084B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- lens barrel
- optical microscope
- distance
- focus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/36—Microscopes arranged for photographic purposes or projection purposes or digital imaging or video purposes including associated control and data processing arrangements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(イ) 産業上の利用分野
本発明は光学顕微鏡を使用して試料表面の顕微
鏡像を撮影する方法に関する。
鏡像を撮影する方法に関する。
(ロ) 従来技術
一般に、光学顕微鏡は観察すべき試料の調整が
簡単であること、操作性が容易であること、色彩
を識別できること、さらに、価格的にも安価であ
ること等により広く採用されている。このように
光学顕微鏡は多くの利点を有する反面、焦点深度
が浅いために表面が曲つていたり凹凸がある試料
をそのまま写真撮影したのでは鮮明な光学顕微鏡
像が得られないという難点がある。このため従来
は専ら表面が比較的フラツトな試料を観察対象と
している。そして、表面が曲つていたり凹凸があ
る試料を観察する場合には実体顕微鏡や走査型電
子顕微鏡が主に適用されている。しかしながら前
者の場合は倍率がせいぜい数10倍程度までであり
充分とはいえない。また、後者の場合は数万倍程
度の高倍率が得られるが試料の調整や装置の操作
が煩雑でまた色彩を識別できず、価格的にも高価
である等の難点がある。
簡単であること、操作性が容易であること、色彩
を識別できること、さらに、価格的にも安価であ
ること等により広く採用されている。このように
光学顕微鏡は多くの利点を有する反面、焦点深度
が浅いために表面が曲つていたり凹凸がある試料
をそのまま写真撮影したのでは鮮明な光学顕微鏡
像が得られないという難点がある。このため従来
は専ら表面が比較的フラツトな試料を観察対象と
している。そして、表面が曲つていたり凹凸があ
る試料を観察する場合には実体顕微鏡や走査型電
子顕微鏡が主に適用されている。しかしながら前
者の場合は倍率がせいぜい数10倍程度までであり
充分とはいえない。また、後者の場合は数万倍程
度の高倍率が得られるが試料の調整や装置の操作
が煩雑でまた色彩を識別できず、価格的にも高価
である等の難点がある。
(ハ) 目的
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたもので
あつて、表面が曲つていたり凹凸があるような試
料に対しても鮮明な光学顕微鏡像を撮影すること
ができるようにして従来の問題点を解消すること
を目的とする。
あつて、表面が曲つていたり凹凸があるような試
料に対しても鮮明な光学顕微鏡像を撮影すること
ができるようにして従来の問題点を解消すること
を目的とする。
(ニ) 構成
光学顕微鏡像の光量は第１図に示すように、試
料面と焦点が合つたときに最大となり、ある程度
焦点位置から外れると試料位置によらず一定のバ
ツクグラウンドの強度となる。本発明はこの点に
着目したものであつて、上記の目的を達成するた
め、試料の撮影視野内において、この試料の最も
凸なる部位に焦点を合せたときの試料と鏡筒間の
距離と、試料の最も凹なる部位に焦点を合せたと
きの試料と鏡筒間の距離との間で、撮影露出時間
内に一方の距離から他方の距離まで試料と鏡筒の
少なくとも一方を光学顕微鏡の光軸方向に走査さ
せるようにしている。そして、たとえばフイルム
上に光量を順次積算すれば焦点の合つた部位のみ
がこれに応じて露光されることになり、結果的に
全体として焦点の合つた撮影像が得られるもので
ある。
料面と焦点が合つたときに最大となり、ある程度
焦点位置から外れると試料位置によらず一定のバ
ツクグラウンドの強度となる。本発明はこの点に
着目したものであつて、上記の目的を達成するた
め、試料の撮影視野内において、この試料の最も
凸なる部位に焦点を合せたときの試料と鏡筒間の
距離と、試料の最も凹なる部位に焦点を合せたと
きの試料と鏡筒間の距離との間で、撮影露出時間
内に一方の距離から他方の距離まで試料と鏡筒の
少なくとも一方を光学顕微鏡の光軸方向に走査さ
せるようにしている。そして、たとえばフイルム
上に光量を順次積算すれば焦点の合つた部位のみ
がこれに応じて露光されることになり、結果的に
全体として焦点の合つた撮影像が得られるもので
ある。
(ホ) 実施例
以下、本発明を実施例について、図面に基づい
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
第２図は本発明を適用するための光学顕微鏡の
概略構成図である。第２図において、１は光学顕
微鏡、２は図示省略した拡大レンズ等が内蔵され
た鏡筒、３は、この鏡筒２に取付けられたカメ
ラ、４は観察すべき試料、５はこの試料４を載置
するためのステージである。このステージ５には
ラツク部５ａが形成され、ラツク部５ａにはピニ
オン６が噛合している。８はピニオン６を回転駆
動するためのシンクロモータ、９は上記カメラ３
のシヤツタ、１０はシンクロモータ８やシヤツタ
９等の動作を制御する制御部である。
概略構成図である。第２図において、１は光学顕
微鏡、２は図示省略した拡大レンズ等が内蔵され
た鏡筒、３は、この鏡筒２に取付けられたカメ
ラ、４は観察すべき試料、５はこの試料４を載置
するためのステージである。このステージ５には
ラツク部５ａが形成され、ラツク部５ａにはピニ
オン６が噛合している。８はピニオン６を回転駆
動するためのシンクロモータ、９は上記カメラ３
のシヤツタ、１０はシンクロモータ８やシヤツタ
９等の動作を制御する制御部である。
次に上記構成を有する光学顕微鏡１を適用して
試料２の光学顕微鏡像を撮影する方法について説
明する。
試料２の光学顕微鏡像を撮影する方法について説
明する。
まず、試料４をステージ５上に載置する。この
試料４の鏡筒２側の表面は平坦でなく第３図ａに
示すような凹凸があるものとする。次いで、ステ
ージ５を光学顕微鏡１の光軸方向（第２図中符号
Ｚ方向）へ移動する。そして、鏡筒２を覗きなが
ら試料４の撮影視野内において、試料４の最も凸
なる部位（同図中のA1点）に焦点を合せる。こ
のときの試料４と鏡筒２間の距離をZ1とする。続
いて、ステージ５を移動させて同じ視野内で試料
４の最も凹なる部位（同図中のA2点）に焦点を
合せる。このときの試料４と鏡筒２間の距離をZ3
とする。上記の試料４と鏡筒２間の各距離Z1，Z3
は制御部１０に記憶させておく。引き続いて、初
めに設定した距離Z1に試料５を位置させ、この状
態から制御部１０を操作してシヤツタ９を開放
し、撮影を開始する。シヤツタ９が開放されると
同時にシンクロモータ８も駆動され、ピニオン６
を回転させる。そして、ステージ５を試料４が後
に設定した距離Z3になるまで等速度で光軸方向に
走査させる（本例では下方に移動させる）。その
間シヤツタ９はシンクロモータ８に連動して開放
のままであり、所定の距離Z3に到達した時にシン
クロモータ８が停止するとともに、シヤツタ９が
閉じる。このように、撮影露出時間内に一方の距
離Z1から他方の距離Z3まで試料４が光軸方向に走
査されるので、時間経過にともない、試料４の各
部位に対応した光量は第３図ｂ〜ｄに示すように
順次変化する。従つて、カメラ３のフイルム上に
は像が積算され、焦点の合つた部位に対応した所
が次々と露出されていく。そして、結果的には全
体として撮影視野内で焦点の合つた撮影像が得ら
れる。走査の間にはバツクグラウンドのかぶりを
生じるが、これは、フイルムの感度やカメラ３の
絞り、また、図示省略したイルミネータの明る
さ、さらには印画紙、焼付条件等を調整すること
により取り除くことができる。なお、上記実施例
においては試料４の最も凸なる部位に焦点を合せ
た位置Z1から最も凹なる部位に焦点を合せた位置
Z3に試料４を走査させたが逆の場合であつてもよ
く、さらに、試料４側を動かすのではなくて鏡筒
２を動かすようにしてもよい。さらには、試料４
と鏡筒２とを互いに接近、離間させるようにする
こともできる。
試料４の鏡筒２側の表面は平坦でなく第３図ａに
示すような凹凸があるものとする。次いで、ステ
ージ５を光学顕微鏡１の光軸方向（第２図中符号
Ｚ方向）へ移動する。そして、鏡筒２を覗きなが
ら試料４の撮影視野内において、試料４の最も凸
なる部位（同図中のA1点）に焦点を合せる。こ
のときの試料４と鏡筒２間の距離をZ1とする。続
いて、ステージ５を移動させて同じ視野内で試料
４の最も凹なる部位（同図中のA2点）に焦点を
合せる。このときの試料４と鏡筒２間の距離をZ3
とする。上記の試料４と鏡筒２間の各距離Z1，Z3
は制御部１０に記憶させておく。引き続いて、初
めに設定した距離Z1に試料５を位置させ、この状
態から制御部１０を操作してシヤツタ９を開放
し、撮影を開始する。シヤツタ９が開放されると
同時にシンクロモータ８も駆動され、ピニオン６
を回転させる。そして、ステージ５を試料４が後
に設定した距離Z3になるまで等速度で光軸方向に
走査させる（本例では下方に移動させる）。その
間シヤツタ９はシンクロモータ８に連動して開放
のままであり、所定の距離Z3に到達した時にシン
クロモータ８が停止するとともに、シヤツタ９が
閉じる。このように、撮影露出時間内に一方の距
離Z1から他方の距離Z3まで試料４が光軸方向に走
査されるので、時間経過にともない、試料４の各
部位に対応した光量は第３図ｂ〜ｄに示すように
順次変化する。従つて、カメラ３のフイルム上に
は像が積算され、焦点の合つた部位に対応した所
が次々と露出されていく。そして、結果的には全
体として撮影視野内で焦点の合つた撮影像が得ら
れる。走査の間にはバツクグラウンドのかぶりを
生じるが、これは、フイルムの感度やカメラ３の
絞り、また、図示省略したイルミネータの明る
さ、さらには印画紙、焼付条件等を調整すること
により取り除くことができる。なお、上記実施例
においては試料４の最も凸なる部位に焦点を合せ
た位置Z1から最も凹なる部位に焦点を合せた位置
Z3に試料４を走査させたが逆の場合であつてもよ
く、さらに、試料４側を動かすのではなくて鏡筒
２を動かすようにしてもよい。さらには、試料４
と鏡筒２とを互いに接近、離間させるようにする
こともできる。
(ヘ) 効果
以上のように本発明によれば光学顕微鏡の鏡筒
と試料との相対的な位置関係を変位することによ
り試料表面が平坦でないものでも鮮明な光学顕微
鏡像が得られる。しかも、走査型電子顕微鏡に比
べて極めて安価に実現することができる。また、
実体顕微鏡では実現できなかつた数100倍の倍率
でも撮影像が得られるという優れた効果が発揮さ
れる。
と試料との相対的な位置関係を変位することによ
り試料表面が平坦でないものでも鮮明な光学顕微
鏡像が得られる。しかも、走査型電子顕微鏡に比
べて極めて安価に実現することができる。また、
実体顕微鏡では実現できなかつた数100倍の倍率
でも撮影像が得られるという優れた効果が発揮さ
れる。
第１図は試料表面に焦点を合せたときの光量と
の関係を説明する特性図、第２図および第３図は
本発明の実施例を示し、第２図は本発明を適用す
るための光学顕微鏡の構成図、第３図は試料表面
の形状と、この試料に焦点を合せたときの光量と
の関係を示す特性図である。 １……光学顕微鏡、２……鏡筒、３……カメ
ラ、４……試料。
の関係を説明する特性図、第２図および第３図は
本発明の実施例を示し、第２図は本発明を適用す
るための光学顕微鏡の構成図、第３図は試料表面
の形状と、この試料に焦点を合せたときの光量と
の関係を示す特性図である。 １……光学顕微鏡、２……鏡筒、３……カメ
ラ、４……試料。
Claims (1)
- １ 表面が平坦でない試料の光学顕微鏡像を撮影
する方法であつて、試料の撮影視野内においてこ
の試料の最も凸なる部位に焦点を合せたときの試
料と鏡筒間の距離と、試料の最も凹なる部位に焦
点を合せたときの試料と鏡筒間の距離との間で撮
影露出時間内に、一方の距離から他方の距離まで
試料と鏡筒の少なくとも一方を光学顕微鏡の光軸
方向に走査させることを特徴とする光学顕微鏡像
の撮影方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8477083A JPS6068312A (ja) | 1983-05-13 | 1983-05-13 | 光学顕微鏡像の撮影方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8477083A JPS6068312A (ja) | 1983-05-13 | 1983-05-13 | 光学顕微鏡像の撮影方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6068312A JPS6068312A (ja) | 1985-04-18 |
| JPH0527084B2 true JPH0527084B2 (ja) | 1993-04-20 |
Family
ID=13839912
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8477083A Granted JPS6068312A (ja) | 1983-05-13 | 1983-05-13 | 光学顕微鏡像の撮影方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6068312A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011070757A1 (ja) | 2009-12-07 | 2011-06-16 | パナソニック株式会社 | 撮像装置および撮像方法 |
| WO2011070755A1 (ja) | 2009-12-07 | 2011-06-16 | パナソニック株式会社 | 撮像装置及びその制御方法 |
| WO2012124321A1 (ja) | 2011-03-14 | 2012-09-20 | パナソニック株式会社 | 撮像装置、撮像方法、集積回路、コンピュータプログラム |
| US8890995B2 (en) | 2011-04-15 | 2014-11-18 | Panasonic Corporation | Image pickup apparatus, semiconductor integrated circuit and image pickup method |
| US9083880B2 (en) | 2011-03-02 | 2015-07-14 | Panasonic Corporation | Imaging device, semiconductor integrated circuit, and imaging method |
| US9185393B2 (en) | 2011-10-12 | 2015-11-10 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Image capturing device, semiconductor integrated circuit, and image capturing method |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2385481B (en) | 2002-02-13 | 2004-01-07 | Fairfield Imaging Ltd | Microscopy imaging system and method |
| US9057871B2 (en) | 2011-05-16 | 2015-06-16 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Set of compound lenses and imaging apparatus |
| JP5934940B2 (ja) | 2012-05-17 | 2016-06-15 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 撮像装置、半導体集積回路および撮像方法 |
| US10852650B2 (en) | 2018-01-30 | 2020-12-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Toner and method for producing the toner |
-
1983
- 1983-05-13 JP JP8477083A patent/JPS6068312A/ja active Granted
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| OPTICS COMMUNICATIONS=1992 * |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011070757A1 (ja) | 2009-12-07 | 2011-06-16 | パナソニック株式会社 | 撮像装置および撮像方法 |
| WO2011070755A1 (ja) | 2009-12-07 | 2011-06-16 | パナソニック株式会社 | 撮像装置及びその制御方法 |
| US9083880B2 (en) | 2011-03-02 | 2015-07-14 | Panasonic Corporation | Imaging device, semiconductor integrated circuit, and imaging method |
| WO2012124321A1 (ja) | 2011-03-14 | 2012-09-20 | パナソニック株式会社 | 撮像装置、撮像方法、集積回路、コンピュータプログラム |
| US8890995B2 (en) | 2011-04-15 | 2014-11-18 | Panasonic Corporation | Image pickup apparatus, semiconductor integrated circuit and image pickup method |
| US9185393B2 (en) | 2011-10-12 | 2015-11-10 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Image capturing device, semiconductor integrated circuit, and image capturing method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6068312A (ja) | 1985-04-18 |
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