JPH0243919B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0243919B2
JPH0243919B2 JP58017618A JP1761883A JPH0243919B2 JP H0243919 B2 JPH0243919 B2 JP H0243919B2 JP 58017618 A JP58017618 A JP 58017618A JP 1761883 A JP1761883 A JP 1761883A JP H0243919 B2 JPH0243919 B2 JP H0243919B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chamber
diaphragm
piston
valve
cylinder chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP58017618A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS59145381A (ja
Inventor
Hisashi Sugimoto
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Asahi Sunac Corp
Original Assignee
Asahi Okuma Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Okuma Industrial Co Ltd filed Critical Asahi Okuma Industrial Co Ltd
Priority to JP58017618A priority Critical patent/JPS59145381A/ja
Publication of JPS59145381A publication Critical patent/JPS59145381A/ja
Publication of JPH0243919B2 publication Critical patent/JPH0243919B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/06Pumps having fluid drive
    • F04B43/067Pumps having fluid drive the fluid being actuated directly by a piston

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は例えばエアレス塗装機の塗料の圧送等
に好適するダイヤフラムポンプによる流体圧送装
置に関する。
例えば塗装機による塗料作業中においては、ス
プレイの断続或いは中断は不可欠であり、また、
スプレイ中の圧力変動は霧化状態の悪化につなが
るため回避しなければならない。一方、塗料の圧
送に用いるダイヤフラムポンプの駆動源としては
電動機を用いるのが一般的であるが、塗装作業中
のスプレイの断続に応じてその都度電動機の運
転・停止を行うと、スイツチの開閉が非常に多く
なつてスイツチを早期に損傷したり、電動機に頻
繁に起動電流が流れるため過熱したり、更には圧
送圧力の変動をも生じ実用上不具合を生ずる。そ
こで、スプレイの中断時にも電動機を連続運転し
て上記不具合点の解消を図ることが従来より行わ
れており、一例として特公昭51−15601号(米国
特許第3680981号)が公知として知られている。
このものは、ダイヤフラムポンプと電動機によつ
て往復動されるピストンとの間に作動油を介在
し、スプレイが中断されてダイヤフラムポンプの
ダイヤフラムの変位が拘束された時に余剰の作動
油をリリーフ弁から逃がして電動機の過負荷及び
油圧の過上昇を防止し、以つてスプレイの中断時
にも電動機の連続運転を可能としたものである。
この方式において、塗料のスプレイ中はダイヤフ
ラムがピストンの往復動に呼応して変位し、塗料
を吸入して圧送するという仕事を出力するので、
電動機からの入力がほとんど塗料の圧送に消費さ
れ、内部機構に何ら無理が生じなく技術上特に困
難なことは生じない。
しかし、スプレーが中断されてダイヤフラムが
ロツクされると、ピストンとダイヤフラムとの間
に作動油を貯えた油圧室の容積変化率が最大とな
り、油圧室の容積が減少する時に油圧室内の作動
油がリリーフバルブを介してタンクに戻り、油圧
室の容積が増加する時にタンクから油圧室に作動
油を吸入するようになる。この場合、ピストンの
仕事はダイヤフラムポンプには出力されず、ピス
トンにより高圧力に圧縮された高圧の作動油をリ
リーフバルブとオリフイスとの間の狭い隙間を摩
擦抵抗に打ち勝つて排出するという形になつて内
部で消費され、従つて、電動機から与えられた入
力は熱に転化して油温の上昇となつて表われる。
ところが、ダイヤフラムは樹脂(ナイロン)を使
用するのが一般的で、その経済性、耐久性、強度
からも望ましい材料であるが、熱に弱い欠点があ
り、従つて、油温の上昇はダイヤフラムの耐久性
を著しく低下させることとなる。そこで、上記し
た特公昭51−15601号に示されたものは、ピスト
ンの吸入行程で油圧室内の作動油を負圧にして気
泡を発生させ、油圧室内に吸入する作動油の絶対
量を減少させることにより、リリーフバルブを通
過する油の量を減少させて作動油の温度上昇を抑
えるようにしたものである。しかし、ピストンの
吸入行程で作動油に負圧を生じさせて気泡を発生
させるようなことは油圧機器使用上の一般常識か
ら外れてポンプの効率を単に低下させているにす
ぎず、従つて、スプレイ中断時の作動油の循環量
(リリーフバルブから排出される作動油の量)を
抑えて負荷の減少を得たとしても、逆にスプレイ
中にダイヤフラムポンプに与え得る仕事量も減少
してしまつており、全体として効率が著しく低い
ものである。また、上記公報中には気泡の発生
(キヤビテーシヨンの発生)により気化熱を奪い
作動油の冷却を図る等の効果が記載されている
が、これも単に減圧時の作用のみとらえて圧縮行
程の時に気泡が凝縮する際の発熱を無視した一方
的な主張で、吸入・圧縮の全体を見渡すと何ら冷
却効果がなく単にキヤビテイシヨンによる幣害だ
けが残ることとなり、要するにスプレイの中断時
に電動機を連続運転可能とはしているが、効率が
低く、キヤビテイシヨンによる幣害で著しく寿命
が小さいという欠点を有している。
本発明は上記した事情に鑑みてなされたもので
あり、その目的は、全体の効率を著しく向上し得
るとともにダイヤフラムの変位がロツクされた時
の負荷を最小限とし油温の上昇を極力低くなし得
るようにしたダイヤフラムポンプによる流体圧送
装置を提供するにある。
以下本発明の一実施例について図面を参照しな
がら説明する。1は駆動用のモータで、これの回
転軸2側の端面にケーシング3がシール4を介し
て固着されている。そして、回転軸2先端には偏
心軸部2aが設けられ、該偏心軸部2aの外周部
にローラフオロアー5が装着されている。6,6
はローラフオロアー5を挾むように偏心軸部2a
に固着されたバランサーであり、ケーシング3に
は回転軸2を被うタンク室7が設けられている。
8はタンク室7底部のドレン口8aを閉塞するド
レンプラグ、9はタンク室7上面の供給口9aに
着脱可能に装着した栓である。10はタンク室7
に連通する水平な連通孔で、該連通孔10内に筒
状のシリンダ11が嵌合され、ナツト12にて固
着されている。13はシリンダ11内に左右に摺
動移動可能に設けたピストンで、これは右端に雌
ねじ部14aを有する第1のピストン14と左端
に雄ねじ部15aを有する第2のピストン15と
を、雄ねじ部15aを雌ねじ部14aにねじ込む
ことにより一体化されたもので、第2のピストン
15の右端外周部に環状のばね受部15bが突設
されて、該ばね受部15bとナツト12との間に
ピストン13を下方に付勢するための圧縮コイル
ばね16が配設されており、従つて、ピストン1
3は圧縮コイルばね16のばね力によつて第2の
ピストン15の右端面が常にローラフオロアー5
の外周部に接触している。17は第1のピストン
14と第2のピストン15を貫通して形成された
吸入路で、これの途中の弁室17a内にボール1
8及び圧縮コイルばね19からなる吸入弁20が
収納されている。21は連通孔10の左端開口を
閉塞する閉塞部材で、これとピストン13とによ
りシリンダ室22が形成されている。23はシリ
ンダ室22に連通するようにケーシング3に形成
された上面が開放する段付孔で、これを閉塞する
ようにダイヤフラム24を挾んでサブケーシング
25がケーシング3上面に装着されている。そし
て、段付孔23内の大径部にはダイヤフラム24
を受ける受部材26が配設され、該受部材26に
は中央部に上下に貫通する貫通孔26aが穿設さ
れるとともに該貫通孔26aの周囲に同じく上下
に貫通する複数個の通油孔26bが穿設されてい
る。27はダイヤフラム24の中央部下面から貫
通孔26aを介して下方に突設された軸部で、こ
れの外周囲にダイヤフラム24を下方に付勢する
ための圧縮コイルばね28が挿入されていて、そ
の圧縮コイルばね28の下端は軸部27の下端に
ねじ込んだナツト29に当接され、該圧縮コイル
ばね28の上端は受部材26の下面に当接されて
いる。一方、サブケーシング25にはダイヤフラ
ム24と連通する縦孔30が設けられて、該縦孔
30に吸入口体31がねじ込み固定されており、
この吸入口体31とダイヤフラム24との間をポ
ンプ室32としている。一方、吸入口体31内に
は第1図に示すように圧縮コイルばね33によつ
て弁座34に当接されるフート弁35が配設され
ている。36はサブケーシング25の側面にねじ
込み連結された塗料吐出用のエルボで、これは通
路37を介してポンプ室32に連通している。3
8は通路37の途中に介在されたチエツクバルブ
で、これのチエツクボール39を押圧する圧縮コ
イルばね40の上端はサブケーシング25にねじ
込んだプラグ41によつて支持されている。42
はリリーフ弁で、リリーフ通路43を介してシリ
ンダ室22に連通しているが、詳細には第4図に
示すようにケーシング3の外側面からねじ込まれ
た筒状体44と、この筒状体44先端の弁座44
aに接する弁体45と、この弁体45を弁座44
a方向に付勢する圧縮コイルばね46と、筒状体
44の突出端に螺進退可能に設けられて圧縮コイ
ルばね46の弾発力を加減する調整摘み47とか
らなる。48は連通孔10の下方にこれと平行に
穿設された段付形状の横孔で、内部にシリンダ4
9が配設され、一側端が閉塞部材50により閉塞
されているとともに他側端の小径部48aがタン
ク室7に連通されている。51はシリンダ49内
及び小径部48aを介してシリンダ室22とタン
ク室7間を連通するバイパス路であり、シリンダ
49の中央部に横孔49aが設けられて、バイパ
ス路51の一端とシリンダ49内が連通されてい
る。52はシリンダ49内に水平移動可能に設け
たパイロツトバルブで、外周に環状凹部からなる
油路53が形成されているとともに該油路53と
左端面とを連通する逃げ孔52aが形成されてお
り、パイロツトスプリング54により矢印A方向
に付勢されて通常は左端の小径部52bが閉塞部
材50に当接状態を呈しており、この状態で油路
53は横孔49aよりも左側に位置されて該横孔
49aがパイロツトバルブ52の外周部にて閉塞
されている。49b及び49cはシリンダ49に
小径部52bと対向するように穿設された横孔
で、一方の横孔49bはリリーフ通路55を介し
てリリーフ弁42内に配設された筒状体44の横
孔44bに連通している。56は横孔48と隣接
させてこれと平行に形成された段付形状の横孔
で、内部に筒部材57が配設され、一側端が筒状
部58aを有する閉塞部材58にて閉塞され、他
側端の小径部56aがタンク室7に連通されてい
る。59は閉塞部材58の筒状部58a内に摺動
移動可能に配設されたブリーザ弁で、これの右側
の端部に、筒部材57の内径より若干径小の小径
部59aが形成され、且つ該ブリーザ弁59の中
心線に沿つて逃げ孔59bが穿設されている。6
0は筒状部58a内に配設されたコイルばねで、
これによりブリーザ弁59が矢印B方向に付勢さ
れている。一方、閉塞部材58の筒状部58aの
側壁には横孔58b,58bが穿設されて筒部材
57の小径部57aの先端近傍に連通しており、
横孔58bと横孔49c間が連通孔61にて連通
されており、該連通孔61及び筒部材57内並び
に小径部56aにてタンク室7に通じるリリーフ
通路62を構成している。尚、63〜69は夫々
シール用のOリング、70は通路37内のエアを
抜くためのエア抜きバルブである。
次に上記構成の作用につき説明するに、まず、
スプレーガンの引金が引かれて塗料がエルボ36
から吐出される状態の時について述べる。モータ
1が通電されて回転軸2が回転されると、偏心軸
部2aに設けられたローラフオロアー5を介して
ピストン13が圧縮コイルばね16との協働によ
り矢印C方向及び矢印D方向に往復移動される。
そして、ピストン13が矢印C方向に移動されて
シリンダ室22内の容積が減少すると、該シリン
ダ室22内の作動油71が段付孔23及び受部材
26の通油孔26bを介してダイヤフラム24の
下面に流入して該ダイヤフラム24を圧縮コイル
ばね28に抗して上方に押し上げるようになり、
ポンプ室32内の塗料72がチエツクバルブ38
のチエツクボール39を圧縮コイルばね40に抗
して押上げ開放してエルボ36に向けて吐出圧送
される。次にピストン13が矢印D方向に移動さ
れてシリンダ室22内の容積が増加するからダイ
ヤフラム24の下面の作動油が通油孔26bを介
してシリンダ室22に戻るとともにダイヤフラム
24が圧縮コイルばね28の付勢力で下降する。
そして、ダイヤフラム24の下降に応じてポンプ
室32の容積が増大し、内部の塗料72の圧力が
負となるから、フート弁35が圧縮コイルばね3
3に抗して下降して弁座34から離間し、吸入口
体31からの塗料72をポンプ室32内に吸入す
る。そして、このようにしてピストン25の往復
動にともなつてダイヤフラム24が上下動し、ポ
ンプ室32の内容積が増減されるから、吸入口体
31から塗料72が吸入されエルボ36に向けて
圧送され、以つてスプレイガンからは霧状の塗料
が噴霧される。この状態のとき、パイロツトバル
ブ52は第5図及び第6図に示す元位置に位置し
てバイパス路51を閉塞しているからシリンダ室
22内の作動油71はタンク室7に流出しない。
そして、ピストン13が矢印C方向に最大に移動
して上死点に到達してもシリンダ室22内の作動
油71の圧力がリリーフ弁42の開放設定圧以上
にならなければ、リリーフ弁42は開放されず、
リリーフ通路43から作動油71の漏れがないか
ら、シリンダ室22内の作動油71はピストン1
3とシリンダ11との間の摺動面の隙間からごく
微量に漏れるだけにすぎず、このような漏れによ
り減少した作動油71はピストン13の矢印D方
向へのストローク(移動時)の終期近くに吸入路
17及び吸入弁20を介してタンク室7から補充
される。
次に、スプレイガンからの塗料の噴霧が中断さ
れた場合の動作について説明する。即ち、ピスト
ン13が矢印C方向に移動する時に、ポンプ室3
2内の塗料72がエルボ36から吐出されないか
ら、ダイヤフラム24の上昇はポンプ室32内の
塗料72により拘束された状態となる。従つて、
シリンダ室22内の作動油71の圧力はピストン
13が矢印C方向に移動されて該シリンダ室22
の内容積の減少に逆比例して上昇し、若干のスト
ロークでその圧力がリリーフ弁42の設定作動圧
(例えば150Kg/cm2)を超え、弁体45が圧縮コイ
ルばね46に抗して矢印E方向に移動して開放す
る。すると、シリンダ室22からの余剰の作動油
71がリリーフ通路43,55を介して横孔49
bからシリンダ49内に流入し、リリーフ通路5
5、小径部53cと対応するシリンダ49内及び
連通孔61内に充満する作動油71を加圧するか
ら、その圧力がパイロツトバルブ52の左側径大
端面及びブリーザ弁59の右側径大端面に夫々作
動する。すると、リリーフ弁42が開放された時
に瞬時的にパイロツトバルブ52がパイロツトス
プリング54に抗して反矢印A方向移動し、油路
53が横孔49b,49cを介してバイパス路5
1に連通する状態となるから、シリンダ室22内
の作動油71がバイパス路51、油路53、逃げ
孔52b及び小径部48aを介してタンク室7に
排出されるようになり、シリンダ室22の内圧は
急激に下降して略大気圧に等しくなる。一方、リ
リーフ弁42の開放にともなつてリリーフ通路4
3内の圧力が上昇した時に、パイロツトバルブ5
3が反矢印A方向に移動することによりシリンダ
49の左端部に生ずる容積増加を越えてリリーフ
通路43からリリーフ通路55に作動油71が流
入する時には、更に該リリーフ通路55内の圧力
が上昇し、これによつてブリーザ弁59がコイル
ばね60に抗して反矢印B方向に移動して筒部材
57の小径部57aの開口面積を拡大するように
作用してリリーフ通路62を介して予剰の作動油
72をタンク室7内に排出する。次に、ピストン
13が上死点を越えて矢印D方向へ移動するよう
になつてリリーフ通路55内への作動油71の供
給がなくなると、リリーフ通路55内の作動油7
1がブリーザ弁59の小径部59aと筒部材57
の小径部57aとの間の隙間を通してタンク室7
に徐々に戻されるから、パイロツトバルブ53が
パイロツトスプリング54のばね力で第5図及び
第6図に示す元位置に戻される。そして、ピスト
ン13の矢印D方向への移動にともなつてシリン
ダ室22の内容積が増加するから、リリーフ通路
55,62及びバイパス路51を介してタンク室
7に排出された量に見合う作動油71が吸入路1
7及び吸入弁20を介してタンク室7からシリン
ダ室22内に補充される。
このようにエルボ36から塗料72の吐出が行
われない時のピストン13の移動とシリンダ室2
2内の圧力の関係は第7図a及びcに示す関係と
なる。即ち、ピストン13の矢印C方向への移動
時の初期にシリンダ室22内の圧力は短時間リリ
ーフ弁42の設定圧となるが、その後(第7図に
時刻tで示す時に)上述したようにパイロツトバ
ルブ52が反矢印A方向に移動してバイパス路5
1を開放状態にするから、該シリンダ室22内の
圧力は略大気圧に近くなる。即ち、スプレイが中
断された時シリンダ室22が高圧となる時間は短
時間で、モータ1に作用する負荷としてもシリン
ダ室22が高圧となる短時間のみであるから、モ
ータ1を著しく軽負荷で運転できる。例えば、エ
ルボ36から塗料72が吐出されない時はダイヤ
フラム24の変位がロツクされているから、ピス
トン13の矢印C方向移動に応じてシリンダ室2
2内の作動油71を外部に放出しなければならな
い。即ち、例えばバイパス路51及びパイロツト
バルブ52が存在しないと仮定すると、シリンダ
室22内の圧力はピストン13の上昇行程の略全
域で第7図bに示すようにリリーフ弁42の設定
圧(例えば150Kg/cm2)となる。そして、第7図
b,cを比較した場合、ピストン13の矢印C方
向移動にともなうシリンダ室22の容積の減少は
パイロツトバルブ52が開放する本実施例の場合
も、バイパス路51及びパイロツトバルブ52が
存在しないと仮定した場合も同じで、略同量の作
動油71がシリンダ室22から外部に送り出さ
れ、モータ1はシリンダ室22から同量の作動油
71を送り出す仕事をすることとなるが、本実施
例の場合は、略大気圧の作動油71を送り出す仕
事をしているのに対して、バイパス路51及びパ
イロツトバルブ52が存在しない場合には、リリ
ーフ弁42の設定圧(例えば150Kg/cm2)の圧油
を送り出す仕事をすることとなつて、本実施例の
場合のモータ1の仕事量は約1/150で済む。そし
て、このようにしてモータ1から作動油71に与
えられた仕事は熱エネルギーに転化されるが、本
実施例では、仕事量が低下するから、その分油温
の上昇も低く抑えることができる。
また、吸入弁20の圧縮コイルばね19は必要
最小限のばね力に設定されており、従つてピスト
ン13が矢印D方向移動してシリンダ室22の容
積が増大する過程においてシリンダ室22内の作
動油71の圧力減少は極力小さなものとなりキヤ
ビテイシヨンを生ずる虞れは全くない。
本発明は以上の説明から明らかなように、全体
の効率を著しく向上し得るとともにダイヤフラム
の変位がロツクされた時の負荷を最小限にして油
温の上昇を極力抑制し得るという優れた効果を奏
するダイヤフラムポンプによる流体圧送装置を提
供できる。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の一実施例を示すものであり、第
1図は全体の縦断面図、第2図は側面図、第3図
は第1図の―線に沿う断面図、第4図はチエ
ツクバルブ部分を示す縦断面図、第5図は第2図
の―線に沿う断面図、第6図は第2図の―
線に沿う断面図、第7図は作用説明図である。 図面中、1はモータ、7はタンク室、13はピ
ストン、17は吸入路、20は吸入弁、22はシ
リンダ室、24はダイヤフラム、32はポンプ
室、42はリリーフ弁、43はリリーフ通路、5
1はバイパス路、52はパイロツトバルブ、55
はリリーフ通路、59はブリーザ弁、62はリリ
ーフ通路である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 ダイヤフラムを一面に有し該ダイヤフラムの
    変位に応じて被圧送液を吸入及び吐出するポンプ
    室と、前記ダイヤフラムの他面に連通するととも
    に駆動源により往復動されるピストンを有し内部
    に作動液が充満されたシリンダ室と、前記シリン
    ダ室の内圧が設定値を超えた時に開放して該シリ
    ンダ室内の作動液をタンク室に戻すリリーフ弁を
    有するリリーフ通路と、前記シリンダ室とタンク
    室を連通するバイパス路と、このバイパス路中に
    常には閉塞するように設けられ前記リリーフ弁が
    開放されて前記シリンダ室からの作動液が流出し
    た時に該バイパス路を開放させるパイロツト弁と
    を具備してなるダイヤフラムポンプによる液体圧
    送装置。
JP58017618A 1983-02-04 1983-02-04 ダイヤフラムポンプによる流体圧送装置 Granted JPS59145381A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58017618A JPS59145381A (ja) 1983-02-04 1983-02-04 ダイヤフラムポンプによる流体圧送装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58017618A JPS59145381A (ja) 1983-02-04 1983-02-04 ダイヤフラムポンプによる流体圧送装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS59145381A JPS59145381A (ja) 1984-08-20
JPH0243919B2 true JPH0243919B2 (ja) 1990-10-02

Family

ID=11948860

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58017618A Granted JPS59145381A (ja) 1983-02-04 1983-02-04 ダイヤフラムポンプによる流体圧送装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS59145381A (ja)

Also Published As

Publication number Publication date
JPS59145381A (ja) 1984-08-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4030857A (en) Paint pump for airless spray guns
US4365745A (en) Diaphragm pump
USRE29055E (en) Pump and method of driving same
US3953154A (en) Pressure control and unloader valve
US4161308A (en) Switching valve assembly for fluid motor-driven injector pump
GB1512907A (en) Diaphragm pump alone or in combination with a spray gun
US3495544A (en) Hydraulic system
US5655885A (en) Reciprocating piston pump with modular fluid subassembly
US6371733B1 (en) Pump with hydraulic load sensor and controller
GB1404691A (en) Air operated hydraulic pump
US4149831A (en) Double-acting differential piston supply pump
US5984646A (en) Hydraulic motor for use with airless paint sprayer system
SU1758285A1 (ru) Способ нагнетани жидкости поршневым насосом и поршневой насос
US3834837A (en) Air compressor with governor
US4353684A (en) Pressure limiting device
JPH0243919B2 (ja)
JPH023808Y2 (ja)
US2485752A (en) Surge-compensated liquid pump
US4188170A (en) Diaphragm pump
US3240152A (en) Valve apparatus
JPH0243918B2 (ja)
GB1462145A (en) High-pressure plunger pumps
JPS60162086A (ja) ダイヤフラムポンプによる流体圧送装置
US5314315A (en) Hydraulic pump output pressure compensation system
JPS5963383A (ja) ダイヤフラムポンプによる流体圧送装置