JPH0240979A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH0240979A JPH0240979A JP63191738A JP19173888A JPH0240979A JP H0240979 A JPH0240979 A JP H0240979A JP 63191738 A JP63191738 A JP 63191738A JP 19173888 A JP19173888 A JP 19173888A JP H0240979 A JPH0240979 A JP H0240979A
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- JP
- Japan
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- discharge tube
- discharge
- metal electrodes
- coil
- tube
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
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- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、放電管の軸力向と光軸方向が−・致したガス
レーザ発振装置に係り、特に、レーザ発振の高効率化を
図ったガスレーザ発振装置に関するものである。
レーザ発振装置に係り、特に、レーザ発振の高効率化を
図ったガスレーザ発振装置に関するものである。
従来、この種のガスレーザ発振装置としては例えば第２
図および第３図に示すように、ガラス等の誘電体よりな
る円筒杖の放電管（１）の外周面管軸方向の両側２箇所
に所定間隔を設けて一対の金属電極（２）（３）を互い
に対向状に密着して配設すると共に、これら一対の金属
電極（２）（３）を高周波交流電源（４）に接続して、
両電極（２）（３）に例えば１３．５６Ｍｌ１ｚ、２ｋ
Ｖの高周波高電圧を印加する一方、両金属電極（２）（
３）間に挟まれた放電管ｍ内の放電空間（５ンの両端に
全反射鏡（６）と部分反射鏡（７）とを固定位置に配設
して、これら全反射鏡（６）および部分反射鏡（７）に
より光共振器を構成してあり、また、前記放電管（１）
の両電極（２）（３）間の中央から送気管（８）を連通
状態で設けると共に、放電管（１）の両端側と送気管（
８）の他端間に一対の分岐管（９）（ｔｏ）を両管（１
）（８）と連通状態で配設して、放電管（１）の中央か
ら２方向に分岐する一対の循環通路を構成し、史に、前
記送気管（８）の途中部に送風機（１１）を設けて、こ
の送風機（ｌｌ）の両側方となる送気管（８）中に、放
電空間（５）中での放電および送風機（１１）の駆動に
より昇温したレーザガスを冷却する熱交換器（１２）（
１３）を配設してなる、いわゆる軸流型のガスレーザ発
振装置が知られている。
図および第３図に示すように、ガラス等の誘電体よりな
る円筒杖の放電管（１）の外周面管軸方向の両側２箇所
に所定間隔を設けて一対の金属電極（２）（３）を互い
に対向状に密着して配設すると共に、これら一対の金属
電極（２）（３）を高周波交流電源（４）に接続して、
両電極（２）（３）に例えば１３．５６Ｍｌ１ｚ、２ｋ
Ｖの高周波高電圧を印加する一方、両金属電極（２）（
３）間に挟まれた放電管ｍ内の放電空間（５ンの両端に
全反射鏡（６）と部分反射鏡（７）とを固定位置に配設
して、これら全反射鏡（６）および部分反射鏡（７）に
より光共振器を構成してあり、また、前記放電管（１）
の両電極（２）（３）間の中央から送気管（８）を連通
状態で設けると共に、放電管（１）の両端側と送気管（
８）の他端間に一対の分岐管（９）（ｔｏ）を両管（１
）（８）と連通状態で配設して、放電管（１）の中央か
ら２方向に分岐する一対の循環通路を構成し、史に、前
記送気管（８）の途中部に送風機（１１）を設けて、こ
の送風機（ｌｌ）の両側方となる送気管（８）中に、放
電空間（５）中での放電および送風機（１１）の駆動に
より昇温したレーザガスを冷却する熱交換器（１２）（
１３）を配設してなる、いわゆる軸流型のガスレーザ発
振装置が知られている。
なお、前記送風機（Ｈとしては、放電空間（５）におい
て流速が約１００ｍ／ｓｅｅ程度のガス流を得ることが
できる程度の送風能力を備えたものを使用する７認があ
る。
て流速が約１００ｍ／ｓｅｅ程度のガス流を得ることが
できる程度の送風能力を備えたものを使用する７認があ
る。
」−記構成の従来装置では、まず、一対の金属電極（２
）（３）に島内被電１（４）から高周波高電圧を印加し
て放電空間（５）にグロー状の放電を発生させると、こ
の放電空間（５）を通過するレーザガスは前記放電エネ
ルギーを得て励起されると共に、全反射鏡（６）および
部分反射鏡（７）により形成された光共振器の作用によ
り共振状態となり、これによって部分反射鏡（７）から
レーザビーム（Ｂ）が出力され、このレーザビーム（Ｂ
）をレーザ加工等の用途に供することになる。
）（３）に島内被電１（４）から高周波高電圧を印加し
て放電空間（５）にグロー状の放電を発生させると、こ
の放電空間（５）を通過するレーザガスは前記放電エネ
ルギーを得て励起されると共に、全反射鏡（６）および
部分反射鏡（７）により形成された光共振器の作用によ
り共振状態となり、これによって部分反射鏡（７）から
レーザビーム（Ｂ）が出力され、このレーザビーム（Ｂ
）をレーザ加工等の用途に供することになる。
ところで１．１−記のように金属電極（２）（３）間に
高周波高電圧を印加してレーザビーム（Ｂ）を得る場合
、両金属電極（２）（３）間のインピーダンスによって
放電管内の放電状態が支配されることになり、このイン
ピーダンスを一定化するため、従来では例えば金属電極
（２）（３）を放電管（＋）の外周面上に接着剤（１４
）等を用いて固着し、また、高周波電源（４）と金属電
極（２）（３）間のインピーダンス整合をとるために両
者間に共振回路（Ｉ５）を介装するようにしていた。
高周波高電圧を印加してレーザビーム（Ｂ）を得る場合
、両金属電極（２）（３）間のインピーダンスによって
放電管内の放電状態が支配されることになり、このイン
ピーダンスを一定化するため、従来では例えば金属電極
（２）（３）を放電管（＋）の外周面上に接着剤（１４
）等を用いて固着し、また、高周波電源（４）と金属電
極（２）（３）間のインピーダンス整合をとるために両
者間に共振回路（Ｉ５）を介装するようにしていた。
しかしながら、上記従来構造のガスレーザ発振装置によ
ると放電管（１）の発熱等によって接着剤（１４）が劣
化するため、金属電極（２）（３）間のインピーダンス
が変化する上、共振回路（１５）と金属電極（２）（３
）間の接続配線から浮遊容量が発生して整合条件にばら
つきが生じることになるため、放電が不安定となり、レ
ーザビームを効率よ（取出すことができないという問題
点があった。
ると放電管（１）の発熱等によって接着剤（１４）が劣
化するため、金属電極（２）（３）間のインピーダンス
が変化する上、共振回路（１５）と金属電極（２）（３
）間の接続配線から浮遊容量が発生して整合条件にばら
つきが生じることになるため、放電が不安定となり、レ
ーザビームを効率よ（取出すことができないという問題
点があった。
本発明は、１−記のような従来の問題点を解決するため
になされたもので、放電管内の放電空間における放電の
安定性を確保して、装置の信頼性の向−ヒを図ることを
目的とするものである。
になされたもので、放電管内の放電空間における放電の
安定性を確保して、装置の信頼性の向−ヒを図ることを
目的とするものである。
」１記に１的を達成するために本発明は、誘電体よりな
る放電管内を光軸方向にレーザガスを流し、前記放電管
の外周面に管径方向で互いに対向して設けられた金属電
極間に高周波電圧を印加してこの放電管内に放電を発生
させ、この放電をレーザ励起源として前記放電管の管軸
方向にレーザビートを発生するガスレーザ発振装置にお
いて、前記金属電極を前記放電管との間に挟み込む２枚
一組の半円筒状絶縁物を配設し、この半円筒状絶縁物の
外周にコイルを巻付けてこのコイルにより前記）１′円
筒状絶縁物を放電管の外周面Ｅに固定すると共に、前記
コイルをインピーダンス整合をとるための共振回路素子
として前記金属電極間に接続してなることを特徴とする
ものである。
る放電管内を光軸方向にレーザガスを流し、前記放電管
の外周面に管径方向で互いに対向して設けられた金属電
極間に高周波電圧を印加してこの放電管内に放電を発生
させ、この放電をレーザ励起源として前記放電管の管軸
方向にレーザビートを発生するガスレーザ発振装置にお
いて、前記金属電極を前記放電管との間に挟み込む２枚
一組の半円筒状絶縁物を配設し、この半円筒状絶縁物の
外周にコイルを巻付けてこのコイルにより前記）１′円
筒状絶縁物を放電管の外周面Ｅに固定すると共に、前記
コイルをインピーダンス整合をとるための共振回路素子
として前記金属電極間に接続してなることを特徴とする
ものである。
本発明は！−記構成により、金属電極間のインピーダン
ス整合をとるための共振回路素子をコイルにより構成し
、このコイルで半円筒状絶縁物の固定丁９段を兼用させ
ているので、構造が簡略化され、しかも、共振回路素子
を別に設けなくてもよく、これにより共振回路と金属電
極間の接続配線は僅かの長さで済むことになる。したが
って、接続配線による浮遊容量の発生を極力抑制できる
ので、金属電極間のインピーダンスを安定化でき、また
、金属電極と高周波電源間のインピーダンス整合のばら
つきが抑制されるので、放電の安定性を確保することが
できる。
ス整合をとるための共振回路素子をコイルにより構成し
、このコイルで半円筒状絶縁物の固定丁９段を兼用させ
ているので、構造が簡略化され、しかも、共振回路素子
を別に設けなくてもよく、これにより共振回路と金属電
極間の接続配線は僅かの長さで済むことになる。したが
って、接続配線による浮遊容量の発生を極力抑制できる
ので、金属電極間のインピーダンスを安定化でき、また
、金属電極と高周波電源間のインピーダンス整合のばら
つきが抑制されるので、放電の安定性を確保することが
できる。
更に、金属電極はコイルによって絶縁物を介して放電管
の外周に常時圧着状態に保持されているので、放電管の
発熱による剥離を防止することができる。
の外周に常時圧着状態に保持されているので、放電管の
発熱による剥離を防止することができる。
以ド、本発明の実施例を図面に基づき詳細に説明する。
なお、この実施例装置は、前述した従来例と基本構成が
共通しているので、構成並びに作用が共通する部分は共
通の符号を付すこととし、小腹を避けるためにその説明
を省略するものとする。
共通しているので、構成並びに作用が共通する部分は共
通の符号を付すこととし、小腹を避けるためにその説明
を省略するものとする。
第１図において、この実施例に係るガスレーザ発振装置
においては、放電管（１）の外周に、この放電管（１）
との間で金属電極（２）（３）を挟み込む２枚−・紐の
半円筒状絶縁物（］Ｂ）を配設してあり、更に、この絶
縁物（１６）の外周にコイル（１７）を巻付けて、この
コイル（Ｉ７）により同絶縁物（１Ｂ）を放電管（１）
の外周面上に固定した構造としている。
においては、放電管（１）の外周に、この放電管（１）
との間で金属電極（２）（３）を挟み込む２枚−・紐の
半円筒状絶縁物（］Ｂ）を配設してあり、更に、この絶
縁物（１６）の外周にコイル（１７）を巻付けて、この
コイル（Ｉ７）により同絶縁物（１Ｂ）を放電管（１）
の外周面上に固定した構造としている。
また、前記コイル（１７）は金属電極（２）（３）と高
岡７ｔ［源（４）間のインピーダンス整合をとるための
共振回路素子として作用するものであり、前記高周波電
源（４）の両端に短い配線を介して接続されている。こ
のようにコイル（１７）で」（振回路素子を兼用させる
ことで、共振回路と高周波電源（４）間等の配線を大幅
に削減でき、また、金属電極（２）（３）はコイル（１
７）によって絶縁物（１Ｂ）を介して放電管（１）の外
ｊ１１に常時圧着状態に保持されているので、放電管（
＋）の発熱による剥離を防１１することができる。
岡７ｔ［源（４）間のインピーダンス整合をとるための
共振回路素子として作用するものであり、前記高周波電
源（４）の両端に短い配線を介して接続されている。こ
のようにコイル（１７）で」（振回路素子を兼用させる
ことで、共振回路と高周波電源（４）間等の配線を大幅
に削減でき、また、金属電極（２）（３）はコイル（１
７）によって絶縁物（１Ｂ）を介して放電管（１）の外
ｊ１１に常時圧着状態に保持されているので、放電管（
＋）の発熱による剥離を防１１することができる。
以上説明したように本発明によれば、金属電極を前記放
電管との間に挟み込む２枚一組の半円ｔ５状絶縁物を配
設し、この半円筒状絶縁物を外周に巻付けたコイルによ
り放電管の外周面上に固定すると共に、前記コイルをイ
ンピーダンス整合をとるための共振回路素子として前記
金属電極間に接続してなるものとしたので、金属電極間
のインピーダンス整合をとるための共振回路素子をコイ
ルにより構成し、このコイルで半円筒状絶縁物の固定手
段を兼用させて金属電極と共振回路とを一体化している
ので、共振回路素子を別に設けなくてもよ（、構造を簡
略化することができる。
電管との間に挟み込む２枚一組の半円ｔ５状絶縁物を配
設し、この半円筒状絶縁物を外周に巻付けたコイルによ
り放電管の外周面上に固定すると共に、前記コイルをイ
ンピーダンス整合をとるための共振回路素子として前記
金属電極間に接続してなるものとしたので、金属電極間
のインピーダンス整合をとるための共振回路素子をコイ
ルにより構成し、このコイルで半円筒状絶縁物の固定手
段を兼用させて金属電極と共振回路とを一体化している
ので、共振回路素子を別に設けなくてもよ（、構造を簡
略化することができる。
また、これにより共振回路と金属電極間の接続配線は僅
かの長さで済むことになるため、接続配線による浮遊容
はの発生を極力抑制できる。したがって、金属電極間の
インピーダンスを安定化でき、また、金属電極と高周波
電源間のインピーダンス整合のばらつきが抑制されるの
で、放電の安定性を確保することができる。
かの長さで済むことになるため、接続配線による浮遊容
はの発生を極力抑制できる。したがって、金属電極間の
インピーダンスを安定化でき、また、金属電極と高周波
電源間のインピーダンス整合のばらつきが抑制されるの
で、放電の安定性を確保することができる。
史に、金属電極はフィルによって絶縁物を介して放電管
の外周に常時圧着状態に保持されているので、放電管の
発熱による剥離を防止することができる。
の外周に常時圧着状態に保持されているので、放電管の
発熱による剥離を防止することができる。
このように本発明によれば、比較的簡単に構成し得るも
のでありながら、信頼性か高く、優れたレーザ加に性能
を発揮するガスレーザ発振装置を提供できるに至った。
のでありながら、信頼性か高く、優れたレーザ加に性能
を発揮するガスレーザ発振装置を提供できるに至った。
第１図は本発明の一実施例を示す放電管の斜視図、第２
図は従来例の縦断正面図、第３図は従来例の放電管の縦
断側面図である。 （１）・・・放電管、（２）（３）・・・金属電極、（
ｌ［ｉ）・・・半円筒状絶縁物、（１７）・・・コイル
。 確 第１図 １ｆ：コイル
図は従来例の縦断正面図、第３図は従来例の放電管の縦
断側面図である。 （１）・・・放電管、（２）（３）・・・金属電極、（
ｌ［ｉ）・・・半円筒状絶縁物、（１７）・・・コイル
。 確 第１図 １ｆ：コイル
Claims (1)
- 誘電体よりなる放電管内を光軸方向にレーザガスを流
し、前記放電管の外周面に管径方向で互いに対向して設
けられた金属電極間に高周波電圧を印加してこの放電管
内に放電を発生させ、この放電をレーザ励起源として前
記放電管の管軸方向にレーザビームを発生するガスレー
ザ発振装置において、前記金属電極を前記放電管との間
に挟み込む２枚一組の半円筒状絶縁物を配設し、この半
円筒状絶縁物の外周にコイルを巻付けてこのコイルによ
り前記半円筒状絶縁物を放電管の外周面上に固定すると
共に、前記コイルをインピーダンス整合をとるための共
振回路素子として前記金属電極間に接続してなるガスレ
ーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63191738A JPH0240979A (ja) | 1988-07-30 | 1988-07-30 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63191738A JPH0240979A (ja) | 1988-07-30 | 1988-07-30 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0240979A true JPH0240979A (ja) | 1990-02-09 |
Family
ID=16279678
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63191738A Pending JPH0240979A (ja) | 1988-07-30 | 1988-07-30 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0240979A (ja) |
-
1988
- 1988-07-30 JP JP63191738A patent/JPH0240979A/ja active Pending
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