JPH0243515Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0243515Y2 JPH0243515Y2 JP16676985U JP16676985U JPH0243515Y2 JP H0243515 Y2 JPH0243515 Y2 JP H0243515Y2 JP 16676985 U JP16676985 U JP 16676985U JP 16676985 U JP16676985 U JP 16676985U JP H0243515 Y2 JPH0243515 Y2 JP H0243515Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- activated carbon
- granular activated
- hydrogen peroxide
- pipe
- space
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 73
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 56
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 19
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 15
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 8
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 24
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 17
- GEHJYWRUCIMESM-UHFFFAOYSA-L sodium sulfite Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])=O GEHJYWRUCIMESM-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 10
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 8
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 8
- 235000011121 sodium hydroxide Nutrition 0.000 description 8
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 7
- 239000011550 stock solution Substances 0.000 description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 235000010265 sodium sulphite Nutrition 0.000 description 5
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 4
- 238000011001 backwashing Methods 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 description 3
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000001802 infusion Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000007793 ph indicator Substances 0.000 description 2
- 238000013022 venting Methods 0.000 description 2
- 241000894006 Bacteria Species 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005465 channeling Effects 0.000 description 1
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 1
- 239000003245 coal Substances 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 1
- 238000001223 reverse osmosis Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000001954 sterilising effect Effects 0.000 description 1
- 238000004659 sterilization and disinfection Methods 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Removal Of Specific Substances (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
＜産業上の利用分野＞
本考案は、過酸化水素を比較的多量に含有する
水溶液から過酸化水素を除去し、これを放流可能
とする過酸化水素の除去装置に関するものであ
る。
水溶液から過酸化水素を除去し、これを放流可能
とする過酸化水素の除去装置に関するものであ
る。
＜従来技術＞
半導体を製造する電子工業では製品の洗浄に、
各種イオンはもとより、微粒子、生菌、TOCな
どの不純物を極限値まで除去した、いわゆる超純
水が用いられる。このような超純水は濾過、イオ
ン交換処理、逆浸透膜処理、紫外線殺菌等あらゆ
る技術を駆使して製造されるが、当該超純水の純
度を維持するために、超純水を移送する配管は定
期的に洗浄される。当該配管洗浄は特に配管の滞
留部に沈着するスライムの除去や、接液部全般の
殺菌のために行うもので、洗浄剤としては通常、
0.15重量％〜0.25重量％の過酸化水素を水溶液が
用いられる。
各種イオンはもとより、微粒子、生菌、TOCな
どの不純物を極限値まで除去した、いわゆる超純
水が用いられる。このような超純水は濾過、イオ
ン交換処理、逆浸透膜処理、紫外線殺菌等あらゆ
る技術を駆使して製造されるが、当該超純水の純
度を維持するために、超純水を移送する配管は定
期的に洗浄される。当該配管洗浄は特に配管の滞
留部に沈着するスライムの除去や、接液部全般の
殺菌のために行うもので、洗浄剤としては通常、
0.15重量％〜0.25重量％の過酸化水素を水溶液が
用いられる。
したがつて電子工業では当該洗浄に用いた過酸
化水素の水溶液が定期的に廃液として排出される
こととなる。
化水素の水溶液が定期的に廃液として排出される
こととなる。
このような過酸化水素を含む水溶液はそのまま
放流することができないので、従来は当該廃液に
亜硫酸ナトリウムなどの還元剤を添加し、過酸化
水素の酸化力を中和した後放流している。
放流することができないので、従来は当該廃液に
亜硫酸ナトリウムなどの還元剤を添加し、過酸化
水素の酸化力を中和した後放流している。
＜考案が解決しようとする問題点＞
しかしながら従来の還元剤を用いて上記中和を
行う処理装置は以下のような欠点を有している。
行う処理装置は以下のような欠点を有している。
まず過酸化水素と亜硫酸ナトリウムの反応時間
が２〜３時間と比較的長く、したがつて反応槽も
それだけ大きくなり、当該廃液量が多い場合は反
応槽の設置面積を広く必要とするし、またその処
理液に過酸化水素が残留しても、逆に亜硫酸ソー
ダが残留してもいずれの場合も放流不適となり、
酸やアルカリの中和反応と比較して放流における
認容範囲が極めて狭く、酸化還元の中和は技術的
にかなり難しく、これを自動化する場合制御が比
較的複雑となる。
が２〜３時間と比較的長く、したがつて反応槽も
それだけ大きくなり、当該廃液量が多い場合は反
応槽の設置面積を広く必要とするし、またその処
理液に過酸化水素が残留しても、逆に亜硫酸ソー
ダが残留してもいずれの場合も放流不適となり、
酸やアルカリの中和反応と比較して放流における
認容範囲が極めて狭く、酸化還元の中和は技術的
にかなり難しく、これを自動化する場合制御が比
較的複雑となる。
したがつてこのような反応槽、自動制御機構お
よび撹拌機構を備えた処理装置の設備費は比較的
的高価となり、かつ定常的に亜硫酸ナトリウム等
の還元剤も必要とするので、ランニングコストも
高い。
よび撹拌機構を備えた処理装置の設備費は比較的
的高価となり、かつ定常的に亜硫酸ナトリウム等
の還元剤も必要とするので、ランニングコストも
高い。
本考案者は従来の処理装置における、かかる欠
点を解決するために、先に特願昭60−163887号に
て、過酸化水素を含む水溶液のPHを10以上に調整
して粒状活性炭充填層に通液する方法を提案し
た。
点を解決するために、先に特願昭60−163887号に
て、過酸化水素を含む水溶液のPHを10以上に調整
して粒状活性炭充填層に通液する方法を提案し
た。
本方法は粒状活性炭の有する還元力を用いて水
溶液中の過酸化水素を分解除去するものである
が、水溶液中のPHを10以上に調整することによ
り、過酸化水素の分解速度をより速くして過酸化
水素を効果的に除くものである。
溶液中の過酸化水素を分解除去するものである
が、水溶液中のPHを10以上に調整することによ
り、過酸化水素の分解速度をより速くして過酸化
水素を効果的に除くものである。
すなわち過酸化水素を含む水溶液が粒状活性炭
層に接触すると、直ちに分解反応が生じ酸素が発
生するが、水溶液のPHが９以下では粒状活性炭の
充填層の内部でも酸素が発生し、それが気泡とな
つて充填層内に閉じ込められ、水溶液がシヨート
パス（チヤンネリング現象）することにより、比
較的早期に処理水に過酸化水素が漏出するが、水
溶液のPHが10以上となると過酸化水素の分解速度
が速くなるため粒状活性炭充填層の比較的上層部
で分解し、充填層内に発生する気泡の量が極めて
少なくなり、過酸化水素のシヨートパスが起こら
ず比較的長時間処理することができるのである。
層に接触すると、直ちに分解反応が生じ酸素が発
生するが、水溶液のPHが９以下では粒状活性炭の
充填層の内部でも酸素が発生し、それが気泡とな
つて充填層内に閉じ込められ、水溶液がシヨート
パス（チヤンネリング現象）することにより、比
較的早期に処理水に過酸化水素が漏出するが、水
溶液のPHが10以上となると過酸化水素の分解速度
が速くなるため粒状活性炭充填層の比較的上層部
で分解し、充填層内に発生する気泡の量が極めて
少なくなり、過酸化水素のシヨートパスが起こら
ず比較的長時間処理することができるのである。
本考案は前述したように粒状活性炭充填層に接
触する当該水溶液のPHを上昇させることにより当
該充填層内での気泡の発生を可能なかぎり回避す
るとともに、装置的にも発生した酸素を効果的に
排出できるような構造とした装置を提供すること
を目的とする。
触する当該水溶液のPHを上昇させることにより当
該充填層内での気泡の発生を可能なかぎり回避す
るとともに、装置的にも発生した酸素を効果的に
排出できるような構造とした装置を提供すること
を目的とする。
＜問題点を解決する手段＞
本考案は槽内に粒状活性炭を充填するとともに
当該充填層の下方に空間部を形成し、かつ当該空
間部に外部へ通じるガス抜き管を連通し、さらに
粒状活性炭充填層の上方部に流入管を、前記空間
部に流出管をそれぞれ連通した構造からなり、PH
を10以上に調整した過酸化水素を含む水溶液を前
記流入管から流入し、当該流入液を粒状活性炭充
填層の上面に直接撒布させながら当該充填層に通
過させ、処理液を流出管から流出させることを特
徴とするものである。
当該充填層の下方に空間部を形成し、かつ当該空
間部に外部へ通じるガス抜き管を連通し、さらに
粒状活性炭充填層の上方部に流入管を、前記空間
部に流出管をそれぞれ連通した構造からなり、PH
を10以上に調整した過酸化水素を含む水溶液を前
記流入管から流入し、当該流入液を粒状活性炭充
填層の上面に直接撒布させながら当該充填層に通
過させ、処理液を流出管から流出させることを特
徴とするものである。
以下に本考案を図面に基づいて詳細に説明す
る。
る。
第１図は本考案の実施態様の一例のフローを示
す説明図であり、上方が開放した槽１内に、液は
通過するが粒状活性炭は通過させないスクリーン
２、たとえば目板にサラン布を張つたものを設置
し、当該スクリーン２の上部に粒状活性炭を充填
して、粒状活性炭層３を形成する。
す説明図であり、上方が開放した槽１内に、液は
通過するが粒状活性炭は通過させないスクリーン
２、たとえば目板にサラン布を張つたものを設置
し、当該スクリーン２の上部に粒状活性炭を充填
して、粒状活性炭層３を形成する。
粒状活性炭層３の上方部にデイストリビユータ
４を設置し、当該デイストリビユータ４に過酸化
水素を含む水溶液である原液の流入管５の一端を
連通し、さらに粒状活性炭層３の下方に形成した
空間部Ｓに処理液の流出管６を連通するととも
に、当該処理液の流出管６に逆洗水流入管７を連
通する。
４を設置し、当該デイストリビユータ４に過酸化
水素を含む水溶液である原液の流入管５の一端を
連通し、さらに粒状活性炭層３の下方に形成した
空間部Ｓに処理液の流出管６を連通するととも
に、当該処理液の流出管６に逆洗水流入管７を連
通する。
また空間部Ｓに、粒状活性炭層３の上方まで立
上げたガス抜き管８を連通する。
上げたガス抜き管８を連通する。
一方前記原液の流入管５に粒状活性炭層３の逆
洗排水を排出するための逆洗排水流出管９とカ性
ソーダ溶液流入管１０の一端を連通し、当該カ性
ソーダ溶液流入管１０の他端を注入ポンプ１１を
介してカ性ソーダ溶液層１２に連通する。なお原
液の流入管５とカ性ソーダ溶液流入管１０の接合
点下流側に混合器１３を付設するとともに、当該
混合器１３の下流側にPH電極１４を付設し、当該
PH電極１４と注入ポンプ１１とをPH指示調節計１
５を介して計装的に接続する。なお１６はブロー
管であり、１７〜２１はそれぞれ弁を示す。
洗排水を排出するための逆洗排水流出管９とカ性
ソーダ溶液流入管１０の一端を連通し、当該カ性
ソーダ溶液流入管１０の他端を注入ポンプ１１を
介してカ性ソーダ溶液層１２に連通する。なお原
液の流入管５とカ性ソーダ溶液流入管１０の接合
点下流側に混合器１３を付設するとともに、当該
混合器１３の下流側にPH電極１４を付設し、当該
PH電極１４と注入ポンプ１１とをPH指示調節計１
５を介して計装的に接続する。なお１６はブロー
管であり、１７〜２１はそれぞれ弁を示す。
＜作用＞
次の本装置の操作を以下に説明する。
運転の当初に粒状活性炭を充填して粒状活性炭
層３を形成するが、当該粒状活性炭に微粉炭が混
入している場合は、弁２０、弁１８を開口して逆
洗水流入管７から逆洗水を流入し、粒状活性炭層
３を適度に膨張させ、微粉炭を含む逆洗排水を逆
洗排水流出管９から流出させる。なお当該逆洗工
程は、以下に説明する通液工程を続行するにした
がい粒状活性炭層３に懸濁物質が詰まり、その圧
力損失が上昇した際にも適宜に行う。このような
逆洗が終了した後、弁２１を開口して槽内１の水
をブロー管１６から排出する。
層３を形成するが、当該粒状活性炭に微粉炭が混
入している場合は、弁２０、弁１８を開口して逆
洗水流入管７から逆洗水を流入し、粒状活性炭層
３を適度に膨張させ、微粉炭を含む逆洗排水を逆
洗排水流出管９から流出させる。なお当該逆洗工
程は、以下に説明する通液工程を続行するにした
がい粒状活性炭層３に懸濁物質が詰まり、その圧
力損失が上昇した際にも適宜に行う。このような
逆洗が終了した後、弁２１を開口して槽内１の水
をブロー管１６から排出する。
次いで弁１７、弁１９を開口し、その他の弁は
閉じ、原液の流入管５から原液を流入し、処理液
の流出管６から処理液を得る通液を行う。
閉じ、原液の流入管５から原液を流入し、処理液
の流出管６から処理液を得る通液を行う。
なお当該通液時に注入ポンプ１１を駆動して原
液にカ性ソーダ溶液を混合し、原液のPHを10以
上、好ましくは10.5〜11.0に調整する。
液にカ性ソーダ溶液を混合し、原液のPHを10以
上、好ましくは10.5〜11.0に調整する。
この調整はPH電極１４によつて測定されるPH
が、あらかじめ定めた所定の範囲になるように、
PH指示調節計１５により計装的に注入ポンプ１１
のカ性ソーダ溶液注入量を調節することにより行
う。
が、あらかじめ定めた所定の範囲になるように、
PH指示調節計１５により計装的に注入ポンプ１１
のカ性ソーダ溶液注入量を調節することにより行
う。
デイストリビユータ４により均等に分配した原
液を粒状活性炭層３の上面に直接撒布させ、当該
層３、スクリーン２を順次通過させ、空間部Ｓで
集液し、処理液を処理液の流出管６から流出す
る。
液を粒状活性炭層３の上面に直接撒布させ、当該
層３、スクリーン２を順次通過させ、空間部Ｓで
集液し、処理液を処理液の流出管６から流出す
る。
このような通液により原液中に存在する過酸化
水素は粒状活性炭層３に接触することにより分解
するが、当該分解により発生する酸素の大部分は
粒状活性炭層３の上面から大気に放出される。ま
たたとえ粒状活性炭層３内で少量の酸素が発生し
ても、当該酸素は液の流れにより空間部Ｓに押し
流され、空間部Ｓに連通したガス抜き管８から大
気に放出される。
水素は粒状活性炭層３に接触することにより分解
するが、当該分解により発生する酸素の大部分は
粒状活性炭層３の上面から大気に放出される。ま
たたとえ粒状活性炭層３内で少量の酸素が発生し
ても、当該酸素は液の流れにより空間部Ｓに押し
流され、空間部Ｓに連通したガス抜き管８から大
気に放出される。
＜効果＞
このように本考案は粒状活性炭を充填する槽を
上部開放型とし、かつ粒状活性炭充填層の下部に
空間部を形成し、当該空間部に外部へ通じるガス
抜き管を連通し、過酸化水素を含む水溶液のPHを
10以上に調整してその分解速度を速めて粒状活性
炭充填層の上面に直接撒布するので、発生する酸
素を容易に槽外へ放出することができ、粒状活性
炭の充填層に気泡を発生させることがなく、チヤ
ンネリング現象に起因する過酸化水素の漏出を効
果的に防止することができる。
上部開放型とし、かつ粒状活性炭充填層の下部に
空間部を形成し、当該空間部に外部へ通じるガス
抜き管を連通し、過酸化水素を含む水溶液のPHを
10以上に調整してその分解速度を速めて粒状活性
炭充填層の上面に直接撒布するので、発生する酸
素を容易に槽外へ放出することができ、粒状活性
炭の充填層に気泡を発生させることがなく、チヤ
ンネリング現象に起因する過酸化水素の漏出を効
果的に防止することができる。
なお槽１を密閉型とし、重力式通液によらず圧
力式通液とすることも可能であるが、その場合
は、槽１の上部にガス抜き弁などを設置し、上部
粒状活性炭層３から発生する酸素を大気に放出す
るような構造とする必要がある。
力式通液とすることも可能であるが、その場合
は、槽１の上部にガス抜き弁などを設置し、上部
粒状活性炭層３から発生する酸素を大気に放出す
るような構造とする必要がある。
本考案における粒状活性炭層３の充填層高は、
400mm〜600mmが適当で、あまり厚く充填すると充
填層内に気泡が発生しやすくなるので好ましくな
い。また通液流速は原液の過酸化水素の含有量が
多い程、低流速にする必要があるが、過酸化水素
含有量がたとえば0.2重量％の時はLV7ｍ／Ｈ前
後、および過酸化水素含有量がたとえば３重量％
の時はLV3ｍ／Ｈ前後が適当である。
400mm〜600mmが適当で、あまり厚く充填すると充
填層内に気泡が発生しやすくなるので好ましくな
い。また通液流速は原液の過酸化水素の含有量が
多い程、低流速にする必要があるが、過酸化水素
含有量がたとえば0.2重量％の時はLV7ｍ／Ｈ前
後、および過酸化水素含有量がたとえば３重量％
の時はLV3ｍ／Ｈ前後が適当である。
以上説明したごとく、本考案は粒状活性炭層に
原液を通過させるのみで過酸化水素を除去できる
ので、従来装置のような大きな反応槽を必要とせ
ず、装置の設置面積を小さくすることができ、か
つ操作が簡単であるから自動操作も容易であり、
装置の設備費を従来のものより安価とすることが
でき、さらに亜硫酸ナトリウムなどの還元剤を用
いないので、ランニングコストも大幅に低減でき
る。
原液を通過させるのみで過酸化水素を除去できる
ので、従来装置のような大きな反応槽を必要とせ
ず、装置の設置面積を小さくすることができ、か
つ操作が簡単であるから自動操作も容易であり、
装置の設備費を従来のものより安価とすることが
でき、さらに亜硫酸ナトリウムなどの還元剤を用
いないので、ランニングコストも大幅に低減でき
る。
第１図は本考案の実施態様の一例のフローを示
す説明図である。 １……槽、２……スクリーン、３……粒状活性
炭層、４……デイストリビユータ、５……原液の
流入管、６……処理液の流出管、７……逆洗水流
入管、８……ガス抜き管、９……逆洗排水排出
管、１０……カ性ソーダ溶液流入管、１１……注
入ポンプ、１２……カ性ソーダ溶液槽、１３……
混合器、１４……PH電極、１５……PH指示調節
計、１６……ブロー管、１７〜２１……弁、Ｓ…
…空間部。
す説明図である。 １……槽、２……スクリーン、３……粒状活性
炭層、４……デイストリビユータ、５……原液の
流入管、６……処理液の流出管、７……逆洗水流
入管、８……ガス抜き管、９……逆洗排水排出
管、１０……カ性ソーダ溶液流入管、１１……注
入ポンプ、１２……カ性ソーダ溶液槽、１３……
混合器、１４……PH電極、１５……PH指示調節
計、１６……ブロー管、１７〜２１……弁、Ｓ…
…空間部。
Claims (1)
- 槽内に粒状活性炭を充填するとともに当該充填
層の下方に空間部を形成し、かつ当該空間部に外
部へ通じるガス抜き管を連通し、さらに粒状活性
炭充填層の上方部に流入管を、前記空間部に流出
管をそれぞれ連通した構造からなり、PHを10以上
に調整した過酸化水素を含む水溶液を前記流入管
から流入し、当該流入液を粒状活性炭充填層の上
面に直接撒布させながら当該充填層に通過させ、
処理液を流出管から流出させることを特徴とする
過酸化水素の除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16676985U JPH0243515Y2 (ja) | 1985-10-31 | 1985-10-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16676985U JPH0243515Y2 (ja) | 1985-10-31 | 1985-10-31 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6275893U JPS6275893U (ja) | 1987-05-15 |
| JPH0243515Y2 true JPH0243515Y2 (ja) | 1990-11-19 |
Family
ID=31098062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16676985U Expired JPH0243515Y2 (ja) | 1985-10-31 | 1985-10-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0243515Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2021182480A1 (ja) * | 2020-03-13 | 2021-09-16 |
-
1985
- 1985-10-31 JP JP16676985U patent/JPH0243515Y2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2021182480A1 (ja) * | 2020-03-13 | 2021-09-16 | ||
| WO2021182480A1 (ja) * | 2020-03-13 | 2021-09-16 | メタウォーター株式会社 | 水処理方法、水処理装置の制御装置、及び、水処理装置の制御プログラム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6275893U (ja) | 1987-05-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108928884A (zh) | 一种反渗透膜前置阻垢设备 | |
| JP4071364B2 (ja) | 逆浸透膜分離装置の前処理装置 | |
| CN210261204U (zh) | 一种水污染防治过程中用的水除氟装置 | |
| CN117550752A (zh) | 一种池塘养殖尾水处理的臭氧气浮处理工艺 | |
| KR100573223B1 (ko) | 정수장용 수질 안정화 시스템 및 이를 이용한 정수 방법 | |
| JPH0243515Y2 (ja) | ||
| CN213112600U (zh) | 一种高效水处理装置 | |
| JPS6227090A (ja) | 過酸化水素の除去方法および装置 | |
| JP3845758B2 (ja) | 排水の脱リン方法 | |
| JPH0443705B2 (ja) | ||
| JPH034394Y2 (ja) | ||
| JP3095600B2 (ja) | 粒状活性炭充填塔による過酸化水素の除去方法 | |
| CN211847525U (zh) | 一种生产废水处理装置 | |
| CN209210442U (zh) | 一种浸没式重力流陶瓷膜微动力超滤系统污水处理设备 | |
| CN206599498U (zh) | 一种去除水中2‑mib和gsm的系统 | |
| CN107840412A (zh) | 一种零排放软化水设备 | |
| CN106746201A (zh) | 一种去除水中2‑mib和gsm的方法及系统 | |
| JPS6328429A (ja) | 弗素，過酸化水素含有廃水及び排ガスの処理方法及びその装置 | |
| CN215288306U (zh) | 一种高盐废水处理系统 | |
| CN222989899U (zh) | 一种应用于plc自动控制臭氧投加量的臭氧催化氧化装置 | |
| RU2808013C1 (ru) | Способ очистки подземных вод от радона, альфа-активности, железа, марганца, солей жесткости и углекислоты | |
| CN223134147U (zh) | 固化赤泥颗粒处理煤矿酸性废水的系统 | |
| CN222961275U (zh) | 一种水净化处理系统 | |
| CN211546188U (zh) | 一种含氟废水深度处理的一体化装置 | |
| CN223522383U (zh) | 一种硫酸铜废水一体化处理设备 |