JPH0240974A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH0240974A JPH0240974A JP63191732A JP19173288A JPH0240974A JP H0240974 A JPH0240974 A JP H0240974A JP 63191732 A JP63191732 A JP 63191732A JP 19173288 A JP19173288 A JP 19173288A JP H0240974 A JPH0240974 A JP H0240974A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- discharge tube
- tube
- oscillation device
- laser
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕゛
本発明は、放電管の軸方向と光軸方向が一致したガスレ
ーザ発振装置に係り、特に、レーザ発振の高効率化を図
ったガスレーザ発振装置に関するものである。
ーザ発振装置に係り、特に、レーザ発振の高効率化を図
ったガスレーザ発振装置に関するものである。
従来、この種のガスレーザ発振装置としては例えば第３
図および第４図に示すように、ガラス等の誘電体よりな
る円筒状の放電管（１）の外周面管軸方向の両側２箇所
に所定間隔を設けて一対の金属電極（２）（３）を仔い
に対向状に密着して配設すると共に、これら一対の金属
電極（２）（３）を高周波交流電源（４）に接続して、
両電極（２）（３）に例えば１３．５６ＭＨｚ 、２ｋ
Ｖの高周波高電圧を印加する一方、両金属電極（２）（
３）間に挟まれた放電管（１）内の放電空間（５）の両
端に全反射鏡（６）と部分反射鏡（７）とを固定位置に
配設して、これら全反射鏡（６）および部分反射鏡（７
）により光共振器を構成してあり、また、前記放電管（
＋）の両電極（２）（３）間の中央から送気管（８）を
連通状態で設けると共に、放電管（１）の両端側と送気
管（８）の他端間に−・対の分岐管（９）（１０）を両
管（＋）（８）と連通状態で配設して、放電管（１）の
中央から２方向に分岐する一対の循環通路を構成し、史
に、前記送気管（８）の途中部に送風機（１１）を設け
て、この送風機（１１）の両側方となる送気管（８）中
に、放電空間（５）中での放電および送風機（１１）の
駆動によりｈ’ ７Ｍしたレーザガスを冷却する熱交換
器（１２）（＋３）を配設してなる、いわゆる軸流型の
がスレーザ発振装置が知られている。
図および第４図に示すように、ガラス等の誘電体よりな
る円筒状の放電管（１）の外周面管軸方向の両側２箇所
に所定間隔を設けて一対の金属電極（２）（３）を仔い
に対向状に密着して配設すると共に、これら一対の金属
電極（２）（３）を高周波交流電源（４）に接続して、
両電極（２）（３）に例えば１３．５６ＭＨｚ 、２ｋ
Ｖの高周波高電圧を印加する一方、両金属電極（２）（
３）間に挟まれた放電管（１）内の放電空間（５）の両
端に全反射鏡（６）と部分反射鏡（７）とを固定位置に
配設して、これら全反射鏡（６）および部分反射鏡（７
）により光共振器を構成してあり、また、前記放電管（
＋）の両電極（２）（３）間の中央から送気管（８）を
連通状態で設けると共に、放電管（１）の両端側と送気
管（８）の他端間に−・対の分岐管（９）（１０）を両
管（＋）（８）と連通状態で配設して、放電管（１）の
中央から２方向に分岐する一対の循環通路を構成し、史
に、前記送気管（８）の途中部に送風機（１１）を設け
て、この送風機（１１）の両側方となる送気管（８）中
に、放電空間（５）中での放電および送風機（１１）の
駆動によりｈ’ ７Ｍしたレーザガスを冷却する熱交換
器（１２）（＋３）を配設してなる、いわゆる軸流型の
がスレーザ発振装置が知られている。
なお、１Ｆｉ記送風機（ＩＩ）としては、放電空間（５
）において流速が約１００ｍ／ｓｅｅ程度のガス流を得
ることができる程度の送風能力を備えたものを使用する
必要がある。
）において流速が約１００ｍ／ｓｅｅ程度のガス流を得
ることができる程度の送風能力を備えたものを使用する
必要がある。
Ｌ記構成の従来装置では、まず、一対の金属電極（２Ｈ
３）に高周波電源（４）から高周波高電圧を印加して放
電空間（５）にグロー状の放電を発生させると、この放
電空間（５）を通過するレーザガスは前記放−ｈエネル
ギーを得て励起されると共に、全反射鏡（６）および）
１り分厚射鏡（７）により形成された光共振器の作用に
より共振状態となり、これによって部分反射鏡（７）か
らレーザビーム（Ｂ）が出力され、このレーザビーム（
Ｂ）をレーザ加１．１の用途に供することになる。
３）に高周波電源（４）から高周波高電圧を印加して放
電空間（５）にグロー状の放電を発生させると、この放
電空間（５）を通過するレーザガスは前記放−ｈエネル
ギーを得て励起されると共に、全反射鏡（６）および）
１り分厚射鏡（７）により形成された光共振器の作用に
より共振状態となり、これによって部分反射鏡（７）か
らレーザビーム（Ｂ）が出力され、このレーザビーム（
Ｂ）をレーザ加１．１の用途に供することになる。
ところで、［−記のように金属電極（２）（３１間に高
周波高電圧を印加してレーザビーム（Ｂ）をｊする場合
、画電極（２）（３）のエツジ（２ａ）（３ａ）に電界
が集中して放電状態が悪化する。特に、誘電体である放
電管（１）の誘電体損失の変化によって放電空間（５）
内に注入＋１Ｊ能な電力が決定されることになる。
周波高電圧を印加してレーザビーム（Ｂ）をｊする場合
、画電極（２）（３）のエツジ（２ａ）（３ａ）に電界
が集中して放電状態が悪化する。特に、誘電体である放
電管（１）の誘電体損失の変化によって放電空間（５）
内に注入＋１Ｊ能な電力が決定されることになる。
このため、放電管（１）の肉厚が薄いと放電空間（５）
の電界分布に不均一が生じて放電集中が起こり、逆に、
放電管（１）の肉厚が厚いと放電管（１）の誘電体損失
により、放電空間（５）内に注入できる電力が減少する
のであるが、従来では、放電集中の防止に力点をおき、
肉厚の大きい放電管（＋）を使用していた。
の電界分布に不均一が生じて放電集中が起こり、逆に、
放電管（１）の肉厚が厚いと放電管（１）の誘電体損失
により、放電空間（５）内に注入できる電力が減少する
のであるが、従来では、放電集中の防止に力点をおき、
肉厚の大きい放電管（＋）を使用していた。
しかしながら、肉厚の大きい放電管（１）を用いた従来
のガスレーザ発振装置の場合、必然的に放電管（＋）の
誘電体損失による７１人電力の損失が大きくなるという
結果を招（ため、効率よくレーザビームを取り出せない
という問題点があった。
のガスレーザ発振装置の場合、必然的に放電管（＋）の
誘電体損失による７１人電力の損失が大きくなるという
結果を招（ため、効率よくレーザビームを取り出せない
という問題点があった。
本発明は、かかる従来の問題点を解決するためになされ
たもので、放電管内の放電空間における放電集中をなく
し、しかも、放電管での注入電力の損失を最少限に抑制
し得るガスレーザ発振装置を提供することを［１的とす
るものである。
たもので、放電管内の放電空間における放電集中をなく
し、しかも、放電管での注入電力の損失を最少限に抑制
し得るガスレーザ発振装置を提供することを［１的とす
るものである。
に記［。１的を達成するために本発明は、誘電体よりな
る放電管内を光軸方向にレーザガスを流し、前記放電管
の外周面に管径方向でｒ７いに対向して設けられた金属
電極間に高周波電圧を印加してこの放電管内に放電を発
生させ、この放電をレーザ励起源として前記放電管の管
軸方向にレーザビームを発生するガスレーザ発振装置に
おいて、前記金属電極のエツジに対応する前記放電管の
内壁部分に管軸方向に沿う凸条を形成したことを特徴と
するものである。
る放電管内を光軸方向にレーザガスを流し、前記放電管
の外周面に管径方向でｒ７いに対向して設けられた金属
電極間に高周波電圧を印加してこの放電管内に放電を発
生させ、この放電をレーザ励起源として前記放電管の管
軸方向にレーザビームを発生するガスレーザ発振装置に
おいて、前記金属電極のエツジに対応する前記放電管の
内壁部分に管軸方向に沿う凸条を形成したことを特徴と
するものである。
本発明は１−記構成により、金属電極のエツジに対応す
る放電管の内壁部分の肉厚のみが凸条によって１“ノ（
なっているので電界集中が回避され、しかも、放電管の
その他の部分の管壁は電力の注入を妨げない程度の厚さ
にすることができるので、レーザビームを高効率で取り
出すことがＩＩＪ能になる。
る放電管の内壁部分の肉厚のみが凸条によって１“ノ（
なっているので電界集中が回避され、しかも、放電管の
その他の部分の管壁は電力の注入を妨げない程度の厚さ
にすることができるので、レーザビームを高効率で取り
出すことがＩＩＪ能になる。
以下、本発明の実施例を図面に基づき詳細に説明する。
なお、この実施例装置は、前述した従来例と基本構成が
共通しているので、構成７１Ｆ２びに作用がノ（通ずる
部分は共通の符壮を付すこととし、重複を避けるために
その説明を省略するものとする。
共通しているので、構成７１Ｆ２びに作用がノ（通ずる
部分は共通の符壮を付すこととし、重複を避けるために
その説明を省略するものとする。
第１図において、この実施例に係るガスレーザ発振装置
においては、円筒状の放電管（１）の内径を２０１１Ｉ
Ｉ＋に対して肉厚を３１としており、この放電管（１）
の外周面の管軸方向に形成された一対の金属電極（２）
（３）のエツジ（２ａ）（３ａ）に対応する放電管（＋
）の内壁部分には、それぞれ管軸方向に沿う４木の゛目
１１柱状の凸条（１４）を形成しである。
においては、円筒状の放電管（１）の内径を２０１１Ｉ
Ｉ＋に対して肉厚を３１としており、この放電管（１）
の外周面の管軸方向に形成された一対の金属電極（２）
（３）のエツジ（２ａ）（３ａ）に対応する放電管（＋
）の内壁部分には、それぞれ管軸方向に沿う４木の゛目
１１柱状の凸条（１４）を形成しである。
第２図にレーザ出力効ネ（と放電管（１）の内壁に設け
る凸条（１４）の有無との関係を測定した結果を示して
おり、この結果から明らかなように、放電管（１）の内
壁に凸条（１４）を設けたものは、内壁全周にｔイって
均一な肉厚としたものと比較してレー炉出力効率が格段
に向にするものである。
る凸条（１４）の有無との関係を測定した結果を示して
おり、この結果から明らかなように、放電管（１）の内
壁に凸条（１４）を設けたものは、内壁全周にｔイって
均一な肉厚としたものと比較してレー炉出力効率が格段
に向にするものである。
以」二説明したように本発明によれば、放電管の外周面
に設けられた金属電極のエツジに対応する放電管の内壁
部分に管軸方向に沿う凸条を形成して、前記放電管内の
電界分布を均一・化しているので、金属電極のエツジ形
成部位における電界集中が回避され、しかも、放電管の
その他の部分の管壁は電力の注入を妨げない程度の厚さ
にすることができるので、レーザビーｔ、を高効率で取
り出すことができる。したがって、電力消費を節減でき
て経済性に富み、晶いレーザ加工性能を実現できるなど
の優れた効果を奏するに至った。
に設けられた金属電極のエツジに対応する放電管の内壁
部分に管軸方向に沿う凸条を形成して、前記放電管内の
電界分布を均一・化しているので、金属電極のエツジ形
成部位における電界集中が回避され、しかも、放電管の
その他の部分の管壁は電力の注入を妨げない程度の厚さ
にすることができるので、レーザビーｔ、を高効率で取
り出すことができる。したがって、電力消費を節減でき
て経済性に富み、晶いレーザ加工性能を実現できるなど
の優れた効果を奏するに至った。
第１図は本発明の一実施例を、１（す放電管の型部斜視
図、第２図はレーザ山内効率と放電管の内壁に設ける凸
条の有無との関係を示す棒線図、第３図は従来例の縦断
市面図、第４図は従来例の放電管の縦断側面図である。 （１）・・・放電管、（２）（３）・・・金属電極、（
２ａ）（３ａ）・・・金属電極のエツジ、 （１４）・・・凸条。 第１ 図 第３ 第４ 放電管内壁凸条の自無
図、第２図はレーザ山内効率と放電管の内壁に設ける凸
条の有無との関係を示す棒線図、第３図は従来例の縦断
市面図、第４図は従来例の放電管の縦断側面図である。 （１）・・・放電管、（２）（３）・・・金属電極、（
２ａ）（３ａ）・・・金属電極のエツジ、 （１４）・・・凸条。 第１ 図 第３ 第４ 放電管内壁凸条の自無
Claims (1)
- 誘電体よりなる放電管内を光軸方向にレーザガスを流
し、前記放電管の外周面に管径方向で互いに対向して設
けられた金属電極間に高周波電圧を印加してこの放電管
内に放電を発生させ、この放電をレーザ励起源として前
記放電管の管軸方向にレーザビームを発生するガスレー
ザ発振装置において、前記金属電極のエッジに対応する
前記放電管の内壁部分に管軸方向に沿う凸条を形成した
ことを特徴とするガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63191732A JPH0240974A (ja) | 1988-07-30 | 1988-07-30 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63191732A JPH0240974A (ja) | 1988-07-30 | 1988-07-30 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0240974A true JPH0240974A (ja) | 1990-02-09 |
Family
ID=16279571
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63191732A Pending JPH0240974A (ja) | 1988-07-30 | 1988-07-30 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0240974A (ja) |
-
1988
- 1988-07-30 JP JP63191732A patent/JPH0240974A/ja active Pending
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