JPH0240975A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH0240975A JPH0240975A JP63191737A JP19173788A JPH0240975A JP H0240975 A JPH0240975 A JP H0240975A JP 63191737 A JP63191737 A JP 63191737A JP 19173788 A JP19173788 A JP 19173788A JP H0240975 A JPH0240975 A JP H0240975A
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- JP
- Japan
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- discharge tube
- discharge
- oscillation device
- laser
- laser oscillation
- Prior art date
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、放電管の軸方向と光軸方向が一致したガスレ
ーザ発振装置に係り、特に、良質なレーザビームを発振
できるようにしたガスレーザ発振装置に関するものであ
る。
ーザ発振装置に係り、特に、良質なレーザビームを発振
できるようにしたガスレーザ発振装置に関するものであ
る。
従来、この種のガスレーザ発振装置としては例えば第３
図および第４図に示すように、ガラス等の誘電体よりな
る円筒吠の放電管（１）の外周面管軸方向の両側２箇所
に所定間隔を設けて一対の金属電極（２）（３）を互い
に対向杖に密着して配設すると共に、これら一対の金属
電極（２）（３）を高周波交流電源（４）に接続して、
両電極（２）（３）に例えば１３．５１１ｉＭＨｚ、２
ｋｖの高周波高電圧を印加する一方、両金属電極（２）
（３）間に挟まれた放電管（１）内の放電空間（５）の
両端に全反射鏡（６）と部分反射鏡（７）とを固定位置
に配設して、これら全反射鏡（６）および部分反射鏡（
７）により光共振器を構成してあり、また、前記放電管
（１）の両電極（２）（３）間の中央から送気管（８）
を連通状態で設けると共に、放電管（１）の両端側と送
気管（８）の他端間に一対の分岐管（９）（１０）を両
管（１）（８）と連通伏態で配設して、放電管（’Ｉ）
の中央から２方向に分岐する一対の循環通路を構成し、
史に、前記送気管（８）の途中部に送風機（１１）を設
けて、この送風機（１１）の両側方となる送気管（８）
中に、放電空間（５）中での放電および送風機（１１）
の駆動により昇温したレーザガスを冷却する熱交換器（
１２）（１３）を配設してなる、いわゆる軸流型のガス
レーザ発振装置が知られている。
図および第４図に示すように、ガラス等の誘電体よりな
る円筒吠の放電管（１）の外周面管軸方向の両側２箇所
に所定間隔を設けて一対の金属電極（２）（３）を互い
に対向杖に密着して配設すると共に、これら一対の金属
電極（２）（３）を高周波交流電源（４）に接続して、
両電極（２）（３）に例えば１３．５１１ｉＭＨｚ、２
ｋｖの高周波高電圧を印加する一方、両金属電極（２）
（３）間に挟まれた放電管（１）内の放電空間（５）の
両端に全反射鏡（６）と部分反射鏡（７）とを固定位置
に配設して、これら全反射鏡（６）および部分反射鏡（
７）により光共振器を構成してあり、また、前記放電管
（１）の両電極（２）（３）間の中央から送気管（８）
を連通状態で設けると共に、放電管（１）の両端側と送
気管（８）の他端間に一対の分岐管（９）（１０）を両
管（１）（８）と連通伏態で配設して、放電管（’Ｉ）
の中央から２方向に分岐する一対の循環通路を構成し、
史に、前記送気管（８）の途中部に送風機（１１）を設
けて、この送風機（１１）の両側方となる送気管（８）
中に、放電空間（５）中での放電および送風機（１１）
の駆動により昇温したレーザガスを冷却する熱交換器（
１２）（１３）を配設してなる、いわゆる軸流型のガス
レーザ発振装置が知られている。
なお、前記送風機（１１）としては、放電空間（５）に
おいて流速が約１００ｍ／ｓｅｅ程度のガス流を得るこ
とができる程度の送風能力を備えたものを使用する必要
がある。
おいて流速が約１００ｍ／ｓｅｅ程度のガス流を得るこ
とができる程度の送風能力を備えたものを使用する必要
がある。
上記構成の従来装置では、まず、一対の金属電極（２）
（３）に高周波電源（４）から高周波高電圧を印加して
放電空間（５）にグロー状の放電を発生させると、この
放電空間（５）を通過するレーザガスは前記放電エネル
ギーを得て励起されると共に、全反射鏡（６）および部
分反射鏡（７）により形成され、た光共振器の作用によ
り共振状態となり、これによって部分反射鏡（７）から
レーザビーム（Ｂ）が出力され、このレーザビーム（Ｂ
）をレーザ加玉等の用途に供することになる。
（３）に高周波電源（４）から高周波高電圧を印加して
放電空間（５）にグロー状の放電を発生させると、この
放電空間（５）を通過するレーザガスは前記放電エネル
ギーを得て励起されると共に、全反射鏡（６）および部
分反射鏡（７）により形成され、た光共振器の作用によ
り共振状態となり、これによって部分反射鏡（７）から
レーザビーム（Ｂ）が出力され、このレーザビーム（Ｂ
）をレーザ加玉等の用途に供することになる。
ところで、上記従来構造のものでは、放電管（１）の内
壁面は例えばガラスの反射而となっている。
壁面は例えばガラスの反射而となっている。
しかしながら、このように放電管（＋）の内壁面が反射
而となっているものでは、全反射鏡（６）と部分反射鏡
（７）の間に位置ずれが生じている場合、前記放電管（
＋）の内壁面で全反射された定在波が増幅されて、その
一部が部分反射鏡（７）を通じて雑光として放出される
ため、この雑光がレーザビーム（Ｂ）に混入してレーザ
加工に悪影響を及ぼすという問題点があった。
而となっているものでは、全反射鏡（６）と部分反射鏡
（７）の間に位置ずれが生じている場合、前記放電管（
＋）の内壁面で全反射された定在波が増幅されて、その
一部が部分反射鏡（７）を通じて雑光として放出される
ため、この雑光がレーザビーム（Ｂ）に混入してレーザ
加工に悪影響を及ぼすという問題点があった。
本発明は、このような従来の問題点を解決するためにな
されたもので、放電管の内壁面の反射をなくすことによ
り、雑光が混入していない良質なレーザビームを発振で
きるがスレーザ発振装置の提供を［１的とするものであ
る。
されたもので、放電管の内壁面の反射をなくすことによ
り、雑光が混入していない良質なレーザビームを発振で
きるがスレーザ発振装置の提供を［１的とするものであ
る。
一ヒ記目的を達成するために本発明は、誘電体よりなる
放電管内を光軸方向にレーザガスを流し、前記放電管の
外周面に設けられた金属電極間に島内波電圧を印加して
この放電管内に放電を発生させ、この放電をレーザ励起
源として前記放電管の軸方向にレーザビームを発生する
ガスレーザ発振装置において、前記放電管の内壁面にカ
ーボンを蒸着したことを特徴とするものである。
放電管内を光軸方向にレーザガスを流し、前記放電管の
外周面に設けられた金属電極間に島内波電圧を印加して
この放電管内に放電を発生させ、この放電をレーザ励起
源として前記放電管の軸方向にレーザビームを発生する
ガスレーザ発振装置において、前記放電管の内壁面にカ
ーボンを蒸着したことを特徴とするものである。
本発明は上記構成により、全反射鏡と部分反射鏡とが位
置ずれしているような場合であっても、前記放電管の内
壁面は蒸着されたカーボンにより反射率が極めて低（な
っているので、雑光の発生が大幅に抑制され、レーザビ
ームには雑光が殆ど混入せず、したがって、良質なレー
ザビームを得ることができるものである。
置ずれしているような場合であっても、前記放電管の内
壁面は蒸着されたカーボンにより反射率が極めて低（な
っているので、雑光の発生が大幅に抑制され、レーザビ
ームには雑光が殆ど混入せず、したがって、良質なレー
ザビームを得ることができるものである。
以下、本発明の実施例を図面に基づき詳細に説明する。
なお、この実施例装置は、前述した従来例と基本構成が
共通しているので、構成並びに作用が共通する部分は共
通の符号を付すこととし、重複を避けるためにその説明
を省略するものとする。
共通しているので、構成並びに作用が共通する部分は共
通の符号を付すこととし、重複を避けるためにその説明
を省略するものとする。
第１図において、この実施例に係るガスレーザ発振装置
においては、円筒状の放電管（１）の内壁面に数μ（ミ
クロン）程度のカーボン（Ｉ４）が蒸着されている。こ
のカーボン蒸着膜（Ｉ４）により放電管（＋）内壁面の
反射率が極端に低下し、定在波は殆ど反射しないので、
雑光の発生が著しく少なくなる。したがって、部分反射
鏡（７）から放出されるレーザビーム（Ｂ）は雑光が殆
ど混入していない良質なものとなり、例えば切断加工に
おいて、加工面の仕上げ精度を向上させることができる
ものである。
においては、円筒状の放電管（１）の内壁面に数μ（ミ
クロン）程度のカーボン（Ｉ４）が蒸着されている。こ
のカーボン蒸着膜（Ｉ４）により放電管（＋）内壁面の
反射率が極端に低下し、定在波は殆ど反射しないので、
雑光の発生が著しく少なくなる。したがって、部分反射
鏡（７）から放出されるレーザビーム（Ｂ）は雑光が殆
ど混入していない良質なものとなり、例えば切断加工に
おいて、加工面の仕上げ精度を向上させることができる
ものである。
第２図に従来例と本発明との切断加工面の而粗さの相違
を示しており、この結果から明らかなように、本発明装
置では放電管（・Ｉ）の内壁面にカーボン蒸着膜（Ｉ４
）を設けたものでは切断加工面の仕上げ精度が格段に向
上するものである。
を示しており、この結果から明らかなように、本発明装
置では放電管（・Ｉ）の内壁面にカーボン蒸着膜（Ｉ４
）を設けたものでは切断加工面の仕上げ精度が格段に向
上するものである。
以」二説明したように本発明によれば、放電管の内壁面
にカーボンを蒸着して、前記内壁面の反射率を大幅に低
ドさせているので、雑光のない良質なレーザビームを得
ることができ、切断加工等のレーザ加工の仕」こげ精度
を向上できるなどの優れた効果を奏するに至った。
にカーボンを蒸着して、前記内壁面の反射率を大幅に低
ドさせているので、雑光のない良質なレーザビームを得
ることができ、切断加工等のレーザ加工の仕」こげ精度
を向上できるなどの優れた効果を奏するに至った。
第１図は本発明の一実施例を示す放電管の縦断面図、第
２図は従来例と本発明との切断加工面の而粗さの相違を
示す棒線図、第３図は従来例の縦断正面図、第４図は従
来例の放電管の縦断側面図である。 （１）・・・放電管、（２）（３）・・・金属電極、
（＋４）・・・カーボン。 逆へ 仁′デ噛 象３１ ミ（々 −のり ご Ｊ 第３ ２（３〕
２図は従来例と本発明との切断加工面の而粗さの相違を
示す棒線図、第３図は従来例の縦断正面図、第４図は従
来例の放電管の縦断側面図である。 （１）・・・放電管、（２）（３）・・・金属電極、
（＋４）・・・カーボン。 逆へ 仁′デ噛 象３１ ミ（々 −のり ご Ｊ 第３ ２（３〕
Claims (1)
- 誘電体よりなる放電管内を光軸方向にレーザガスを流
し、前記放電管の外周面に設けられた金属電極間に高周
波電圧を印加してこの放電管内に放電を発生させ、この
放電をレーザ励起源として前記放電管の軸方向にレーザ
ビームを発生するガスレーザ発振装置において、前記放
電管の内壁面にカーボンを蒸着したことを特徴とするガ
スレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63191737A JPH0240975A (ja) | 1988-07-30 | 1988-07-30 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63191737A JPH0240975A (ja) | 1988-07-30 | 1988-07-30 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0240975A true JPH0240975A (ja) | 1990-02-09 |
Family
ID=16279661
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63191737A Pending JPH0240975A (ja) | 1988-07-30 | 1988-07-30 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0240975A (ja) |
-
1988
- 1988-07-30 JP JP63191737A patent/JPH0240975A/ja active Pending
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