JPH0243090Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0243090Y2 JPH0243090Y2 JP3150284U JP3150284U JPH0243090Y2 JP H0243090 Y2 JPH0243090 Y2 JP H0243090Y2 JP 3150284 U JP3150284 U JP 3150284U JP 3150284 U JP3150284 U JP 3150284U JP H0243090 Y2 JPH0243090 Y2 JP H0243090Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holder
- sample
- stage
- opposing surface
- stopper
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【考案の詳細な説明】
〔考案の技術分野〕
この考案は電子ビーム露光装置等の試料ホルダ
位置決め装置に関するものである。
位置決め装置に関するものである。
電子ビーム露光装置ではガラスマスク、シリコ
ンウエハなどの試料を取付けた試料ホルダを真空
チヤンバ内のステージに装着して露光を行うが、
試料のセツテイング位置精度および再現性精度は
描画精度の向上に不可欠であり、試料のホルダへ
の位置決めのみならず、試料ホルダのステージへ
の位置決めが必要となる。
ンウエハなどの試料を取付けた試料ホルダを真空
チヤンバ内のステージに装着して露光を行うが、
試料のセツテイング位置精度および再現性精度は
描画精度の向上に不可欠であり、試料のホルダへ
の位置決めのみならず、試料ホルダのステージへ
の位置決めが必要となる。
第１図は従来の試料ホルダ位置決め装置を示す
平面図である。図において、１は試料を取付ける
ホルダで、ステージ２に装着されるようになつて
いる。ステージ２は、ホルダ１を装着するための
ガイド３、一方のガイド３およびホルダ１の進行
方向前方の端部に設けられたストツパ４、ならび
に他方のガイド３に設けられたスプリング５を有
している。
平面図である。図において、１は試料を取付ける
ホルダで、ステージ２に装着されるようになつて
いる。ステージ２は、ホルダ１を装着するための
ガイド３、一方のガイド３およびホルダ１の進行
方向前方の端部に設けられたストツパ４、ならび
に他方のガイド３に設けられたスプリング５を有
している。
上記の構成において、試料を取付けたホルダ１
をステージ２のガイド３に沿つてＸ方向に挿入し
てストツパ４に突当てて固定する。装着状態で
は、スプリング５によつてホルダ１はストツパ４
に押圧され、位置決めされる。
をステージ２のガイド３に沿つてＸ方向に挿入し
てストツパ４に突当てて固定する。装着状態で
は、スプリング５によつてホルダ１はストツパ４
に押圧され、位置決めされる。
しかしながら、上記の従来装置では、Ｘ方向は
スプリングによる押圧がないので、位置精度にバ
ラツキがあり、またストツパ４およびスプリング
５はホルダ１の外側を押すため、ホルダ１が変形
し、平面試料の平面精度が低下するという欠点が
あつた。
スプリングによる押圧がないので、位置精度にバ
ラツキがあり、またストツパ４およびスプリング
５はホルダ１の外側を押すため、ホルダ１が変形
し、平面試料の平面精度が低下するという欠点が
あつた。
この考案は上記欠点を改善するためのもので、
試料ホルダまたはステージの一方に２個のストツ
パを設け、他方にこれらのストツパに係合するＶ
字状対向面およびフラツト状対向面を設けるとと
もに、ホルダの装着位置においてホルダの周縁部
を押圧し、かつ引出により押圧を解除する２位置
切換機構を設けることにより、Ｘ，Ｙ両方向の位
置決め精度を高くすることができるとともに、試
料の平面精度を維持することができる試料ホルダ
位置決め装置を提供することを目的としている。
試料ホルダまたはステージの一方に２個のストツ
パを設け、他方にこれらのストツパに係合するＶ
字状対向面およびフラツト状対向面を設けるとと
もに、ホルダの装着位置においてホルダの周縁部
を押圧し、かつ引出により押圧を解除する２位置
切換機構を設けることにより、Ｘ，Ｙ両方向の位
置決め精度を高くすることができるとともに、試
料の平面精度を維持することができる試料ホルダ
位置決め装置を提供することを目的としている。
この考案は、試料を取付けるホルダと、このホ
ルダを装着するステージと、ホルダまたはステー
ジに設けられた２個のストツパと、これらのスト
ツパに対向するようにホルダまたはステージの他
方に設けられたＶ字状対向面およびフラツト状対
向面と、ホルダの装着により前記ストツパおよび
対向面が係合するように、ホルダの周縁部を押圧
する位置に切換わり、かつホルダの引出により押
圧を解除する位置に切換わる２位置切換機構とを
備えたことを特徴とする試料ホルダ位置決め装置
である。
ルダを装着するステージと、ホルダまたはステー
ジに設けられた２個のストツパと、これらのスト
ツパに対向するようにホルダまたはステージの他
方に設けられたＶ字状対向面およびフラツト状対
向面と、ホルダの装着により前記ストツパおよび
対向面が係合するように、ホルダの周縁部を押圧
する位置に切換わり、かつホルダの引出により押
圧を解除する位置に切換わる２位置切換機構とを
備えたことを特徴とする試料ホルダ位置決め装置
である。
以下、この考案を図面の実施例により説明す
る。第２図はこの考案の一実施例による試料位置
決め装置を示す平面図、第３図はそのＡ−Ａ断面
図、第４図および第５図は動作状態を示すＡ−Ａ
対応断面図であり、第１図と同一符号は同一また
は相当部分を示す。
る。第２図はこの考案の一実施例による試料位置
決め装置を示す平面図、第３図はそのＡ−Ａ断面
図、第４図および第５図は動作状態を示すＡ−Ａ
対応断面図であり、第１図と同一符号は同一また
は相当部分を示す。
図において、ストツパ４はステージ２のホルダ
１の進行方向（Ｘ方向）前方の端部に２個設けら
れている。このストツパ４に対向して、ホルダ１
の先端部には、Ｖ字状対向面６を有する係合部材
７およびフラツト状対向面８を有する係合部材９
が設けらけている。ステージ２には２位置切換機
構１０が設けられて、ホルダ１の装着位置におい
てホルダ１の周縁部をＸ方向に押圧し、ホルダ１
の引出位置において押圧を解除するようになつて
いる。
１の進行方向（Ｘ方向）前方の端部に２個設けら
れている。このストツパ４に対向して、ホルダ１
の先端部には、Ｖ字状対向面６を有する係合部材
７およびフラツト状対向面８を有する係合部材９
が設けらけている。ステージ２には２位置切換機
構１０が設けられて、ホルダ１の装着位置におい
てホルダ１の周縁部をＸ方向に押圧し、ホルダ１
の引出位置において押圧を解除するようになつて
いる。
２位置切換機構１０は、ステージ２に固定され
たベース１１と、このベース１１にピン１２によ
り往復回転可能に取付けられた回転板１３と、こ
の回転板１３の両端部から同方向に伸びる２本の
アーム１４，１５と、回転板１３のアーム１４，
１５側の点およびベース１１間に設けられた引張
スプリング１６と、ホルダ１の引出時にホルダ１
の周縁部に形成された押圧部１７の外側に接する
ようにステージ２側のアーム１４の先端に設けら
れたローラ１８と、ホルダ１の装着時にホルダ１
の穴１９から押圧部１７の内面に接触するように
反対側のアーム１５に設けられたローラ２０と、
回転板１３の回転範囲を規制するストツパ２１，
２２とを有している。
たベース１１と、このベース１１にピン１２によ
り往復回転可能に取付けられた回転板１３と、こ
の回転板１３の両端部から同方向に伸びる２本の
アーム１４，１５と、回転板１３のアーム１４，
１５側の点およびベース１１間に設けられた引張
スプリング１６と、ホルダ１の引出時にホルダ１
の周縁部に形成された押圧部１７の外側に接する
ようにステージ２側のアーム１４の先端に設けら
れたローラ１８と、ホルダ１の装着時にホルダ１
の穴１９から押圧部１７の内面に接触するように
反対側のアーム１５に設けられたローラ２０と、
回転板１３の回転範囲を規制するストツパ２１，
２２とを有している。
２３はホルダ１の上面を規制するストツパであ
り、ホルダ１は装着位置において移動面２４から
上昇してストツパ２３に突当たるように構成され
ているが、上下機構の図示は省略されている。
り、ホルダ１は装着位置において移動面２４から
上昇してストツパ２３に突当たるように構成され
ているが、上下機構の図示は省略されている。
以上の構成において、第２図および第３図はホ
ルダ１がステージ２に装着された状態を示してい
る。ホルダ１を装着するには、ホルダ１をステー
ジ２のガイド３に沿つてＸ方向に挿入し、第４図
に示すように、ホルダ１の押圧部１７の外側をロ
ーラ１８に押当て、さらにホルダ１をＸ方向に進
めると、押圧部１７はローラ１８を押し、スプリ
ング１５が伸びて、第５図に示すように、回転板
１３は中立点に達する。さらにホルダ１を押す
と、スプリング１６は収縮方向に転じ、ローラ２
０が押圧部１７の内面に当たり、スプリング１６
の引張力によりホルダ１はさらに前進し、第２図
および第３図の装着位置で停止する。この位置で
ホルダ１は図示しない上下機構により移動面２４
から第３図の実線位置まで押上げられて位置決め
される。
ルダ１がステージ２に装着された状態を示してい
る。ホルダ１を装着するには、ホルダ１をステー
ジ２のガイド３に沿つてＸ方向に挿入し、第４図
に示すように、ホルダ１の押圧部１７の外側をロ
ーラ１８に押当て、さらにホルダ１をＸ方向に進
めると、押圧部１７はローラ１８を押し、スプリ
ング１５が伸びて、第５図に示すように、回転板
１３は中立点に達する。さらにホルダ１を押す
と、スプリング１６は収縮方向に転じ、ローラ２
０が押圧部１７の内面に当たり、スプリング１６
の引張力によりホルダ１はさらに前進し、第２図
および第３図の装着位置で停止する。この位置で
ホルダ１は図示しない上下機構により移動面２４
から第３図の実線位置まで押上げられて位置決め
される。
第２図および第３図の装着状態では、スプリン
グ１６の引張力により、ローラ２０がホルダ１の
押圧部１７を押圧しているので、係合部材７のＶ
字状対向面６が一方のストツパ４に係合し、また
係合部材９のフラツト状対向面８は他方のストツ
パ４に係合するため、ホルダ１はＸ，Ｙ両方向に
対して位置決めされる。上下方向の位置決めはス
トツパ２３によつて行われる。
グ１６の引張力により、ローラ２０がホルダ１の
押圧部１７を押圧しているので、係合部材７のＶ
字状対向面６が一方のストツパ４に係合し、また
係合部材９のフラツト状対向面８は他方のストツ
パ４に係合するため、ホルダ１はＸ，Ｙ両方向に
対して位置決めされる。上下方向の位置決めはス
トツパ２３によつて行われる。
ホルダ１を引出す場合は逆の操作により、ホル
ダ１をＸ方向と反対方向に引出すと、押圧部１７
がローラ２０を押し、第５図の中立点を過ぎる
と、ローラ１８が押圧部１７の外側を押し、ホル
ダ１はスプリング１６の引張力により押出され
る。
ダ１をＸ方向と反対方向に引出すと、押圧部１７
がローラ２０を押し、第５図の中立点を過ぎる
と、ローラ１８が押圧部１７の外側を押し、ホル
ダ１はスプリング１６の引張力により押出され
る。
このようにして、２位置切換機構１０の２つの
切換位置において、ホルダ１の押圧および解除が
行われ、ホルダ１の押圧状態においてストツパ４
とＶ字状およびフラツト状対向面６，８の係合に
よりＸ，Ｙ方向の位置決めを行うことができる。
ストツパ４とＶ字状対向面６によつてＸ，Ｙ方向
の位置決めが可能であるが、係合部材７，９の両
方にＶ字状対向面６を形成すると、係合部材７，
９の取付位置のバラツキによりＸ，Ｙ方向の位置
決め精度が低下するが、一方をフラツト状対向面
８とすることにより、バラツキがある場合でも、
再現性よく位置決めを行うことができる。
切換位置において、ホルダ１の押圧および解除が
行われ、ホルダ１の押圧状態においてストツパ４
とＶ字状およびフラツト状対向面６，８の係合に
よりＸ，Ｙ方向の位置決めを行うことができる。
ストツパ４とＶ字状対向面６によつてＸ，Ｙ方向
の位置決めが可能であるが、係合部材７，９の両
方にＶ字状対向面６を形成すると、係合部材７，
９の取付位置のバラツキによりＸ，Ｙ方向の位置
決め精度が低下するが、一方をフラツト状対向面
８とすることにより、バラツキがある場合でも、
再現性よく位置決めを行うことができる。
なお、以上の説明において、ストツパ４および
係合部材７，９は最低２個あればよく、３個以上
であつてもよい。また上記実施例ではステージ２
側にストツパ４が設けられ、ホルダ１側に係合部
材７，９が設けられているが、その一方または双
方が逆であつてもよい。ストツパ４の構造はピン
状、突起状その他の構造を採用できる。また２位
置切換機構１０の構造も変更してもよい。
係合部材７，９は最低２個あればよく、３個以上
であつてもよい。また上記実施例ではステージ２
側にストツパ４が設けられ、ホルダ１側に係合部
材７，９が設けられているが、その一方または双
方が逆であつてもよい。ストツパ４の構造はピン
状、突起状その他の構造を採用できる。また２位
置切換機構１０の構造も変更してもよい。
本考案は電子ビーム露光装置に限らず、平板状
の試料をホルダに取付けて処理を行う他の装置の
試料ホルダ位置決め装置にも適用可能である。
の試料をホルダに取付けて処理を行う他の装置の
試料ホルダ位置決め装置にも適用可能である。
本考案によれば、２位置切換機構によりホルダ
の周縁部を押圧し、押圧状態でストツパと係合す
るＶ字状対向面およびフラツト状対向面により位
置決めするようにしたので、簡単な構造により、
Ｘ，Ｙ両方向に精度よく位置決めすることができ
るとともに、ホルダの外側を押圧する必要がな
く、試料の平面精度を維持することができるなど
の効果がある。
の周縁部を押圧し、押圧状態でストツパと係合す
るＶ字状対向面およびフラツト状対向面により位
置決めするようにしたので、簡単な構造により、
Ｘ，Ｙ両方向に精度よく位置決めすることができ
るとともに、ホルダの外側を押圧する必要がな
く、試料の平面精度を維持することができるなど
の効果がある。
第１図は従来の試料ホルダ位置決め装置を示す
平面図、第２図はこの考案の一実施例を示す平面
図、第３図はそのＡ−Ａ断面図、第４図および第
５図は動作状態を示すＡ−Ａ対応断面図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示
し、１はホルダ、２はステージ、４，２１，２
２，２３はストツパ、６はＶ字状対向面、８はフ
ラツト状対向面、１０は２位置切換機構、１１は
ベース、１３は回転板、１４，１５はアーム、１
６はスプリング、１８，２０はローラである。
平面図、第２図はこの考案の一実施例を示す平面
図、第３図はそのＡ−Ａ断面図、第４図および第
５図は動作状態を示すＡ−Ａ対応断面図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示
し、１はホルダ、２はステージ、４，２１，２
２，２３はストツパ、６はＶ字状対向面、８はフ
ラツト状対向面、１０は２位置切換機構、１１は
ベース、１３は回転板、１４，１５はアーム、１
６はスプリング、１８，２０はローラである。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 試料を取付けるホルダと、このホルダを装着
するステージと、ホルダまたはステージに設け
られた２個のストツパと、これらのストツパに
対向するようにホルダまたはステージの他方に
設けられたＶ字状対向面およびフラツト状対向
面と、ホルダの装着により前記ストツパおよび
対向面が係合するように、ホルダの周縁部を押
圧する位置に切換わり、かつホルダの引出によ
り押圧を解除する位置に切換わる２位置切換機
構とを備えたことを特徴とする試料ホルダ位置
決め装置。 (2) Ｖ字状対向面およびフラツト状対向面が、ホ
ルダに取付けられた係合部材に形成された実用
新案登録請求の範囲第１項記載の試料ホルダ位
置決め装置。 (3) ２位置切換機構が、ホルダに形成された穴か
らホルダの周縁部を押圧するようにされた実用
新案登録請求の範囲第１項または第２項記載の
試料ホルダ位置決め装置。 (4) ２位置切換機構が、ステージに固定されたベ
ースと、このベースに取付けられた回転板と、
この回転板の両側から押びる２本のアームと、
回転板とベース間に設けられた引張スプリング
と、前記アームの先端に設けられてホルダの押
圧方向または引出方向に接するローラとを有す
る実用新案登録請求の範囲第１項ないし第３項
のいずれかに記載の試料ホルダ位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3150284U JPS60145545U (ja) | 1984-03-05 | 1984-03-05 | 試料ホルダ位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3150284U JPS60145545U (ja) | 1984-03-05 | 1984-03-05 | 試料ホルダ位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60145545U JPS60145545U (ja) | 1985-09-27 |
| JPH0243090Y2 true JPH0243090Y2 (ja) | 1990-11-16 |
Family
ID=30532171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3150284U Granted JPS60145545U (ja) | 1984-03-05 | 1984-03-05 | 試料ホルダ位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60145545U (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5450357B2 (ja) * | 2010-11-19 | 2014-03-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡 |
-
1984
- 1984-03-05 JP JP3150284U patent/JPS60145545U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60145545U (ja) | 1985-09-27 |
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