JPH0235292A - 流体移送用複合管 - Google Patents
流体移送用複合管Info
- Publication number
- JPH0235292A JPH0235292A JP63181740A JP18174088A JPH0235292A JP H0235292 A JPH0235292 A JP H0235292A JP 63181740 A JP63181740 A JP 63181740A JP 18174088 A JP18174088 A JP 18174088A JP H0235292 A JPH0235292 A JP H0235292A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat
- heater
- tube
- inner tube
- pipe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Rigid Pipes And Flexible Pipes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は例えば半導体製造装置及びバイオ関連製造装置
のカスライン又は液体ラインで使用するガス等の温度管
理を必要とする流体を移送するに好適な流体移送用複合
管に関するものである。
のカスライン又は液体ラインで使用するガス等の温度管
理を必要とする流体を移送するに好適な流体移送用複合
管に関するものである。
（従来の技術）
従来、この種の温度管理を必要とする流体移送管として
は例えば半導体製造装置等で使用する反応用ガスを所定
温度に加熱し、このガスの反応部までの移送において温
度管理をする必要性から移送用配管にテープヒータを巻
いたり、或いは移送用配管を２重管とし、その外周管ど
内管との間にスチーム等の熱媒体を流して加熱したり、
あるいはガスライン全体を恒温槽に入れ反応用ガスを所
定温度に保温するなどの方策がとられていた。
は例えば半導体製造装置等で使用する反応用ガスを所定
温度に加熱し、このガスの反応部までの移送において温
度管理をする必要性から移送用配管にテープヒータを巻
いたり、或いは移送用配管を２重管とし、その外周管ど
内管との間にスチーム等の熱媒体を流して加熱したり、
あるいはガスライン全体を恒温槽に入れ反応用ガスを所
定温度に保温するなどの方策がとられていた。
〔発明か解決しようとする課題］
然し乍ら、上述した従来の流体移送管においては、テー
プヒータを巻く場合、テープヒータを巻くのに手間が掛
かり、またテープ巻き作業のためのスペースを必要とす
るため、ライン周りに大きなデッドスペースを設けなυ
ればならない他、テブヒータの巻き方を均一になし難く
、従って、均一加熱が困難であるため、高ｉｉ！Ｘに加
熱した時は、オーハヒー１− してヒーター祠の変質が
発生ずるという問題点があった。
プヒータを巻く場合、テープヒータを巻くのに手間が掛
かり、またテープ巻き作業のためのスペースを必要とす
るため、ライン周りに大きなデッドスペースを設けなυ
ればならない他、テブヒータの巻き方を均一になし難く
、従って、均一加熱が困難であるため、高ｉｉ！Ｘに加
熱した時は、オーハヒー１− してヒーター祠の変質が
発生ずるという問題点があった。
又、２重管或いは恒温槽なとを使用する場合でＧＪ、イ
ニシャルコスト及びランニングコス１〜が非常に高くな
るたけてな（、族ニスペースが大きくなり、温度コンＩ
・ロールか一定Ｑこならないため、移送流体の７品度管
理か困難である等の問題点かあった。
ニシャルコスト及びランニングコス１〜が非常に高くな
るたけてな（、族ニスペースが大きくなり、温度コンＩ
・ロールか一定Ｑこならないため、移送流体の７品度管
理か困難である等の問題点かあった。
本発明の目的は、上述の問題点に＆’ｌＡ ’ｉ、イニ
シャル及びランニングコスＩ・が安く、施工が簡単であ
りしかも移送流体の長さ方向の温度管理も簡単にできる
流体移送用複合管を提供するものである。
シャル及びランニングコスＩ・が安く、施工が簡単であ
りしかも移送流体の長さ方向の温度管理も簡単にできる
流体移送用複合管を提供するものである。
〔課題を解決するための手段］
本発明は上述した目的を達成するため、流体移送用内管
の外周面に、耐熱性の絶縁材が被覆された複数本のヒー
ター線を巻回或いは縦沿えなどにより配置し、その上に
断熱層と保護層がら成る保護層とを順次被着し、かつ該
保護層と」−記断熱層との間には、パワー線を巻回或い
は縦沿えなとの方法により介在したものである。
の外周面に、耐熱性の絶縁材が被覆された複数本のヒー
ター線を巻回或いは縦沿えなどにより配置し、その上に
断熱層と保護層がら成る保護層とを順次被着し、かつ該
保護層と」−記断熱層との間には、パワー線を巻回或い
は縦沿えなとの方法により介在したものである。
（作 用〕
本発明においては流体移送用内管」二に、複数のヒータ
ー線と、その上に断熱層を介してパワー線を順次一体に
配設したので、上記ヒーター線の本数及び介在させたヒ
ーター線相互間の電気的接続の組合せにより、単位長の
移送管のヒーター容量が容易に変更でき、移送管ライン
の長さ力Ｙｉ１１の温度管理を容易に行うことができる
。又、本発明の流体移送用複合管は全体が一体に成形さ
れているため、配管時の施工性が良く、また断熱層を被
覆しているので、熱効率も極めて良い。
ー線と、その上に断熱層を介してパワー線を順次一体に
配設したので、上記ヒーター線の本数及び介在させたヒ
ーター線相互間の電気的接続の組合せにより、単位長の
移送管のヒーター容量が容易に変更でき、移送管ライン
の長さ力Ｙｉ１１の温度管理を容易に行うことができる
。又、本発明の流体移送用複合管は全体が一体に成形さ
れているため、配管時の施工性が良く、また断熱層を被
覆しているので、熱効率も極めて良い。
〔実施例］
以下、本発明流体移送用複合管に係る一実施例を、第１
図乃至第３図に基づいて説明する。
図乃至第３図に基づいて説明する。
即ち、この複合管１０は、第１図に示す如く、したヒー
ター線４を、」１記内管（流体移送用内管１の外周面に
、複数本スパイラル状に巻回し、その上に、芳香族ポリ
アミドの不織布などの耐熱性材料から成る断熱層５と、
この断熱層５上に、銅線にポリイミドチューブなどの耐
熱性に優れた電気絶縁材料を被着して成るパワー線７を
配置し、而して、かかる構成の複合管１ｏにおいて、複
合管１０の端部より該複合管１ｏ内に内在させたヒータ
ー線４を突出させ、その所望数を互いに所望の抵抗値が
得られるように電気的に接続する。
ター線４を、」１記内管（流体移送用内管１の外周面に
、複数本スパイラル状に巻回し、その上に、芳香族ポリ
アミドの不織布などの耐熱性材料から成る断熱層５と、
この断熱層５上に、銅線にポリイミドチューブなどの耐
熱性に優れた電気絶縁材料を被着して成るパワー線７を
配置し、而して、かかる構成の複合管１ｏにおいて、複
合管１０の端部より該複合管１ｏ内に内在させたヒータ
ー線４を突出させ、その所望数を互いに所望の抵抗値が
得られるように電気的に接続する。
例えば、１木の抵抗値が１Ωのヒーター線４を４本使用
した場合の複合管１０を例にして説明すると、第２図（
ａ）乃至（ｄ）に示す如く、ヒーター線４相互を直列に
接続すると、接続本数により、全体で１Ω、２Ω、３Ω
、又は４Ωと４種類の抵抗値が得られ、第２図（ｅ）乃
至０］）に示す如く、ヒーター線４相互を今度は並列に
接続すると、接続本数により、全体で１Ω２０．５Ω、
０．３３Ω又は０．２５Ωと４種類の抵抗値が得られ
るので、各々複合管１０は上述の如き電気的接続を応用
するごとにより所望のヒーター容量に容易に変更され、
単位長の内管１が所定温度に加熱される。なお、複合管
１０の一端部において、内在させたヒーター線４とパワ
ー線７とは、電源を介して接続される。
した場合の複合管１０を例にして説明すると、第２図（
ａ）乃至（ｄ）に示す如く、ヒーター線４相互を直列に
接続すると、接続本数により、全体で１Ω、２Ω、３Ω
、又は４Ωと４種類の抵抗値が得られ、第２図（ｅ）乃
至０］）に示す如く、ヒーター線４相互を今度は並列に
接続すると、接続本数により、全体で１Ω２０．５Ω、
０．３３Ω又は０．２５Ωと４種類の抵抗値が得られ
るので、各々複合管１０は上述の如き電気的接続を応用
するごとにより所望のヒーター容量に容易に変更され、
単位長の内管１が所定温度に加熱される。なお、複合管
１０の一端部において、内在させたヒーター線４とパワ
ー線７とは、電源を介して接続される。
更に、第３図（ａ）、 （ｂ）に示す如く、本発明の移
送用複合管１０自体を数本に切り分けるか、或いは内在
させたヒーター線４を数か所に分離して、複数の複合管
１０で移送部を構成する。そして、これら各移送部にお
ける必要温度に対して、上述したように内在させたヒー
ター線４相互の電気的接続を、各々所定の抵抗値になる
ようにすることにより、所望温度の加熱部］、 Ｏａが
得られ、各部独立の温調が行なわれる。尚、この場合、
複合管１０の上流側に高温の加熱部１０ａを設定するの
が望ましい。また、１０ｂは、複合管ＩＯにおけるヒー
ター線４を通電しない断熱部であり、Ａは、温調計であ
る。
送用複合管１０自体を数本に切り分けるか、或いは内在
させたヒーター線４を数か所に分離して、複数の複合管
１０で移送部を構成する。そして、これら各移送部にお
ける必要温度に対して、上述したように内在させたヒー
ター線４相互の電気的接続を、各々所定の抵抗値になる
ようにすることにより、所望温度の加熱部］、 Ｏａが
得られ、各部独立の温調が行なわれる。尚、この場合、
複合管１０の上流側に高温の加熱部１０ａを設定するの
が望ましい。また、１０ｂは、複合管ＩＯにおけるヒー
ター線４を通電しない断熱部であり、Ａは、温調計であ
る。
斯くして、本発明の複合管１０によれば、半導体製造装
置等におりる加熱によるライン中の脱ガス及び真空引き
時の加熱による真空度の」１昇を行なう場合又は加熱に
よるライン中の水分除去を行なう場合に、内在ヒーター
線４はポリイミドチューブ３で高温絶縁並びに断熱部を
構成し、その外側に芳香族ポリアミドの不織布の断熱層
５を被覆したので、内管内部温度２００°Ｃ迄の高温に
おいても、周囲へのガス発生が無く、クリーンルーム中
での使用に好適である。又、この複合管１０１Ｊ複数本
のヒーター線４をスパイラル状に巻回内在させたので、
これが容易に屈曲され、通常の配管工具、例えばパイプ
カンタ−を以て容易に切断され、不織布を使用している
ため、切断カスが減少される。加えて、ヒーター線４の
接続方法により所望のヒーター容量が選定され、高精度
温調が行なえるため。半導体製造装置における液体ガス
ラインにおいて、ガスの液化が防止されると共に、オー
バーヒートも防止され、安全性か向−」二する。
置等におりる加熱によるライン中の脱ガス及び真空引き
時の加熱による真空度の」１昇を行なう場合又は加熱に
よるライン中の水分除去を行なう場合に、内在ヒーター
線４はポリイミドチューブ３で高温絶縁並びに断熱部を
構成し、その外側に芳香族ポリアミドの不織布の断熱層
５を被覆したので、内管内部温度２００°Ｃ迄の高温に
おいても、周囲へのガス発生が無く、クリーンルーム中
での使用に好適である。又、この複合管１０１Ｊ複数本
のヒーター線４をスパイラル状に巻回内在させたので、
これが容易に屈曲され、通常の配管工具、例えばパイプ
カンタ−を以て容易に切断され、不織布を使用している
ため、切断カスが減少される。加えて、ヒーター線４の
接続方法により所望のヒーター容量が選定され、高精度
温調が行なえるため。半導体製造装置における液体ガス
ラインにおいて、ガスの液化が防止されると共に、オー
バーヒートも防止され、安全性か向−」二する。
更に、本発明の複合管１０を用いて形成した移送路は、
各移送部か独立に温調を行なうごとができるので、各移
送部のヒーター線４の長手方向の温度勾配及び温度変動
が最小に抑制でき、温度分布が容易に制御できる。
各移送部か独立に温調を行なうごとができるので、各移
送部のヒーター線４の長手方向の温度勾配及び温度変動
が最小に抑制でき、温度分布が容易に制御できる。
尚、ヒーター線４は、複合管１０の軸に対して平行に設
けても良くヒーター線４の絶縁に用いるポリイミドチュ
ーブ３及び複合管１０の断熱層に用いる芳香族ポリアミ
ドの不織布の断熱層５は、耐熱性絶縁材であれば、これ
に限定されるものではない。
けても良くヒーター線４の絶縁に用いるポリイミドチュ
ーブ３及び複合管１０の断熱層に用いる芳香族ポリアミ
ドの不織布の断熱層５は、耐熱性絶縁材であれば、これ
に限定されるものではない。
〔発明の効果］
以上説明したように、本発明の流体移送用複合管は、流
体移送用内管の外周面に、複数本のヒター線、断熱層及
びパワー線を順次一体に設ｉＪだので、管の均一な保温
及び加熱ができると共に複数本用いて配管路を形成した
場合長手方向各部分において、独立に温調ができる他、
］ラインだけではなく、平行な複数ラインの温度制御が
できる。
体移送用内管の外周面に、複数本のヒター線、断熱層及
びパワー線を順次一体に設ｉＪだので、管の均一な保温
及び加熱ができると共に複数本用いて配管路を形成した
場合長手方向各部分において、独立に温調ができる他、
］ラインだけではなく、平行な複数ラインの温度制御が
できる。
更に、どの部分でも切断して使用でき、施工後も配管を
外したり、ヒーター線を交換せずにヒーター線 相互の
電気的接続を選択することにより当該複合管のヒーター
容量を自由に変更でき、併せて、パワー線を具備するこ
とにより配線本数が大巾に減少できる。よって、イニシ
ャル及びランニングコスＩ・が低下でき、施工及び温度
管理が簡便にできる等の特有の効果により上述の課題を
解決し得る。
外したり、ヒーター線を交換せずにヒーター線 相互の
電気的接続を選択することにより当該複合管のヒーター
容量を自由に変更でき、併せて、パワー線を具備するこ
とにより配線本数が大巾に減少できる。よって、イニシ
ャル及びランニングコスＩ・が低下でき、施工及び温度
管理が簡便にできる等の特有の効果により上述の課題を
解決し得る。
第１図乃至第３図は本発明複合管の一実施例を示すもの
で、第１図は複合管の斜視図、第２図はヒーター線の電
気的接続側図、第３図は配管路における複合管長手方向
各部における温調の説明図である。 １・・・内管（流体移送用内管）、２・・・ニクロム線
、３・・・ポリイミドチューブ、４・・ヒーター線、５
断熱層、６・・・保護層、７・・・パワー線、１０・・
複合管。 特許出願人 古河電気工業株式会社 （外１名）
で、第１図は複合管の斜視図、第２図はヒーター線の電
気的接続側図、第３図は配管路における複合管長手方向
各部における温調の説明図である。 １・・・内管（流体移送用内管）、２・・・ニクロム線
、３・・・ポリイミドチューブ、４・・ヒーター線、５
断熱層、６・・・保護層、７・・・パワー線、１０・・
複合管。 特許出願人 古河電気工業株式会社 （外１名）
Claims (1)
- 流体移送用内管の外周面に、耐熱性の絶縁材が被覆され
た複数本のヒーター線を配置し、その上に断熱層と保護
材から成る保護層とを順次被着し、かつ該保護層と上記
断熱層との間には、パワー線を介在させたことを特徴と
する流体移送用複合管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63181740A JPH0235292A (ja) | 1988-07-22 | 1988-07-22 | 流体移送用複合管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63181740A JPH0235292A (ja) | 1988-07-22 | 1988-07-22 | 流体移送用複合管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0235292A true JPH0235292A (ja) | 1990-02-05 |
Family
ID=16106057
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63181740A Pending JPH0235292A (ja) | 1988-07-22 | 1988-07-22 | 流体移送用複合管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0235292A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08247346A (ja) * | 1995-03-09 | 1996-09-27 | Nichifu Co Ltd | 自動洗車機における送水ホース |
| KR100747746B1 (ko) * | 2006-03-15 | 2007-08-17 | 현대본드에스티에스 주식회사 | 튜브 제조장치 |
| GB2443301A (en) * | 2006-10-27 | 2008-04-30 | Norma Germany Gmbh | A Layered Electrically Heated Fluid Line |
-
1988
- 1988-07-22 JP JP63181740A patent/JPH0235292A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08247346A (ja) * | 1995-03-09 | 1996-09-27 | Nichifu Co Ltd | 自動洗車機における送水ホース |
| KR100747746B1 (ko) * | 2006-03-15 | 2007-08-17 | 현대본드에스티에스 주식회사 | 튜브 제조장치 |
| GB2443301A (en) * | 2006-10-27 | 2008-04-30 | Norma Germany Gmbh | A Layered Electrically Heated Fluid Line |
| GB2443301B (en) * | 2006-10-27 | 2011-06-29 | Norma Germany Gmbh | Electrically heatble fluid line |
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