JPH0240982A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
- Publication number
- JPH0240982A JPH0240982A JP63191734A JP19173488A JPH0240982A JP H0240982 A JPH0240982 A JP H0240982A JP 63191734 A JP63191734 A JP 63191734A JP 19173488 A JP19173488 A JP 19173488A JP H0240982 A JPH0240982 A JP H0240982A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- discharge tube
- electrodes
- tube
- metal electrodes
- Prior art date
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
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- Details Of Connecting Devices For Male And Female Coupling (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、放電管の軸方向と光軸方向が一致したガスレ
ーザ発振装置に係り、特に、レーザ発振の高効率化を図
ったガスレーザ発振装置に関するものである。
ーザ発振装置に係り、特に、レーザ発振の高効率化を図
ったガスレーザ発振装置に関するものである。
従来、この種のガスレーザ発振装置としては例えば第３
図および第４図に示すように、ガラス等の誘電体よりな
る円筒状の放電管（１）の外周面で管軸方向の両側２箇
所にそれぞれ一対の金属電極（２）（３）を互いに対向
状に密着して配設すると共に、これら一対の金属電極（
２）（３）を高周波交流電源（４）に接続して、画電極
（２）（３）に例えば１３．５６ＭＩＩｚ、 ２ｋＶの
高周波高電圧を印加する一方、両金属電極（２）（３）
間に挾まれた放電管（１）内の放電空間（５）の両端に
全反射鏡（６）と部分反射鏡（７）とを固定位置に配設
して、これら全反射鏡（６）および部分反射ｖｌ（７）
により光共振器を構成してあり、また、前記放電管（１
）の画電極（２）（３）間の中央から送気管（８）を連
通状態で設けると共に、放電管（１）の両端側と送気管
（８）の他端間に一対の分岐管（９）（１０）を両管（
１）（８）と連通状態で配設して、放電管（１）の中央
から２方向に分岐する一対の循環通路を構成し、更に、
前記送気管（８）の途中部に送風機（１１）を設けて、
この送風機（１１）の両側方となる送気管（８）中に、
放電空間（５）中での放電および送風機（１１）の駆動
により昇温したレーザガスを冷却する熱交換Ｉａ０２）
０３）を配設してなる、いわゆる軸流型ガスレーザ発振
装置が知られている。
図および第４図に示すように、ガラス等の誘電体よりな
る円筒状の放電管（１）の外周面で管軸方向の両側２箇
所にそれぞれ一対の金属電極（２）（３）を互いに対向
状に密着して配設すると共に、これら一対の金属電極（
２）（３）を高周波交流電源（４）に接続して、画電極
（２）（３）に例えば１３．５６ＭＩＩｚ、 ２ｋＶの
高周波高電圧を印加する一方、両金属電極（２）（３）
間に挾まれた放電管（１）内の放電空間（５）の両端に
全反射鏡（６）と部分反射鏡（７）とを固定位置に配設
して、これら全反射鏡（６）および部分反射ｖｌ（７）
により光共振器を構成してあり、また、前記放電管（１
）の画電極（２）（３）間の中央から送気管（８）を連
通状態で設けると共に、放電管（１）の両端側と送気管
（８）の他端間に一対の分岐管（９）（１０）を両管（
１）（８）と連通状態で配設して、放電管（１）の中央
から２方向に分岐する一対の循環通路を構成し、更に、
前記送気管（８）の途中部に送風機（１１）を設けて、
この送風機（１１）の両側方となる送気管（８）中に、
放電空間（５）中での放電および送風機（１１）の駆動
により昇温したレーザガスを冷却する熱交換Ｉａ０２）
０３）を配設してなる、いわゆる軸流型ガスレーザ発振
装置が知られている。
なお、前記送風機（１１）としては、放電空間（５）に
おいて流速が約Ｌｏｏｍ／ｓｅｃ程度のガス流を得るこ
とができる程度の送風能力を備えたものを使用する必要
がある。
おいて流速が約Ｌｏｏｍ／ｓｅｃ程度のガス流を得るこ
とができる程度の送風能力を備えたものを使用する必要
がある。
上記構成の従来装置では、まず、一対の金属電極（２）
（３）に高周波型ａ（４）から高周波高電圧を印加して
放電空間（５）にグロー状の放電を発生させると、この
放電空間（５）を通過するレーザガスは前記放電エネル
ギーを得て励起されると共に、全反射鏡（６）および部
分反射ｖｔ（７） ｃこより形成された光共振器の作用
により共振状態となり、これによって部分反射ｖｌ（７
）からレーザビーム（Ｂ）が出力され、このレーザビー
ム（Ｂ）をレーザ加工等の用途に供することになる。
（３）に高周波型ａ（４）から高周波高電圧を印加して
放電空間（５）にグロー状の放電を発生させると、この
放電空間（５）を通過するレーザガスは前記放電エネル
ギーを得て励起されると共に、全反射鏡（６）および部
分反射ｖｔ（７） ｃこより形成された光共振器の作用
により共振状態となり、これによって部分反射ｖｌ（７
）からレーザビーム（Ｂ）が出力され、このレーザビー
ム（Ｂ）をレーザ加工等の用途に供することになる。
ところで、レーザビーム（Ｂ）を得るために前記金属電
極（２）（３）間に高周波高電圧を印加すると、両金属
電極（２） （３）間に接続された配線０４）等から電
磁波が発生して、前記放電空間（５）における放電状態
に悪影舌を与えるため、従来では、第３図の破線で示す
ようなシールド部材０５）により、前記金属電極（２）
（３）間の配線θ滲を電磁シールドして、放電空間（５
）における放電を確保するようにしていた。
極（２）（３）間に高周波高電圧を印加すると、両金属
電極（２） （３）間に接続された配線０４）等から電
磁波が発生して、前記放電空間（５）における放電状態
に悪影舌を与えるため、従来では、第３図の破線で示す
ようなシールド部材０５）により、前記金属電極（２）
（３）間の配線θ滲を電磁シールドして、放電空間（５
）における放電を確保するようにしていた。
しかしながら、上記のような従来構造の場合、金属電極
（２）（３）間の配線側と、これを囲うシールド部材０
５）間に浮遊容量が発生して整合条件にばらつきが生じ
ることになるため、量産工程において、各発振装置ごと
に一台ずつ整合条件を調整しなければならないという問
題点があった。
（２）（３）間の配線側と、これを囲うシールド部材０
５）間に浮遊容量が発生して整合条件にばらつきが生じ
ることになるため、量産工程において、各発振装置ごと
に一台ずつ整合条件を調整しなければならないという問
題点があった。
本発明は、かかる従来の問題点を解決するためになされ
たもので、放電管内の放電空間における放電の安定性を
確保して、装置の信頼性の向上を図ることを目的とする
ものである。
たもので、放電管内の放電空間における放電の安定性を
確保して、装置の信頼性の向上を図ることを目的とする
ものである。
〔課題を解決するための手段）
上記目的を達成するために本発明は、誘電体よりなる放
電管内を光軸方向にレーザガスを流し、前記放電管の外
周面に管径方向で互いに対向して設けられた金属電極間
に高周波電圧を印加してこの放電管内に放電を発生させ
、この放電をレーザ励起源として前記放電管の管軸方向
にレーザビームを発生するガスレーザ発振装置において
、前記金属電極のいずれか一方をアース接地もしくは筐
体接地してなることを特徴とするものである。
電管内を光軸方向にレーザガスを流し、前記放電管の外
周面に管径方向で互いに対向して設けられた金属電極間
に高周波電圧を印加してこの放電管内に放電を発生させ
、この放電をレーザ励起源として前記放電管の管軸方向
にレーザビームを発生するガスレーザ発振装置において
、前記金属電極のいずれか一方をアース接地もしくは筐
体接地してなることを特徴とするものである。
本発明は上記構成により、金属電極に与えられる高周波
高電圧の電圧変動は、いずれか一方の金属電極を接地し
ていることで電圧基準点が定まるので、放電管内におけ
る放電動作が安定し、装置の動作信頼性が大幅に向上す
るものである。
高電圧の電圧変動は、いずれか一方の金属電極を接地し
ていることで電圧基準点が定まるので、放電管内におけ
る放電動作が安定し、装置の動作信頼性が大幅に向上す
るものである。
また、従来のような金属電極間の配線を磁気シールドす
るシールド部材が不要となる上、配線とシールド部材間
の整合調整を行う必要もなくなるものである。
るシールド部材が不要となる上、配線とシールド部材間
の整合調整を行う必要もなくなるものである。
以下、本発明の実施例を図面に基づき詳細に説明する。
なお、この実施例装置は、前述した従来例と基本構成が
共通しているので、構成並びに作用が共通する部分は共
通の符号を付すこととし、重複を避けるためにその説明
を省略するものとする。
共通しているので、構成並びに作用が共通する部分は共
通の符号を付すこととし、重複を避けるためにその説明
を省略するものとする。
第１図において、この実施例に係るガスレーザ発振装置
においては、放電管（１）の内径を２０ｍｍに、また、
肉厚を３ｍｍに設定されており、また、この放電管（１
）の外周面に設けられる金属電極（２）（３）の内、一
方のみをアース接地している。０ωはその接地用配線で
ある。
においては、放電管（１）の内径を２０ｍｍに、また、
肉厚を３ｍｍに設定されており、また、この放電管（１
）の外周面に設けられる金属電極（２）（３）の内、一
方のみをアース接地している。０ωはその接地用配線で
ある。
このように一方の金属電極（２）または（３）をアース
接地することで、高周波電源（４）より該金属電極（２
）または（３）に与えられる高周波電圧は電圧基準点が
定まって放電管（１）の放電空間（５）における放電動
作が安定するものである。
接地することで、高周波電源（４）より該金属電極（２
）または（３）に与えられる高周波電圧は電圧基準点が
定まって放電管（１）の放電空間（５）における放電動
作が安定するものである。
第２図に従来例と本発明との放電管（１）内における放
電動作のばらつき度の具体的な相違を示しており、この
図に示す結果から明らかなように、本発明構成が従来例
と比較して、放電動作のばらつきを大幅に低減できるこ
とが判明した。
電動作のばらつき度の具体的な相違を示しており、この
図に示す結果から明らかなように、本発明構成が従来例
と比較して、放電動作のばらつきを大幅に低減できるこ
とが判明した。
なお、本発明では一方の金属電極（２）または（３）の
接地手法として、アース接地に代えて筐体接地を採用し
てもよい。
接地手法として、アース接地に代えて筐体接地を採用し
てもよい。
［発明の効果］
以上説明したように本発明によれば、放電管に設けた金
属電極のいずれか一方をアース接地または筐体接地する
という簡単な構成により、金属電極に与えられる高周波
高電圧の電圧変動を低減して、放電管内の放電動作が安
定するので、放電動作信頼性が大幅に向上し、しかも、
従来のような金属電極間の配線を電磁シールドするシー
ルド部材が不要となる上、配線とシールド部材間の整合
調整を行う必要もなくなるので１．量産時における作業
工数並びに部品点数を削減できるなど、レーザ発振の高
効率化並びに製造コストの低減化に大きく寄与するもの
となった。
属電極のいずれか一方をアース接地または筐体接地する
という簡単な構成により、金属電極に与えられる高周波
高電圧の電圧変動を低減して、放電管内の放電動作が安
定するので、放電動作信頼性が大幅に向上し、しかも、
従来のような金属電極間の配線を電磁シールドするシー
ルド部材が不要となる上、配線とシールド部材間の整合
調整を行う必要もなくなるので１．量産時における作業
工数並びに部品点数を削減できるなど、レーザ発振の高
効率化並びに製造コストの低減化に大きく寄与するもの
となった。
第１図は本発明の一実施例を示す放電管の縦断側面図、
第２図は従来例と本発明実施例との放電動作のばらつき
度の関係を示す線図、第３図は従来例の縦断正面図、第
４図は従来例の放電管の縦断側面図である。 （１）・・・放電管、 （２）（３）・・・金属電極、 ０６）・・・接地用配線。 第７ 図 第３ 第２図 第４
第２図は従来例と本発明実施例との放電動作のばらつき
度の関係を示す線図、第３図は従来例の縦断正面図、第
４図は従来例の放電管の縦断側面図である。 （１）・・・放電管、 （２）（３）・・・金属電極、 ０６）・・・接地用配線。 第７ 図 第３ 第２図 第４
Claims (1)
- 誘電体よりなる放電管内を光軸方向にレーザガスを流
し、前記放電管の外周面に管径方向で互いに対向して設
けられた金属電極間に高周波電圧を印加してこの放電管
内に放電を発生させ、この放電をレーザ励起源として前
記放電管の管軸方向にレーザビームを発生するガスレー
ザ発振装置において、前記金属電極のいずれか一方をア
ース接地もしくは筐体接地してなることを特徴とするガ
スレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63191734A JPH0240982A (ja) | 1988-07-30 | 1988-07-30 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63191734A JPH0240982A (ja) | 1988-07-30 | 1988-07-30 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0240982A true JPH0240982A (ja) | 1990-02-09 |
Family
ID=16279607
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63191734A Pending JPH0240982A (ja) | 1988-07-30 | 1988-07-30 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0240982A (ja) |
-
1988
- 1988-07-30 JP JP63191734A patent/JPH0240982A/ja active Pending
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