JPH0241885Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は蓋の開閉装置に係り、特に洗浄脱水槽
の槽本体にヒンヂ結合された蓋を槽本体の両側に
開けるようにした蓋の開閉装置に関する。

〔従来の技術〕

一般に半導体ウエハ等の被処理物をエツチング
処理するためには、半導体ウエハをキヤリア内に
収容したまま薬液槽内に浸漬し、次いで純水でス
プレー洗浄したのち、遠心高速回転によつて脱水
乾燥させる。この種の洗浄脱水槽は高速回転可能
な回転胴を槽本体内に備え、槽本体の開口部には
ヒンヂ軸まわりを回動できる片開きの蓋が取付け
られている。また、洗浄脱水槽は通常薬液処理槽
の隣に並んで配置され、槽本体内への被処理物の
搬入および搬出はマテハンロボツトを使つて自動
的に行われる。このマテハンロボツトは、洗浄脱
水槽の一方の側に設置されていて、マテハンロボ
ツトの腕が洗浄脱水槽の槽本体内に伸びて必要な
作業を自動的に行うようになつている。そして、
作業者は通常マテハンロボツトと反対側に立つて
必要な作業を執行なうようになつている。

〔考案が解決しようとする問題点〕

ところで、この種の洗浄脱水槽は、マテハンロ
ボツトの操作アームが動く側に開くように蓋がヒ
ンヂ結合されているために、蓋を開けた状態で、
回転胴内の洗浄脱水室を時々洗浄するときに、片
開き状態の蓋が作業者の前に立ちふさがつて視界
を遮り、作業がしにくいという問題があつた。

そこで、本考案の目的は、洗浄脱水槽の槽本体
の両側にヒンヂ結合された蓋を両側に開閉できる
ようにした蓋の開閉装置を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕 上記目的を達成するために、本考案は、ほぼ中
央部に取出し口を開口した内蓋の一側辺を洗浄脱
水槽の槽本体に対してヒンヂ結合するとともにそ
の一側辺と対向する反対側の一側辺に外蓋の一側
辺をヒンヂ結合させ、内蓋と槽本体との間に内蓋
をヒンヂ軸まわりに開閉する開閉シリンダ装置を
設け、さらに内蓋と外蓋との間に外蓋を開蓋状態
に保持する固定ステー手段を設けたことを特徴と
するものである。

〔作用〕

本考案によれば、作業者が洗浄脱水槽内を洗浄
するときには、外蓋だけを持上げて外蓋が所定の
角度だけ開いたところで固定ステー手段により外
蓋の解放状態を保持し、取出し口より手を入れて
必要な清掃作業を行う。一方、マテハンロボツト
により被処理物を搬入および搬出する必要がある
ときには、外蓋と内蓋とを重ね合せたまま蓋を反
対側に開閉しマテハンロボツトの側を開く。

〔実施例〕

以下本考案による蓋の開閉装置を洗浄脱水槽に
適用した例について説明するが、本考案はこれに
限定されるものではない。

図において、符号１は洗浄脱水槽の槽本体を示
し、この槽本体１は上端を開口した直方体状のボ
ツクスであつて、その内側には高速回転可能な回
転胴２等の必要な処理設備が収容されている。上
記槽本体１の上には、本考案による蓋の開閉装置
３が取付けられている。蓋の開閉装置３は矩形状
の同形同大の内蓋４と外蓋５とからなり、内蓋４
はその一側辺がヒンヂ６によつて枢着されてい
る。また、内蓋４の中央部には、被処理物を槽本
体内へ搬入および搬出するための円形状の取出し
口７が形成されている。この内蓋４は開閉シリン
ダ装置８によつて開閉駆動され、この開閉シリン
ダ装置は好ましくは片軸操作型の空気圧シリンダ
によつて構成される。

また、上記内蓋４のヒンヂ６とは反対側には、
外蓋５の一側辺がヒンヂ９によつて枢着されてい
る。この外蓋５は内蓋４とは重なりあつて密着す
ることができ、密着効果を高めるために内蓋４の
取出し口７の外周にはシールリング１０を配設す
るとよい。

また、外蓋５を開いてその状態を保持するため
に、固定ステー手段１１が設けられている。この
固定ステー手段１１は、外蓋５を適当に開いた状
態で固定保持するためのものであつて、本実施例
においては、ラツク爪機構が採用されている。

すなわち、第３図に示されるように、固定ステ
ー手段１１は、ラツク収容筒１２とラツク棒１３
とから構成され、ラツク収容筒１２はその一端が
内蓋４の側面に対してピン１４で枢着される一
方、ラツク棒１３の先端は外蓋５の側面に対して
ピン１５によつて枢着されている。ラツク棒１３
は図示のようなラツク歯１６を有し、このラツク
歯１６と噛合い可能な爪１７がラツク収容筒１２
の側にピン１８によつて枢着されている。したが
つて、ラツク棒１３を矢視Ａ方向へ引出す時に
は、爪１７を乗越えて引出すことがつできるが、
逆に、ラツク棒１３を矢視Ｂ方向へ押込むときに
は爪１７がラツク歯１６の一つと噛合つてラツク
棒１３を停止させえる。

なお、上述のように構成された洗浄脱水槽は、
第２図において、図の左側が作業者が立つて作業
をする正面側であつて必要な操作パネル１８が設
けられる一方、その反対側にはマテハンロボツト
１９が設置され、このマテハンロボツト１９は走
行レール２０に沿つてトラバース運動できるとと
もにロボツトアーム２１が前後に動けるようにな
つている。

本考案はこのように構成されているから、マテ
ハンロボツト１９を使つて槽本体内へ被処理物を
搬入および搬出するときには、開閉シリンダ装置
８を駆動して、内蓋４と外蓋５とを重ね合せたま
ま開閉させる。一方、作業者が洗浄脱水槽の槽本
体内を清掃するときには、内蓋４を閉じたまま外
蓋５のみをヒンヂ９まわりに持上げ所定の角度だ
け引起こし、手を離すと、ラツク棒１３のラツク
歯１６の一つに爪１７が噛合つて外蓋５をその位
置で保持する。そして、清掃作業が終了したとこ
ろで、爪１７を戻したままラツク棒１３を押込み
つつ外蓋５を閉じればよい。

〔考案の効果〕

以上の説明から明らかなように、内蓋の一側辺
を槽本体にヒンヂ結合するとともにその反対側の
一側辺に外蓋をヒンヂ結合するようにしたから、
洗浄脱水槽等の槽本体の正面側または背面側のい
ずれにも蓋を開閉することができ使い勝手がよ
い。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案による蓋の開閉装置を示した斜
視図、第２図は本考案を適用した洗浄脱水槽を示
した側面図、第３図は固定ステー手段を示した断
面図である。 １……洗浄脱水槽、３……蓋の開閉装置、４…
…内蓋、５……外蓋、６……ヒンヂ、７…取出し
口、８……開閉シリンダ装置、９……ヒンヂ、１
１……固定ステー手段。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ ほぼ中央部に取出し口を開口した内蓋の一側
   辺を洗浄脱水槽の槽本体に対してヒンヂ結合す
   るとともにその一側辺と対向する反対側の一側
   辺に外蓋の一側辺をヒンヂ結合させ、内蓋と槽
   本体との間に内蓋をヒンヂ軸まわりに開閉する
   開閉シリンダ装置を設け、さらに内蓋と外蓋と
   の間に外蓋を開蓋状態に保持する固定ステー手
   段を設けたことを特徴とする蓋の開閉装置。 ２ 上記内蓋および外蓋は、矩形状の板材で構成
   されていることを特徴とする実用新案登録請求
   の範囲第１項記載の蓋の開閉装置。 ３ 上記固定ステー手段は、ラツク収容筒と、こ
   のラツク収容筒内に挿入されラツク歯を備えた
   ラツク棒と、上記ラツク歯に噛合い可能な爪と
   を備えていることを特徴とする実用新案登録請
   求の範囲第１項記載の蓋の開閉装置。