JPH08152170A - クリーンルーム構造 - Google Patents
クリーンルーム構造Info
- Publication number
- JPH08152170A JPH08152170A JP29170594A JP29170594A JPH08152170A JP H08152170 A JPH08152170 A JP H08152170A JP 29170594 A JP29170594 A JP 29170594A JP 29170594 A JP29170594 A JP 29170594A JP H08152170 A JPH08152170 A JP H08152170A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean room
- air
- cooling coil
- fan
- circulation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 35
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 11
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 5
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 2
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】冷却コイルの小型化によりグレーチング下空間
の縮小化を図るとともに、送風空気の温度を均一化す
る。 【構成】天井面全体をエアフィルター２，２面とし、床
面をグレーチング４としてクリーンルームＣＲを構成す
るとともに、このクリーンルームＣＲの室外部分に空気
循環用のダクトシャフト９を形成し、前記各エアフィル
ター２，２…の背面側に一体的に設けられた空気循環用
ファン３、３…により前記クリーンルームＣＲとダクト
シャフト９との間を空気が循環するように構成し、かつ
前記クリーンルーム室外の循環路の途中に冷却コイル５
を配設し顕熱負荷の処理を行うようにしたクリーンルー
ム構造において、前記冷却コイル５の背面側にファン６
を設ける。
の縮小化を図るとともに、送風空気の温度を均一化す
る。 【構成】天井面全体をエアフィルター２，２面とし、床
面をグレーチング４としてクリーンルームＣＲを構成す
るとともに、このクリーンルームＣＲの室外部分に空気
循環用のダクトシャフト９を形成し、前記各エアフィル
ター２，２…の背面側に一体的に設けられた空気循環用
ファン３、３…により前記クリーンルームＣＲとダクト
シャフト９との間を空気が循環するように構成し、かつ
前記クリーンルーム室外の循環路の途中に冷却コイル５
を配設し顕熱負荷の処理を行うようにしたクリーンルー
ム構造において、前記冷却コイル５の背面側にファン６
を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、冷却コイルの小型化に
より床下空間の縮小化を図るとともに、送風温度の均一
化、送風機の省エネルギー化を図ったクリーンルーム構
造に関する。
より床下空間の縮小化を図るとともに、送風温度の均一
化、送風機の省エネルギー化を図ったクリーンルーム構
造に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体工場、フィルム工場、液晶工場あ
るいは精密機械工場などでは、わずかでも浮遊微粒子が
あると、製造中の製品に付着して製品不良を起こすため
に、工場全体または作業室を必要に応じて清浄な状態と
し、製品の品質と信頼性を高め、歩留りの向上に努めて
いる。このような目的で清浄化された部屋をクリーンル
ームといい、常に高度の清浄化状態に保たれている。
るいは精密機械工場などでは、わずかでも浮遊微粒子が
あると、製造中の製品に付着して製品不良を起こすため
に、工場全体または作業室を必要に応じて清浄な状態と
し、製品の品質と信頼性を高め、歩留りの向上に努めて
いる。このような目的で清浄化された部屋をクリーンル
ームといい、常に高度の清浄化状態に保たれている。
【０００３】前記クリーンルームにおいては、空気を清
浄な状態に保つために、たとえば天井部分に高性能エア
フィルターを配設するとともに、床面をグレーチング構
造とし、室外部分に循環用ファンユニットを設け、天井
側の高性能フィルターを通して新鮮空気を室内に送り床
から排出し、再び前記循環用ファンユニットにより高性
能エアフィルターに送って空気を循環させている。
浄な状態に保つために、たとえば天井部分に高性能エア
フィルターを配設するとともに、床面をグレーチング構
造とし、室外部分に循環用ファンユニットを設け、天井
側の高性能フィルターを通して新鮮空気を室内に送り床
から排出し、再び前記循環用ファンユニットにより高性
能エアフィルターに送って空気を循環させている。
【０００４】空気循環方式には、大別すると、図２に示
されるように、クリーンルームＣＲの天井面に高性能エ
アフィルター２、２…を配設するとともに、この天井裏
空間を仕切り、ダクトシャフト（ダクト空間）９の天井
部分（仕切り部分）に中型送風機１４を配設し、クリー
ンルームＣＲからグレーチング床４を抜けた空気の一部
を冷却コイル５を通すことにより顕熱を奪った後、ダク
トシャフト９を上昇してくる空気を再び前記中型送風機
１４によって前記天井裏空間に供給して空気を循環させ
るようにしたファンモジュールユニット方式（以下、単
にＦＭＵ方式という。）と、図３に示されるように、一
体のケーシング内に小型の送風機３と高性能エアフィル
ター２とを内蔵したファンフィルターユニット１をクリ
ーンルームＣＲの天井部分に均一に配設し、この一体型
送風機の押込み力により空気を循環させるようにしたフ
ァンフィルターユニット方式（以下、単にＦＦＵ方式と
いう。）とがある。
されるように、クリーンルームＣＲの天井面に高性能エ
アフィルター２、２…を配設するとともに、この天井裏
空間を仕切り、ダクトシャフト（ダクト空間）９の天井
部分（仕切り部分）に中型送風機１４を配設し、クリー
ンルームＣＲからグレーチング床４を抜けた空気の一部
を冷却コイル５を通すことにより顕熱を奪った後、ダク
トシャフト９を上昇してくる空気を再び前記中型送風機
１４によって前記天井裏空間に供給して空気を循環させ
るようにしたファンモジュールユニット方式（以下、単
にＦＭＵ方式という。）と、図３に示されるように、一
体のケーシング内に小型の送風機３と高性能エアフィル
ター２とを内蔵したファンフィルターユニット１をクリ
ーンルームＣＲの天井部分に均一に配設し、この一体型
送風機の押込み力により空気を循環させるようにしたフ
ァンフィルターユニット方式（以下、単にＦＦＵ方式と
いう。）とがある。
【０００５】この場合、冷却コイル５配設部において
は、隣接してバイパス路８を設けるとともに、このバイ
パス路８に風量調整ダンパ１３を設け、この風量調整ダ
ンパ１３の開口率を調節することにより冷却コイル５の
通風量を調節するようになっている。
は、隣接してバイパス路８を設けるとともに、このバイ
パス路８に風量調整ダンパ１３を設け、この風量調整ダ
ンパ１３の開口率を調節することにより冷却コイル５の
通風量を調節するようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記ク
リーンルーム構造において、特にＦＦＵ方式の場合は、
ＨＥＰＡまたはＵＬＰＡフィルタなどの高性能エアフィ
ルターの背面側に配設される小型送風機は、あまり大き
な静圧を持つことができない。したがって、高性能エア
フィルターによって生じる所定の圧力損失を見込めば、
必然的に冷却コイルは圧力損失が小さくなるように設計
せざるを得ないものとなり、その結果、冷却コイルの容
量を大きくしてできるだけ通風抵抗を少なくするなどの
処置が採られている。そのため、グレーチング下空間の
設置スペースをその分余計に見込まなければならない、
生産機器用の動力配管や局排ダクト等の貫通スペースを
自由に確保できないなどの問題が発生している。
リーンルーム構造において、特にＦＦＵ方式の場合は、
ＨＥＰＡまたはＵＬＰＡフィルタなどの高性能エアフィ
ルターの背面側に配設される小型送風機は、あまり大き
な静圧を持つことができない。したがって、高性能エア
フィルターによって生じる所定の圧力損失を見込めば、
必然的に冷却コイルは圧力損失が小さくなるように設計
せざるを得ないものとなり、その結果、冷却コイルの容
量を大きくしてできるだけ通風抵抗を少なくするなどの
処置が採られている。そのため、グレーチング下空間の
設置スペースをその分余計に見込まなければならない、
生産機器用の動力配管や局排ダクト等の貫通スペースを
自由に確保できないなどの問題が発生している。
【０００７】また、冷却コイルを通過して冷却された冷
風と、バイパス路を通過した温かい風とがダクトシャフ
ト内で完全に混合されずに、送風温度の不均一化を招く
などの問題も発生している。
風と、バイパス路を通過した温かい風とがダクトシャフ
ト内で完全に混合されずに、送風温度の不均一化を招く
などの問題も発生している。
【０００８】そこで、本発明の主たる課題は、冷却コイ
ルの小型化によりグレーチング下空間の縮小化を図ると
ともに、送風温度の均一化等を図ったクリーンルーム構
造を提供することにある。
ルの小型化によりグレーチング下空間の縮小化を図ると
ともに、送風温度の均一化等を図ったクリーンルーム構
造を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記課題は、実質的に天
井面全体をエアフィルター面とし、床面を空気流通構造
としてクリーンルームを構成するとともに、このクリー
ンルームの室外部分に空気循環用のダクト空間を形成
し、前記各エアフィルターの背面側に一体的に設けられ
た空気循環用ファンまたは仕切られた天井裏空間に空気
を押し込むために設けられた１または複数の循環用ファ
ンにより前記クリーンルームとダクト空間との間を空気
が循環するように構成し、かつ前記クリーンルーム室外
の循環路の途中に冷却コイルを配設し顕熱負荷の処理を
行うようにしたクリーンルーム構造において、前記冷却
コイルの背面側にファンを設けたことを特徴とするもの
である。
井面全体をエアフィルター面とし、床面を空気流通構造
としてクリーンルームを構成するとともに、このクリー
ンルームの室外部分に空気循環用のダクト空間を形成
し、前記各エアフィルターの背面側に一体的に設けられ
た空気循環用ファンまたは仕切られた天井裏空間に空気
を押し込むために設けられた１または複数の循環用ファ
ンにより前記クリーンルームとダクト空間との間を空気
が循環するように構成し、かつ前記クリーンルーム室外
の循環路の途中に冷却コイルを配設し顕熱負荷の処理を
行うようにしたクリーンルーム構造において、前記冷却
コイルの背面側にファンを設けたことを特徴とするもの
である。
【００１０】この場合、前記冷却コイルの背面側に設け
られたファンを回転数制御または運転台数制御して、室
内顕熱負荷の変動に追従させるようにすることが望まし
い。
られたファンを回転数制御または運転台数制御して、室
内顕熱負荷の変動に追従させるようにすることが望まし
い。
【００１１】また、前記冷却コイルの背面側に設けられ
たファンとしては、発生静圧が４〜６mmAqの小容量のも
ので十分である。
たファンとしては、発生静圧が４〜６mmAqの小容量のも
ので十分である。
【００１２】
【作用】本発明においては、冷却コイルの背面側に空気
押込み用のファンを設ける。したがって、ＦＦＵによる
機外静圧による冷却コイル設計上の制約が無くなり、冷
却コイルを小型化することができる。また、冷却コイル
が小型化されることによりグレーチング下空間を狭くで
きるとともに、各種のダクト貫通スペースを自由に確保
できるようになる。さらに、前記ファンの吐出動圧によ
り、ダクトシャフト内でバイパス路を通過した温風と冷
却コイルを通過した冷風とが均一に混合されるため、送
風温度の均一化を図ることができる。
押込み用のファンを設ける。したがって、ＦＦＵによる
機外静圧による冷却コイル設計上の制約が無くなり、冷
却コイルを小型化することができる。また、冷却コイル
が小型化されることによりグレーチング下空間を狭くで
きるとともに、各種のダクト貫通スペースを自由に確保
できるようになる。さらに、前記ファンの吐出動圧によ
り、ダクトシャフト内でバイパス路を通過した温風と冷
却コイルを通過した冷風とが均一に混合されるため、送
風温度の均一化を図ることができる。
【００１３】他方、ＦＦＵファンの設計に当り、従来で
あれば５〜１０mmAq程度の静圧を発生させるＦＦＵファ
ンが必要であったが、本発明の適用によりＦＦＵファン
の機外静圧の制約は、床グレーチングとダクトシャフト
とになるため、２〜３mmAq程度の静圧発生能力のＦＦＵ
ファンで十分となり、ファンモータの出力低減により省
エネルギー化を図ることもできる。
あれば５〜１０mmAq程度の静圧を発生させるＦＦＵファ
ンが必要であったが、本発明の適用によりＦＦＵファン
の機外静圧の制約は、床グレーチングとダクトシャフト
とになるため、２〜３mmAq程度の静圧発生能力のＦＦＵ
ファンで十分となり、ファンモータの出力低減により省
エネルギー化を図ることもできる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて詳述する。
図１に示されるように、クリーンルームＣＲにおいて
は、室内の上方位置に格子状に組まれた天井フレーム１
１、１１…が設けられ、この天井フレーム１１、１１…
の各枠部に対して、ＨＥＰＡフィルターまたはＵＬＰＡ
フィルター等の高性能エアフィルター２とファン３とが
一体となったＦＦＵ（ファンフィルターユニット）１、
１…が設置されている。前記ＦＦＵ１に内蔵される循環
用ファン３としては、後述のように冷却コイル５にコイ
ル用ファン６を設けた結果、循環用ファン３の機外静圧
としては、床グレーチング４とダクトシャフト９とを考
慮すればよく、従来であれば５〜１０mmAqの静圧を発生
させる循環用ファン３が必要であったが、本発明の場合
には、前記循環用ファン３は発生静圧が２〜３mmAq程度
のものを使用することができる。これにより、ファンモ
ータの出力低減による省エネルギー効果を見込むことが
できる。特に、ＦＦＵ方式のクリーンルーム構造の場合
には、ＦＦＵ１の設置台数が数百〜数千台におよぶた
め、省エネルギー効果も高いものとなる。
図１に示されるように、クリーンルームＣＲにおいて
は、室内の上方位置に格子状に組まれた天井フレーム１
１、１１…が設けられ、この天井フレーム１１、１１…
の各枠部に対して、ＨＥＰＡフィルターまたはＵＬＰＡ
フィルター等の高性能エアフィルター２とファン３とが
一体となったＦＦＵ（ファンフィルターユニット）１、
１…が設置されている。前記ＦＦＵ１に内蔵される循環
用ファン３としては、後述のように冷却コイル５にコイ
ル用ファン６を設けた結果、循環用ファン３の機外静圧
としては、床グレーチング４とダクトシャフト９とを考
慮すればよく、従来であれば５〜１０mmAqの静圧を発生
させる循環用ファン３が必要であったが、本発明の場合
には、前記循環用ファン３は発生静圧が２〜３mmAq程度
のものを使用することができる。これにより、ファンモ
ータの出力低減による省エネルギー効果を見込むことが
できる。特に、ＦＦＵ方式のクリーンルーム構造の場合
には、ＦＦＵ１の設置台数が数百〜数千台におよぶた
め、省エネルギー効果も高いものとなる。
【００１５】一方、クリーンルームＣＲの床は、グレー
チングフロア４となっており、前記ＦＦＵ１から送られ
た空気が、このグレーチングフロア４を抜けて床下のリ
タンプレナムエリア１２に流入するようになっている。
なお、前記グレーチングフロア４に代えてパンチングフ
ロアとすることでもよい。
チングフロア４となっており、前記ＦＦＵ１から送られ
た空気が、このグレーチングフロア４を抜けて床下のリ
タンプレナムエリア１２に流入するようになっている。
なお、前記グレーチングフロア４に代えてパンチングフ
ロアとすることでもよい。
【００１６】リタンプレナムエリア１２に達した空気
は、その一部はリタンプレナムエリア１２の側部に設け
られた冷却コイル５により顕熱負荷が処理された後ダク
トシャフト９に至り、残りの空気は冷却コイル５に隣接
して設けられたバイパス路８を通りダクトシャフト９に
至るようになっている。本発明においては、前記冷却コ
イル５に対し、その背面側にコイル用ファン６が設けら
れている。このコイル用ファン６の選定に当たっては、
冷却コイル５の通風抵抗のみを考慮して選択することが
でき、たとえば４〜６mmAqの静圧を発生することのでき
る小容量ファンで十分である。またこの場合、前記コイ
ル用ファン６に対して、インバータ回路を設け、室内顕
熱負荷の変動に追従できるように、すなわち冷却コイル
５の通風量とバイパス路８の通風量とのバランス調整が
できるようにファンモータの回転数制御を行うことが望
ましい。この場合、前記回転数制御に代えて、コイル用
ファン６への給電切換えにより稼働ファンの台数を制御
する運転台数制御により風量バランスをとることもでき
る。なお、前記コイル用ファン６は、図示のようにケー
シングにより冷却コイル５と一体的に設けることが望ま
しいが、単に冷却コイル５の背面位置にファンを設置す
ることでもよい。
は、その一部はリタンプレナムエリア１２の側部に設け
られた冷却コイル５により顕熱負荷が処理された後ダク
トシャフト９に至り、残りの空気は冷却コイル５に隣接
して設けられたバイパス路８を通りダクトシャフト９に
至るようになっている。本発明においては、前記冷却コ
イル５に対し、その背面側にコイル用ファン６が設けら
れている。このコイル用ファン６の選定に当たっては、
冷却コイル５の通風抵抗のみを考慮して選択することが
でき、たとえば４〜６mmAqの静圧を発生することのでき
る小容量ファンで十分である。またこの場合、前記コイ
ル用ファン６に対して、インバータ回路を設け、室内顕
熱負荷の変動に追従できるように、すなわち冷却コイル
５の通風量とバイパス路８の通風量とのバランス調整が
できるようにファンモータの回転数制御を行うことが望
ましい。この場合、前記回転数制御に代えて、コイル用
ファン６への給電切換えにより稼働ファンの台数を制御
する運転台数制御により風量バランスをとることもでき
る。なお、前記コイル用ファン６は、図示のようにケー
シングにより冷却コイル５と一体的に設けることが望ま
しいが、単に冷却コイル５の背面位置にファンを設置す
ることでもよい。
【００１７】他方、ダクトシャフト９の下方には、空調
機７が設置され、外気を取り込み所定の空気状態にした
後、ダクトシャフト９内の上方に向けて吹き出すように
なっている。ダクトシャフト９内では、冷却コイル５を
通過した冷風とバイパス路８を通過した暖かい空気とさ
らに前記空調機７から吐出された調和空気とが前記コイ
ル用ファン６による吐出動圧により、均一に混合され送
風温度の均一化が図られる。
機７が設置され、外気を取り込み所定の空気状態にした
後、ダクトシャフト９内の上方に向けて吹き出すように
なっている。ダクトシャフト９内では、冷却コイル５を
通過した冷風とバイパス路８を通過した暖かい空気とさ
らに前記空調機７から吐出された調和空気とが前記コイ
ル用ファン６による吐出動圧により、均一に混合され送
風温度の均一化が図られる。
【００１８】ダクトシャフト９を通り抜けた空気は、Ｆ
ＦＵ１の上方の天井チャンバ１０に至り、再びＦＦＵ１
に内蔵された循環用ファン３の押込み作用により高性能
エアフィルター２を通り清浄化された後、再びクリーン
ルームＣＲに供給される。
ＦＵ１の上方の天井チャンバ１０に至り、再びＦＦＵ１
に内蔵された循環用ファン３の押込み作用により高性能
エアフィルター２を通り清浄化された後、再びクリーン
ルームＣＲに供給される。
【００１９】以上、本発明をＦＦＵ方式のクリーンルー
ム構造に対し適用した場合について詳述したが、本発明
はＦＭＵ方式のクリーンルーム構造に対しても全く同様
に適用することができる。
ム構造に対し適用した場合について詳述したが、本発明
はＦＭＵ方式のクリーンルーム構造に対しても全く同様
に適用することができる。
【００２０】
【発明の効果】以上詳説のとおり、本発明によれば、冷
却コイルの小型化により床下空間の縮小化を図ることが
できる。また、設置したコイル用ファンの吐出動圧によ
り送風温度の均一化を図ること、および循環用ファンの
小型化により省エネルギー化を図ることができる。
却コイルの小型化により床下空間の縮小化を図ることが
できる。また、設置したコイル用ファンの吐出動圧によ
り送風温度の均一化を図ること、および循環用ファンの
小型化により省エネルギー化を図ることができる。
【図１】本発明に係るクリーンルームの概略構造図であ
る。
る。
【図２】従来のＦＭＵ方式クリーンルームの概略構造図
である。
である。
【図３】従来のＦＦＵ方式クリーンルームの概略構造図
である。
である。
１…ＦＦＵ、２…高性能エアフィルター、３…循環用フ
ァン、４…グレーチングフロア、５…冷却コイル、６…
コイル用ファン、７…空調機、８…バイパス路、９…ダ
クトシャフト、１０…天井チャンバ、１１…天井フレー
ム、１２…リタンプレナムエリア
ァン、４…グレーチングフロア、５…冷却コイル、６…
コイル用ファン、７…空調機、８…バイパス路、９…ダ
クトシャフト、１０…天井チャンバ、１１…天井フレー
ム、１２…リタンプレナムエリア
Claims (3)
- 【請求項１】実質的に天井面全体をエアフィルター面と
し、床面を空気流通構造としてクリーンルームを構成す
るとともに、このクリーンルームの室外部分に空気循環
用のダクト空間を形成し、前記各エアフィルターの背面
側に一体的に設けられた空気循環用ファンまたは仕切ら
れた天井裏空間に空気を押し込むために設けられた１ま
たは複数の循環用ファンにより前記クリーンルームとダ
クト空間との間を空気が循環するように構成し、かつ前
記クリーンルーム室外の循環路の途中に冷却コイルを配
設し顕熱負荷の処理を行うようにしたクリーンルーム構
造において、 前記冷却コイルの背面側にファンを設けたことを特徴と
するクリーンルーム構造。 - 【請求項２】前記冷却コイルの背面側に設けられたファ
ンを回転数制御または運転台数制御する請求項１記載の
クリーンルーム構造。 - 【請求項３】前記冷却コイルの背面側に設けられたファ
ンの発生静圧が４〜６mmAqである請求項１記載のクリー
ンルーム構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6291705A JP2627613B2 (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | クリーンルーム構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6291705A JP2627613B2 (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | クリーンルーム構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08152170A true JPH08152170A (ja) | 1996-06-11 |
| JP2627613B2 JP2627613B2 (ja) | 1997-07-09 |
Family
ID=17772337
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6291705A Expired - Lifetime JP2627613B2 (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | クリーンルーム構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2627613B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0967445A2 (en) | 1998-06-25 | 1999-12-29 | Nec Corporation | Air conditioning apparatus with reducing pressure loss in air circulation |
| JP2000337675A (ja) * | 1999-05-25 | 2000-12-08 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 低露点のクリーンルーム装置 |
| JP2001227788A (ja) * | 2000-02-18 | 2001-08-24 | Takenaka Komuten Co Ltd | クリーンルーム装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6176837A (ja) * | 1984-09-22 | 1986-04-19 | Shinko Kogyo Kk | 清浄作業室 |
| JPH0237243A (ja) * | 1988-07-28 | 1990-02-07 | Takenaka Komuten Co Ltd | 危険薬品使用工場等用クリーンルーム |
-
1994
- 1994-11-25 JP JP6291705A patent/JP2627613B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6176837A (ja) * | 1984-09-22 | 1986-04-19 | Shinko Kogyo Kk | 清浄作業室 |
| JPH0237243A (ja) * | 1988-07-28 | 1990-02-07 | Takenaka Komuten Co Ltd | 危険薬品使用工場等用クリーンルーム |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0967445A2 (en) | 1998-06-25 | 1999-12-29 | Nec Corporation | Air conditioning apparatus with reducing pressure loss in air circulation |
| US6151903A (en) * | 1998-06-25 | 2000-11-28 | Nec Corporation | Air conditioning apparatus and air conditioning method for reducing electric power consumption by reducing pressure loss in circulation air |
| EP0967445A3 (en) * | 1998-06-25 | 2002-06-05 | Nec Corporation | Air conditioning apparatus with reducing pressure loss in air circulation |
| JP2000337675A (ja) * | 1999-05-25 | 2000-12-08 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 低露点のクリーンルーム装置 |
| JP2001227788A (ja) * | 2000-02-18 | 2001-08-24 | Takenaka Komuten Co Ltd | クリーンルーム装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2627613B2 (ja) | 1997-07-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4294784B2 (ja) | 空調設備および空調方法 | |
| JP5855895B2 (ja) | 通信・情報処理機器室等の空調システム | |
| JP2012202558A (ja) | クリーンルーム空調システム | |
| JP3092705B2 (ja) | 空調装置 | |
| JPH10332181A (ja) | 換気装置 | |
| JP3561191B2 (ja) | クリーンルーム | |
| JP5453721B2 (ja) | 半導体製造装置用空気調和システム | |
| JP2627613B2 (ja) | クリーンルーム構造 | |
| KR20100005319A (ko) | 열전소자를 적용한 공기 청정기능이 구비된 공기조화기 | |
| KR100761779B1 (ko) | 하향식 항온항습기의 공기 순환량 및 냉,난방효율 증대장치 | |
| JP3516507B2 (ja) | クリーンルームシステム | |
| JP2001056140A (ja) | クリーンルーム | |
| KR20210124740A (ko) | 외기를 간접적으로 이용하는 서버실 냉각 장치 | |
| JP2627613C (ja) | ||
| JPS61122433A (ja) | クリ−ンドライベンチ | |
| JP3855194B2 (ja) | クリーンルームの空調システム | |
| KR102694506B1 (ko) | 내외기를 환기하는 일체형 에어컨 | |
| TWI267614B (en) | Fan-dry cooling coil unit with bleed-in chilled water system | |
| JP2001227788A (ja) | クリーンルーム装置 | |
| JPH05133554A (ja) | 空気調和機 | |
| JPH076676B2 (ja) | 設備グリツドの空気調整用パネル | |
| JPH04148128A (ja) | ターミナル空気調和機 | |
| JP2991360B2 (ja) | 空気調和システム | |
| JPS62739A (ja) | 半導体製造用空気調和方法 | |
| JP2000018667A (ja) | 熱交換換気装置及び熱交換換気装置付き構造物 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080418 Year of fee payment: 11 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080418 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090418 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090418 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100418 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100418 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110418 Year of fee payment: 14 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120418 Year of fee payment: 15 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130418 Year of fee payment: 16 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130418 Year of fee payment: 16 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140418 Year of fee payment: 17 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |