JPH0243823B2 - Kinzokujohatsusen - Google Patents
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- JPH0243823B2 JPH0243823B2 JP18209984A JP18209984A JPH0243823B2 JP H0243823 B2 JPH0243823 B2 JP H0243823B2 JP 18209984 A JP18209984 A JP 18209984A JP 18209984 A JP18209984 A JP 18209984A JP H0243823 B2 JPH0243823 B2 JP H0243823B2
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/26—Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は金属の真空蒸着やコーテングなどに
用いられる金属蒸発線に関するものである。
用いられる金属蒸発線に関するものである。
［従来の技術］
従来の蒸発用金属を保持する手段としては、タ
ングステンなどの高溶融点の金属線をもつて形成
したコイルに、蒸発用金属を挿入または係止して
保持したコイルタイプ。蒸発用金属をボートと称
される容器や坩堝に収容した容器タイプ。高溶融
点の金属盤をベースとし、そのベースに蒸発用金
属を積重したターゲツトタイプなどがある。
ングステンなどの高溶融点の金属線をもつて形成
したコイルに、蒸発用金属を挿入または係止して
保持したコイルタイプ。蒸発用金属をボートと称
される容器や坩堝に収容した容器タイプ。高溶融
点の金属盤をベースとし、そのベースに蒸発用金
属を積重したターゲツトタイプなどがある。
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、上記コイルタイプでは蒸発用金
属が溶融により垂れ落ち易く、蒸発効率が低い欠
点があつた。また容器タイプは加熱効率が悪く、
ターゲツトタイプではベースとして用される高融
点金属の使用量がコイルタイプに比べて多く、コ
スト高となるなどの欠点があつた。
属が溶融により垂れ落ち易く、蒸発効率が低い欠
点があつた。また容器タイプは加熱効率が悪く、
ターゲツトタイプではベースとして用される高融
点金属の使用量がコイルタイプに比べて多く、コ
スト高となるなどの欠点があつた。
この発明は上記従来の問題点を解決するために
考えられたものであつて、その目的とするところ
は、高電圧、高電流、高温に耐え、溶融により生
ずる蒸発用金属の滴下がほとんどなく、蒸発用金
属の装荷量を増して、蒸発効果を更に向上させる
ことができるばかりか、ターゲツトタイプよりも
低コストの金属蒸発線を提供することにある。
考えられたものであつて、その目的とするところ
は、高電圧、高電流、高温に耐え、溶融により生
ずる蒸発用金属の滴下がほとんどなく、蒸発用金
属の装荷量を増して、蒸発効果を更に向上させる
ことができるばかりか、ターゲツトタイプよりも
低コストの金属蒸発線を提供することにある。
［問題点を解決するための手段］
上記目的よりなるこの発明の特徴は、融点2500
℃以上の複数本の金属線を撚線して芯体とし、そ
の芯体に所要本数の蒸発用金属線を、該蒸発用金
属線よりも高融点の金属による区画線と共に巻線
し、その巻線上に融点2500℃以上の金属線による
ガードを巻線してなることにある。
℃以上の複数本の金属線を撚線して芯体とし、そ
の芯体に所要本数の蒸発用金属線を、該蒸発用金
属線よりも高融点の金属による区画線と共に巻線
し、その巻線上に融点2500℃以上の金属線による
ガードを巻線してなることにある。
上記芯体、ガード及び蒸発用金属線間の区画金
属線としては、タングステン、モリブデン、タン
タルなどの金属を用いることができる。
属線としては、タングステン、モリブデン、タン
タルなどの金属を用いることができる。
上記芯体となるタングステン線の線径は、0.8
〜1.0φm／ｍの範囲が好ましく、その２本または
３本を、２〜14m／ｍの寸法内に３山のピツチに
て撚線している。
〜1.0φm／ｍの範囲が好ましく、その２本または
３本を、２〜14m／ｍの寸法内に３山のピツチに
て撚線している。
また蒸発用金属として上記芯体に巻線される金
属、とえば金、銀、銅、ニツケル、アルミニウム
などによる金属線の線径は、0.8〜1.2φm／ｍの
範囲が好ましく、線径0.8〜1.2φm／ｍの区画金
属線と共に、12〜15m／ｍの寸法内にて、蒸発用
金属線は６山、区画金属線は１山の割合にて巻線
し、外径2.8〜2.6φm／ｍの金属蒸発線を形成し
ている。
属、とえば金、銀、銅、ニツケル、アルミニウム
などによる金属線の線径は、0.8〜1.2φm／ｍの
範囲が好ましく、線径0.8〜1.2φm／ｍの区画金
属線と共に、12〜15m／ｍの寸法内にて、蒸発用
金属線は６山、区画金属線は１山の割合にて巻線
し、外径2.8〜2.6φm／ｍの金属蒸発線を形成し
ている。
更にまたガードとして巻線される金属線の線径
は、0.3〜0.4φm／ｍの範囲が好ましく、巻線は
１ピツチ2.0〜4.0ｍ／ｍが好ましい。
は、0.3〜0.4φm／ｍの範囲が好ましく、巻線は
１ピツチ2.0〜4.0ｍ／ｍが好ましい。
［作用］
上記構成からなる金属蒸発線では、真空装置内
において、所要の電力を芯体に通電すると、芯体
が加熱して蒸発用金属線が溶融し蒸発する。
において、所要の電力を芯体に通電すると、芯体
が加熱して蒸発用金属線が溶融し蒸発する。
また各蒸発用金属線は、溶融によつてその形態
を失い、相互に溶け合うが、その溶け合いは一定
間隔ごとに存する区画金属線によつて全体には及
ばず、区画金属線がないときに比べて、溶融金属
の垂れは生じ難くなる。
を失い、相互に溶け合うが、その溶け合いは一定
間隔ごとに存する区画金属線によつて全体には及
ばず、区画金属線がないときに比べて、溶融金属
の垂れは生じ難くなる。
更にまた溶融金属が流動し始めた際には、上記
ガードによつて下方への流動が阻止され、溶融金
属が蒸発線から水滴状にたれ落ちる水たれ現象が
生じ難くなる。
ガードによつて下方への流動が阻止され、溶融金
属が蒸発線から水滴状にたれ落ちる水たれ現象が
生じ難くなる。
この結果、蒸発用金属の装荷量を増すことがで
き、また蒸発効果も一段と向上する。
き、また蒸発効果も一段と向上する。
この発明を図面に示す１実施例により更に詳説
する。
する。
［実施例］
図中１は芯体、２は蒸発用金属、３は区画金属
線、４はガードである。
線、４はガードである。
上記芯体１は、1.0φm／ｍの２本のタングステ
ン線１ａ，１ａを、12m／ｍの長さl1範囲に３山
の割合で撚線して形成したものからなり、その芯
体１の周囲に、1.0φm／ｍの３本のニツケルの蒸
発用金属線２，２，２，と、0.5φm／ｍの１本の
モリブデンによる区画金属線３とを、12m／ｍの
長さl2範囲に区画金属線３を含めて７山の割合で
巻線し、外径が2.1φm／ｍとなつた蒸発線に、更
に0.4φm／ｍのタングステン線をガード４として
2m／ｍピツチl3にて巻線したものからなる。
ン線１ａ，１ａを、12m／ｍの長さl1範囲に３山
の割合で撚線して形成したものからなり、その芯
体１の周囲に、1.0φm／ｍの３本のニツケルの蒸
発用金属線２，２，２，と、0.5φm／ｍの１本の
モリブデンによる区画金属線３とを、12m／ｍの
長さl2範囲に区画金属線３を含めて７山の割合で
巻線し、外径が2.1φm／ｍとなつた蒸発線に、更
に0.4φm／ｍのタングステン線をガード４として
2m／ｍピツチl3にて巻線したものからなる。
上記構造の金属蒸発線を、真空蒸着装置にて
10V・200A程度の電気を芯体１に通電して加熱
し、ニツケルの蒸発を行つたところ、通電中に芯
体１が断線するようなことがなく、また水たれ現
象も発生せず、ニツケル装荷量のほぼ80％が蒸発
した。
10V・200A程度の電気を芯体１に通電して加熱
し、ニツケルの蒸発を行つたところ、通電中に芯
体１が断線するようなことがなく、また水たれ現
象も発生せず、ニツケル装荷量のほぼ80％が蒸発
した。
比較検討のため、線径0.8〜0.9φm／ｍの１本
のタングステン線にニツケル線とモリブデン線と
を実施例と同様に巻線してガードなしのニツケル
蒸発線を作成し、通電により蒸発を試みたとこ
ろ、蒸発中に断線が生じ、ニツケル蒸発量は装荷
量の１％にも満なかつた。
のタングステン線にニツケル線とモリブデン線と
を実施例と同様に巻線してガードなしのニツケル
蒸発線を作成し、通電により蒸発を試みたとこ
ろ、蒸発中に断線が生じ、ニツケル蒸発量は装荷
量の１％にも満なかつた。
［発明の効果］
この発明は上述のように、撚線による芯体によ
つて通電加熱時の断線が防止され、また区画金属
線により蒸発金属線の全体的な溶け合いが阻止さ
れ、更にガードによつて溶融金属の水たれ現象が
防止される結果、蒸着金属の装荷量を増加し得る
とともに、蒸発効率が向上し、未蒸発金属として
廃棄される量はきわめて少量となるなどの効果を
有する。また全体が１本の線体からなるため、装
置へのセツトも容易であり、低コストで全体的に
各金属の重量バランスもよく、従来のものに比べ
て使用し易いなどの特長を有する。
つて通電加熱時の断線が防止され、また区画金属
線により蒸発金属線の全体的な溶け合いが阻止さ
れ、更にガードによつて溶融金属の水たれ現象が
防止される結果、蒸着金属の装荷量を増加し得る
とともに、蒸発効率が向上し、未蒸発金属として
廃棄される量はきわめて少量となるなどの効果を
有する。また全体が１本の線体からなるため、装
置へのセツトも容易であり、低コストで全体的に
各金属の重量バランスもよく、従来のものに比べ
て使用し易いなどの特長を有する。
図面はこの発明に係る金属蒸発線の構成を例示
するもので、第１図は一部を切除した正面図、第
２図はその拡大断面図である。 １……芯体、２……蒸発用金属線、３……区画
金属線、４……ガード。
するもので、第１図は一部を切除した正面図、第
２図はその拡大断面図である。 １……芯体、２……蒸発用金属線、３……区画
金属線、４……ガード。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 融点2500℃以上の複数本の金属線を撚線して
芯体とし、その芯体に所要本数の蒸発用金属線
を、該蒸発用金属線よりも高融点の金属による区
画線と共に巻線し、その巻線上に融点2500℃以上
の金属線によるガードを巻線してなることを特徴
とする金属蒸発線。 ２ 上記芯体及びガードはタングステン、モリブ
デン、タンタルなどの金属線からなる特許請求の
範囲第１項記載の金属蒸発線。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18209984A JPH0243823B2 (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | Kinzokujohatsusen |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18209984A JPH0243823B2 (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | Kinzokujohatsusen |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6160879A JPS6160879A (ja) | 1986-03-28 |
| JPH0243823B2 true JPH0243823B2 (ja) | 1990-10-01 |
Family
ID=16112325
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18209984A Expired - Lifetime JPH0243823B2 (ja) | 1984-08-31 | 1984-08-31 | Kinzokujohatsusen |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0243823B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0417886U (ja) * | 1990-06-01 | 1992-02-14 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4969281B2 (ja) * | 2007-03-26 | 2012-07-04 | Ｃｏｓｍｏ・Ａ株式会社 | 真空蒸着用加熱装置の使用方法 |
| WO2016024361A1 (ja) * | 2014-08-14 | 2016-02-18 | 株式会社ユーテック | フィラメント電極、プラズマｃｖｄ装置及び磁気記録媒体の製造方法 |
-
1984
- 1984-08-31 JP JP18209984A patent/JPH0243823B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0417886U (ja) * | 1990-06-01 | 1992-02-14 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6160879A (ja) | 1986-03-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |