JPH0238287Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案はマスクパターンに関し、リピートピツ
チの誤差検出およびそのマスクパターンの使用の
可否判断のための簡易な手段を提供することを目
的とする。

通常、写真製版等に用いられるマスクパターン
は多数個取りとするため、原版（アートワーク
等）をそのまま、または縮小した後、リピートを
行つている。その際、完成したマスクパターンの
リピート精度（ピツチ、傾き等の精度）は投影機
やマイクロプロツター等で測定、検査するが、測
定のための位置あわせ等を実際に現場で行うには
手間がかかり実用的ではなかつた。

本考案はかかる欠点を解消することを目的にな
されたもので、マスクパターンのリピート精度
を、投影機等を使用せずに目視にて容易に検査、
判定できるマスクパターンを提供することにあ
る。

以下、その詳細について図面に示す１実施例に
よつて説明する。

第１図は原版を示し、２および２ａは本考案に
係るチエツク表示部で、所望のパターン１の両側
にリピートピツチと同一の間隔ｌをもつて対向配
置されているものである。チエツク表示部２，２
ａの形状はどのようなものでもかまわないが、例
えば第１図に示すように直角に交差する直線パタ
ーンの光透過部の中にさらに細い直線パターンの
光不透過部が構成されているようにしておけばリ
ピートの際に原版をリピート用治具に貼る場合の
位置あわせがやりやすく、また、マスクパターン
検査の場合にも検出能力が高くなるなどの利点が
ある。

第２図は、第１図に示す原版をリピートして形
成したマスクパターンである。なお、ここでは１
方向（図面上、左右方向）にリピートした状態を
示したが、他方向（例えば図面上、上下方向）に
もチエツク表示部２，２ａを設けておけばその方
向についても同時にチエツク可能なことは言うま
でもない。同図において、３で示されるチエツク
表示部はリピートによつて２つのチエツク表示部
２および２ａが重なつたものであることを示して
いる。チエツク表示部３において、チエツク表示
部２とチエツク表示部２ａが完全に重なつていれ
ばそのリピート精度は良好であると判断すること
ができる。

しかし、このチエツク表示部３が、例えば第３
図のようにずれている場合は、リピートピツチの
誤差等何らかの不都合があると判断できる。ま
た、チエツク表示部２，２ａの寸法を、要求され
るリピート精度にあわせて適当に選べば、リピー
ト後のチエツク表示部３のずれの程度を見ること
によつてどの位のリピート精度になつているかの
見当をつけることができ、そのマスクパターンが
使用可か否かを判断することができる。

即ち、第１図のように、原版のチエツク表示部
２とチエツク表示部２ａを、直角に交差する直線
パターンからなる光透過部と、該光透過部の中に
リピートの許容位置ズレの寸法と一致する幅を有
する直線パターンを直角に交差させてなる光不透
過部とから形成すると、リピート後は前記原版の
反転像が形成されるので、リピート後のマスクパ
ターンのチエツク表示部３は、原版のチエツク表
示部２とチエツク表示部２ａそれぞれの光透過部
に対応する光不透過部が重なつて形成され、リピ
ートのずれがある場合には上記二つの光不透過部
がずれて重なり、原版の光不透過部に対応する光
透過部のパターンは本来の幅より細くなる。そし
てこの光透過部が細くなつた分がリピートのずれ
の量に一致する。従つて、原版の光不透過部のパ
ターン幅を許容されるリピートのずれの寸法に設
定しておくと、リピートのずれが許容値を越える
とリピート後は光透過部の一部、リピートのずれ
が許容値を越えた方向に幅を有する部分が全く存
在しないことになり、そのことによりリピートの
ずれが許容値を越えたことが一目でわかる。そし
て、この場合のずれの量は、原版の前記光透過部
に対応する光不透過部の外形の段差によつて知る
ことができる。しかもチエツク表示部が直交する
直線パターンで構成されているので、リピートの
ずれが縦横の２方向について知ることができる。

このように、本考案によれば、チエツク表示部
がリピートピツチと同一であつて、しかも同一形
状のパターンなので、重なりの状態をチエツクす
ることによりリピートピツチの精度を知ることが
でき、チエツク表示部が、少なくとも直交する直
線パターンを含んでいるので、一方の直線パター
ンでリピート方向の位置ズレを、他方の直線パタ
ーンでリピート方向と直交する方向での位置ズレ
ををそれぞれ正確にかつ同時にチエツクでき、更
に、一方向のリピートのみならず、直交する２方
向にリピートする場合にもそれぞれの方向におけ
る位置ズレをチエツクすることができる。そして
例えば原版のチエツク表示部にずれの許容値と同
一の幅を有する光不透過部を形成しておけばリピ
ート後のチエツク表示部には原版の前記光不透過
部に対応する光透過部が無くなつてしまい、従つ
てずれの許容値を越えたことが目視で確認でき
る。そして、そのときのずれの量は、原版の前記
光透過部に対応する光不透過部の外形の段差によ
つて知ることができる。以上のように、リピート
の精度を、面倒な測定をせずに目視で容易に判断
することができるため、マスクパターンチエツク
作業の大幅な時間短縮にもなり、生産性および品
質の向上等、その効果は大なるものがある。

なお、第１図から第３図に示したチエツク表示
部２，２ａの形状は一例であり、例えば一般の印
刷回路板のようにパターン形成後打ち抜き加工の
ためのパイロツト穴をドリルであけるような場合
によく使用される第４図に示すような形状のパイ
ロツト穴マークを兼ねることもできる。

すなわち、第４図ａは、円とその円の中心で互
いに直交する２本の直線で構成されるチエツク表
示部２，２ａで、パイロツト穴マークを兼ねてい
る。同図ｂは、２つのチエツク表示部兼パイロツ
ト穴マーク、２，２ａがリピートによつて重なり
あつた状態のチエツク表示部兼パイロツト穴マー
ク３を示し、一方向（図面上、左右方向）にずれ
ている状態を表わしている。

【図面の簡単な説明】

第１図から第４図は本考案に係り、第１図は原
版を表わす説明図、第２図は原版をリピートした
状態を表わすマスクパターンの説明図、第３図は
２つのチエツク表示部２，２ａが重なりあつてい
る状態を表わす説明図、第４図ａ，ｂはチエツク
表示部２，２ａの他の形状の一例を表わす説明図
である。 １……所望のパターン、２，２ａ……チエツク
表示部、３……チエツク表示部２，２ａが重なり
あつた状態を示すチエツク部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. リピートされた後に一方が他方に重なるように
   配置された１組のチエツク表示部を有するネガ状
   態のマスクパターン用原版において、１組の上記
   チエツク表示部はリピートピツチと同一間隔で配
   置され、かつ同一の形状であつて、それぞれは光
   透過部と該光透過部の中の光不透過部とで構成さ
   れ、該光透過部および該光不透過部はそれぞれ直
   交するパターンを含むことを特徴とするマスクパ
   ターン用原版。