JPH0237243A - 危険薬品使用工場等用クリーンルーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体工場等の危険薬品使用を使用する工場
等に用いられるクリーンルームに関するものである。

（従来の技術） 従来、この種のクリーンルームとしては、例えば第３図
に示すものが知られていた。

図に於て、１は作業空間で、所定の間隔を置いて作業機
器２が配されている。この作業機器２には、ダンパ４を
設けた排気ダクト３が取り付けられている。このダンパ
４は、作業機器２の運転状況に応じて開放され、作業空
間１内の循環空気を外部に設置した排気用ファン５によ
って排気している。６は作業空間１の上方に位置する天
井空間で、フィルタ天井７によって仕切られている。こ
のフィルタ天井７は、後述する如く天井空間６内の循環
空気を作業空間１に吹き出すためのものであるから、こ
れに限らず、作業空間１の上方を天井によって仕切り、
その天井に吹出口を設けたものとしても良い。そして、
こり天井空間６では、ｗｉ環空気を収容し、作業空間１
側に設けられたフィルタ天井７を介して循環空気を作業
空間１に吹き出すように形成されている。８は作業空間
１の下方に形成された床下空間で、床板９によって仕切
られている。この床板９は、作業空間１に吹き出された
Ｖ＆環空気を通過することが出来る多孔板等で形成され
ている。１０は天井空間６と床下空間８とを連結する循
環空気用ダクトで、循環用ファン１１によって床下空間
８内の空気を天井空間６に供給し、空気を循環させるよ
うにしている。

又、この循環空気用ダクト１０には、冷却コイル１２が
取り付けられ、循環する空気を所望温度に冷却している
。１３は床下空間８に取り付けられた外気導入用ダクト
で、途中に温度、湿度をコントロールすると共に、外気
を濾過するフィルタ等の外気処理空調機１４が設けられ
ている。この外気導入用ダクト１３は、排気ダンパ４で
排気された空気量及び作業者等が出入りした時に洩れた
空気量等に見合った外気を導入して室圧を保つようにし
ている。

斯して構成されたクリーンルームによれば、所定の温度
、湿度等に保たれた空気が、循環用ファン１１によって
天井空間６に送られ、この天井空間６ではフィルタ天井
７を介して作業空間１に供給され、作業空間１に配設さ
れている作業機器２に触れて、床下空間８内に流入する
。そして、床下空間８に収容された空気は、再び循環用
ファン１１によって循環空気用ダクト１０を介して天井
空間６に送られる。この循環は、その用途によって異な
るが、通常は１００〜４００回／時間である。そして、
外気導入用ダクト１３から外気が導入された後に所定の
温度、湿度等にされて床下空間８内に供給される。

〔発明が解決しようとする課題〕

然し、上述したクリーンルームでは、外気をなるべく均
一に混合して部屋内に分散させることが出来るように構
成されているため、例えば第４図の如く、作業機器２が
事故を起こし、有毒ガス又は可燃性ガス等の危険ガスが
出たり、或いは窒素ガス等の窒息性ガスが出たり、或い
は、煙が出たすすると、これらも速やかに分散し、部屋
全体に行き渡り易い。

そのため、通常、事故時には、システムを停止して分散
防止を図っているが、作業者の安全避難ゾーンが確保さ
れていないという問題がある。

本発明は斯かる従来の問題点を解決するために為された
もので、その目的は、外気処理調整機によって処理され
た空気を常に供給する新鮮空気ゾーンを作業空間内に形
成し、この新鮮空気ゾーンを緊急、時に安全避難ゾーン
とすることが出来るようにした危険薬品使用工場等用ク
リーンルームを提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係る危険薬品使用工場等用クリーンルームは、
作業空間の上方をフィルタ天井又は吹出口付き天井とし
、天井から空気を作業空間に吹き出せるようにすると共
に、作業空間の床下に吹き出された空気を収容する空間
を形成し、床下に収容された空気を再び天井に戻して循
環出来るように循環用ファンを設けた空気循環系を備え
たクリーンルームに於て、天井空間内に外気処理空調機
と連通ずる外気専用空間を設け、この外気専用空間から
作業室内に空気を供給するように構成したものである。

〔作　用〕

本発明に於ては、外気処理空調機によって処理された空
気は、常に外気専用空間に供給され、この外気供給空間
から作業空間内に流入し、この部位に新鮮空気ゾーンを
形成する。従って、この新鮮空気ゾーンの中央部分では
、空気循環系の空気とは異なった新鮮な空気が常に充満
した状態が形成される。従って、万一、事故が発生した
時でも、この新鮮空気ゾーンでは空気循環系を循環する
空気が流入しないので、危険ガス、可燃ガス又は煙をパ
ージすることができる。更に、事故時には、外気処理空
調機のみを運転することによって、上記新鮮空気ゾーン
に於ける危険ガス、可燃ガス又は煙のパージ機能を充分
に発揮することが出来る。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は本発明の一実施例に係る危険薬品使用工場等用
クリーンルームを示し、図に於て、２１は作業空間であ
る。

この作業空間２１には、所定の間隔で産業機器２２が配
設されている（本例では、便宜上２つにして示しである
）。この生産機器２２には、排気用ダクト３６が設けら
れ、外部に設置した排気用ファン３７によって排気でき
るようになっている。

排気用ダクト３６には、ダンパ３８が設けられている。

作業空間２工の上方には、フィルタ天井２３が設けられ
、作業空間２１と隔離した天井空間２４を形成している
。

この天井空間２４内には、生産機器２２の配置場所から
離れた位置に相当する箇所に、外気専用空間２５が設け
である。この外気専用空間２５の開口部２６は、天井空
間２４を区画するフィルタ天井２３と連通している。

この外気専用空間２５には、外気導入ダクト２７が連通
している。この外気導入ダクト２７には、途中に温度、
湿度をコントロールすると共に、外気を濾過するフィル
タ等の外気処理空調機２８が設けられている。

作業空間２１の下方には、無数の通気孔３０を穿設した
床部２９が設けられ、作業空間２１と隔離した床下空間
３Ｉを形成している。

この床下空間３１と天井空間２４とは、循環空気用ダク
ト３２によって連通している。このｗｉ環空気用ダクト
３２には、循環用ファン３３と冷却コイル３４が設けら
れている。

次に、斯して構成された本実施例の作用を説明する。

本実施例に係る危険薬品使用工場等用クリーンルームは
、常態では、循環用ファン３３によって空気が床下空間
３１から天井空間２４に送られ、その空気はフィルタ天
井２３を通して作業空間２１内に供給され、更に床下空
間３１内に流入するという循環系を形成すると共に、外
気処理空調機２８を介して処理された空気が、外気専用
空間２５に供給され、フィルタ天井２３から層流として
作業空間２１内に送られている。

従って、空気は、通常のクリーンルームと同様に、床下
空間３１→天井空間２４→作業空間２１−床下空間３１
という空気循環系を介して供給され、作業空間２１での
要求を満足している。そして、各生産機器２２に取り付
けられた排気ダクト３６から空気が運転状況に応じて排
気され、外気専用空間２５から供給された新鮮な空気が
空気循環系に混入し、室圧をプラス側に保つようにして
いる。又、この空気循環系とは別に、生産機器２２とは
離れた位置で、常に外気専用空間２５から作業空間２１
に向かって処理された新鮮な空気が供給され、循環する
空気が混入していない新鮮な空気のみから成る新鮮空気
ゾーン４０が形成されている。

この運転状態で生産機器２２が事故を起こし、生産機器
２２から毒性或いは可燃性ガス又は窒息性ガスが漏洩す
るとか、或いは煙が出る等の事態が生ずると、これらの
ガス又は煙は、第２図に示す如く、空気循環系を停止し
ない限り、循環用ファン３３によって循環する空気と共
に部屋中に行き渡る。

然し、外気専用空間２５からはこの空気循環系とは別系
統の外気導入ダクト２７を介して新鮮な空気が常に供給
されているので、この下方の新鮮空気ヅーン４０では上
述した如きガス又は煙が分散しておらず、新鮮な空気に
よる領域を形成することが出来る。而も、層流に近い型
として供給されて来る空気によってこれらのガス又は煙
がパージされ、安全地帯を形成することが出来る。

従って、作業者は、この新鮮空気ゾーン４０に一次的に
避難することが出来る。

更に、ガス又は煙の流出が止まない場合には、空気循環
系を停止し、外気処理空調機２日のみを運転し、上記新
鮮空気ゾーン４０を新鮮な空気によって充満し続けるこ
とが出来る。

以上の如く、本実施例によれば、天井空間２４内に収容
した外気専用空間２５から新鮮な空気が作業空間２１内
に供給して新鮮空気ゾーン４０を常に形成しているので
、生産機器２２が事故を起こした時には、その新鮮空気
ヅーン４０を避難領域とすることが出来る。又、この新
鮮空気シー７４０は、空気循環系中に分散したガス又は
煙が混入する虞がないため、この新鮮空気ゾーン４０に
避難した作業者に害を及ぼす虞しがない。更に、外気専
用空間２５からの空気供給量を多くすることによって、
上記新鮮空気ゾーン４０でのガス又は煙のパージ能力を
高めることが可能である。

尚、上記実施例では、説明の便宜上、２つの生産機器２
２を作業空間２１内に設置したが、生産機器２２は作業
エリアに多数設置されている。これに対し、外気専用空
間２５は、例えば１つの作業エリアに対して１つ設ける
だけで充分にその殿能を発運することが可能であるが、
用途に応じてその配置数は任意に選定出来る。又、天井
空間２４を区画し、循環ダクト系、外気ダクト系のダン
パ切替により、生産機器配置の変更に伴い任意に移動す
ることも可能である。更に又、室圧を調整するために各
ダクトに適宜ダンパを設け、制御するようにしても良い
。

〔発明の効果〕

以上の如く、本発明に係る危険薬品使用工場等用クリー
ンルームによれば、天井空間内に外気処理調整機と連通
ずる外気専用空間を設け、この外気専用空間から作業室
内に空気を供給するように構成したものであるから、特
別に避難場所を設けることなく、事故時の安全な一次避
難ゾーンを形成することが出来ると共に、作業者の安全
操業を確保することが出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係る危険薬品使用工場等用ク
リーンルームを平面側から示す説明図である。 第２図は本発明の実施例に係る危険薬品使用工場等用ク
リーンルームに於て事故が発生した時の空気循環状況を
示す平面側から見た説明図である。 第３図は従来に於ける危険薬品使用工場等の給排気シス
テムを示す正面側から見た説明図である。 第４図は従来に於ける危険薬品使用工場等の給排気シス
テムに於て事故が発生した時の空気循環状況を示す平面
側から見たを示す正面側から見た説明図である。 （主要な部分の符号の説明〕 ２Ｉ・・・作業空間 ２２・・・生産機器 ２３・・・フィルタ天井 ２４・・・天井空間 ２５・・・外気専用空間 ２７・・・外気導入ダクト ２８・・・外気処理空調機 ３０・・・床下空間 ３２・・・循環空気用ダクト ４０・・・新鮮空気ゾーン。 、５６

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）作業空間の上方をフィルタ天井又は吹出口付き天
   井とし、天井から空気を作業空間に吹き出せるようにす
   ると共に、作業空間の床下に吹き出された空気を収容す
   る空間を形成し、床下に収容された空気を再び天井に戻
   して循環出来るように循環用ファンを設けた空気循環系
   を備えたクリーンルームに於て、天井空間内に外気処理
   空調機と連通する外気専用空間を設け、この外気専用空
   間から作業室内に空気を供給するように構成したことを
   特徴とする危険薬品使用工場等用クリーンルーム。