JPH0240879B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0240879B2 JPH0240879B2 JP56159056A JP15905681A JPH0240879B2 JP H0240879 B2 JPH0240879 B2 JP H0240879B2 JP 56159056 A JP56159056 A JP 56159056A JP 15905681 A JP15905681 A JP 15905681A JP H0240879 B2 JPH0240879 B2 JP H0240879B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blades
- rotor blade
- rotary shaft
- fixed
- blade
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/024—Multi-stage pumps with contrarotating parts
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は軸流式ターボ分子ポンプに関し、排気
速度・圧縮比を大きくできる構造に関するもので
ある。
速度・圧縮比を大きくできる構造に関するもので
ある。
第１図に従来のターボ分子ポンプの構造を示
す。回転自在の回転軸１に任意の角度で取付け枚
数、段数を有する回転翼３が取付けられ、固定軸
２に取付けられたモータで回転軸１が回転する。
軸受には磁気軸受、または機械式軸受が使用され
ている。回転翼３の間ごとに固定翼４が使用され
ており、外筒５と外部と区切るとともに固定翼４
を止めている。このように従来のターボ分子ポン
プは回転翼の間に挿入された翼は固定されてお
り、この構造に関する排気速度・圧縮比等は古く
から研究されている。これら排気速度・圧縮比を
決定するものは回転翼の回転数・翼の角度・翼の
段数である。これらのうち、ターボ分子ポンプの
性能をより向上させるためには回転する翼の回転
数を増加させれば良い。
す。回転自在の回転軸１に任意の角度で取付け枚
数、段数を有する回転翼３が取付けられ、固定軸
２に取付けられたモータで回転軸１が回転する。
軸受には磁気軸受、または機械式軸受が使用され
ている。回転翼３の間ごとに固定翼４が使用され
ており、外筒５と外部と区切るとともに固定翼４
を止めている。このように従来のターボ分子ポン
プは回転翼の間に挿入された翼は固定されてお
り、この構造に関する排気速度・圧縮比等は古く
から研究されている。これら排気速度・圧縮比を
決定するものは回転翼の回転数・翼の角度・翼の
段数である。これらのうち、ターボ分子ポンプの
性能をより向上させるためには回転する翼の回転
数を増加させれば良い。
しかしながら、回転翼を高速回転させることは
翼に大きな遠心力が働くことになり、使用する材
料の強度、高真空中で使用可能な材料、軸受機構
等の制約を受け、使用回転数が限られてしまうこ
とになる。そのため、ターボ分子ポンプをより向
上させることが困難であつた。
翼に大きな遠心力が働くことになり、使用する材
料の強度、高真空中で使用可能な材料、軸受機構
等の制約を受け、使用回転数が限られてしまうこ
とになる。そのため、ターボ分子ポンプをより向
上させることが困難であつた。
そこで、この発明においては、上記課題を解決
するため、回転翼をそれほど高速回転させなくと
も、排気速度・圧縮比等の性能がより向上できる
ターボ分子ポンプを提供することを目的とし、タ
ーボ分子ポンプの従来固定されている翼を、本体
側の回転翼と逆方向に回転させる翼に置き換える
構造を設けることにより、本体側の翼が従来と同
じ回転数のまま排気速度・圧縮比を大きくできる
構造のターボ分子ポンプとした。
するため、回転翼をそれほど高速回転させなくと
も、排気速度・圧縮比等の性能がより向上できる
ターボ分子ポンプを提供することを目的とし、タ
ーボ分子ポンプの従来固定されている翼を、本体
側の回転翼と逆方向に回転させる翼に置き換える
構造を設けることにより、本体側の翼が従来と同
じ回転数のまま排気速度・圧縮比を大きくできる
構造のターボ分子ポンプとした。
上記のような手段によれば、従来の回転翼と固
定翼の組み合わせから、互いに逆に回転する回転
翼同士の組み合わせになり、両翼の相対回転数は
大きくなり、気体分子の輸送確率の値が大きくな
る。このため高速回転させることなく、排気速
度・圧縮比を大きくすることができる。
定翼の組み合わせから、互いに逆に回転する回転
翼同士の組み合わせになり、両翼の相対回転数は
大きくなり、気体分子の輸送確率の値が大きくな
る。このため高速回転させることなく、排気速
度・圧縮比を大きくすることができる。
第２図に本発明の一実施例を示す。内側回転軸
である回転軸１、固定軸２、回転翼３は第１図と
同じであり、回転翼３は、複数の翼が回転軸１の
外周で翼列をなし、この翼列はさらに回転軸１の
軸方向に数段設けられている。軸受機構も第１図
と同じものを使用できる。逆回転翼６は従来の固
定翼の換わりに取付けられたものであり、回転翼
３の翼列の間ごとに挿入され、回転翼３と同じ形
状で逆方向に回転する翼であり、ボルト７で外側
回転軸８に止められている。外側回転軸８は、半
径方向（Ｘ、Ｙ方向）をセンサー１０で位置を検
出し、電磁石９で位置を制御され、軸方向（Ｚ方
向）はセンサー１３と電磁石１２で位置を制御さ
れている。また、モータ１１で外側回転軸８を回
転させている。このように従来固定されていた翼
を回転する翼に置き換えることによつて回転翼３
の回転数を増加させることなく排気速度、圧縮比
を大きくすることができる。これは、従来の動翼
と静翼の組み合わせから互いに逆に回転する動翼
同士の組み合わせになり、気体分子の輸送確率の
値が大きくなるからである。また、磁気軸受を使
用することで無接触で逆回転翼６を回転させるこ
とができるため清潔な高真空を得ることができ
る。尚、回転軸１と固定軸２の支持構造にも磁気
軸受を使用することにより、より清潔な真空が得
られる。
である回転軸１、固定軸２、回転翼３は第１図と
同じであり、回転翼３は、複数の翼が回転軸１の
外周で翼列をなし、この翼列はさらに回転軸１の
軸方向に数段設けられている。軸受機構も第１図
と同じものを使用できる。逆回転翼６は従来の固
定翼の換わりに取付けられたものであり、回転翼
３の翼列の間ごとに挿入され、回転翼３と同じ形
状で逆方向に回転する翼であり、ボルト７で外側
回転軸８に止められている。外側回転軸８は、半
径方向（Ｘ、Ｙ方向）をセンサー１０で位置を検
出し、電磁石９で位置を制御され、軸方向（Ｚ方
向）はセンサー１３と電磁石１２で位置を制御さ
れている。また、モータ１１で外側回転軸８を回
転させている。このように従来固定されていた翼
を回転する翼に置き換えることによつて回転翼３
の回転数を増加させることなく排気速度、圧縮比
を大きくすることができる。これは、従来の動翼
と静翼の組み合わせから互いに逆に回転する動翼
同士の組み合わせになり、気体分子の輸送確率の
値が大きくなるからである。また、磁気軸受を使
用することで無接触で逆回転翼６を回転させるこ
とができるため清潔な高真空を得ることができ
る。尚、回転軸１と固定軸２の支持構造にも磁気
軸受を使用することにより、より清潔な真空が得
られる。
上記実施例では、磁気軸受を使用した例である
が機械式軸受を用いた構造によつてでも従来固定
されていた翼を回転する翼に置き換えることが可
能なことは言うまでもない。
が機械式軸受を用いた構造によつてでも従来固定
されていた翼を回転する翼に置き換えることが可
能なことは言うまでもない。
以上述べた如く、本発明の構造を採用すること
により、次の効果を得ることができる。
により、次の効果を得ることができる。
(1) 従来の回転数のままで、より大きな排気速度
圧縮比を得ることができ効率が増加する。
圧縮比を得ることができ効率が増加する。
(2) 磁気軸受を採用した場合には、軸受寿命が半
永久的に伸び、より清潔な真空を得ることがで
きる。
永久的に伸び、より清潔な真空を得ることがで
きる。
第１図は従来のターボ分子ポンプの回転翼と固
定翼を示す断面図、第２図は本発明の一実施例を
示す断面図である。 １……回転軸（内側回転軸）、２……固定軸、
３……回転翼（内側回転翼）、４……固定翼、５
……外筒、６……逆回転翼（外側回転翼）、７…
…ボルト、８……外側回転軸、９……電磁石、１
０，１３……センサー、１１……モータ、１２…
…電磁石。
定翼を示す断面図、第２図は本発明の一実施例を
示す断面図である。 １……回転軸（内側回転軸）、２……固定軸、
３……回転翼（内側回転翼）、４……固定翼、５
……外筒、６……逆回転翼（外側回転翼）、７…
…ボルト、８……外側回転軸、９……電磁石、１
０，１３……センサー、１１……モータ、１２…
…電磁石。
Claims (1)
- １ タービン翼を利用したターボ分子ポンプにお
いて、内側回転軸の軸方向に多数段の翼列からな
る内側回転翼群を設け、上記内側回転軸と同芯状
に設けられた外側回転軸の軸方向に多数段の翼列
からなる外側回転翼群を設けて、上記外側回転翼
列を内側回転翼列間に軸方向で交互に配置し、内
側回転軸と外側回転軸とを互いに逆方向に回転さ
せることを特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15905681A JPS5859395A (ja) | 1981-10-06 | 1981-10-06 | タ−ボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15905681A JPS5859395A (ja) | 1981-10-06 | 1981-10-06 | タ−ボ分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5859395A JPS5859395A (ja) | 1983-04-08 |
| JPH0240879B2 true JPH0240879B2 (ja) | 1990-09-13 |
Family
ID=15685253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15905681A Granted JPS5859395A (ja) | 1981-10-06 | 1981-10-06 | タ−ボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5859395A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10149366A1 (de) * | 2001-10-06 | 2003-04-17 | Leybold Vakuum Gmbh | Axial fördernde Reibungsvakuumpumpe |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3044685A (en) * | 1959-02-13 | 1962-07-17 | Nicholas P Lapiken | Air compressor |
-
1981
- 1981-10-06 JP JP15905681A patent/JPS5859395A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5859395A (ja) | 1983-04-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3047292B1 (ja) | ターボ分子ポンプ及び真空装置 | |
| US5033936A (en) | Rotor blades of turbomolecular pump | |
| US8727751B2 (en) | Vacuum pumping arrangement | |
| JPH07151092A (ja) | 改良真空ポンプ | |
| US7140833B2 (en) | Integrated turbo/drag/regenerative pump with counter-rotating turbo blades | |
| JPH0240879B2 (ja) | ||
| JPH0538389U (ja) | 真空ポンプ | |
| WO1995028571A1 (en) | Molecular pump | |
| JPH1089284A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JPH0553955B2 (ja) | ||
| JPS60204997A (ja) | 複合真空ポンプ | |
| JPH0419393B2 (ja) | ||
| EP1573205B1 (en) | Vacuum pumping system and method of operating a vacuum pumping arrangement | |
| JP2865888B2 (ja) | マルチターボ型真空ポンプ | |
| JP2000110771A (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JP2585265Y2 (ja) | 排気ポンプ | |
| JPH05141389A (ja) | 真空ポンプ | |
| JPH0640955Y2 (ja) | 磁気軸受型ターボ分子ポンプ | |
| EP1573206A1 (en) | Vacuum pumping arrangement and method of operating same | |
| JPH0640954Y2 (ja) | ねじ溝真空ポンプ | |
| JP3141204U (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JPH0687691U (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JPS58197497A (ja) | タ−ボ分子ポンプ | |
| JPH0617036Y2 (ja) | ターボ分子ポンプ | |
| JP3734616B2 (ja) | ターボ分子ポンプ |