JPH0243979A - 物品洗浄装置 - Google Patents
物品洗浄装置Info
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- JPH0243979A JPH0243979A JP19506488A JP19506488A JPH0243979A JP H0243979 A JPH0243979 A JP H0243979A JP 19506488 A JP19506488 A JP 19506488A JP 19506488 A JP19506488 A JP 19506488A JP H0243979 A JPH0243979 A JP H0243979A
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- 238000005406 washing Methods 0.000 title claims description 22
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 72
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 25
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 17
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 16
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 15
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 11
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 10
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 9
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 5
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- AJDIZQLSFPQPEY-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-Trichlorotrifluoroethane Chemical compound FC(F)(Cl)C(F)(Cl)Cl AJDIZQLSFPQPEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 3
- 238000011086 high cleaning Methods 0.000 description 3
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000013020 steam cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は物品洗浄装置に係り、特にフロン等のような低
沸点溶剤を洗浄液として用いて物品表面に付着した異物
を除去する目的で行われる湿式の物品洗浄装置の改良に
関する。
沸点溶剤を洗浄液として用いて物品表面に付着した異物
を除去する目的で行われる湿式の物品洗浄装置の改良に
関する。
従来の低沸点溶剤を用いて被洗浄物を浸漬洗浄する装置
は、普通数種の洗浄槽を直列に並べ、被洗浄物を各洗浄
槽に浸漬しつつ順次移送し、最後に上記乾燥を経て洗浄
処理を完了するようにしている。第3図はこの種の従来
装置の構成を示している0図示の装置は、沸、騰超音波
洗浄槽1、超音波洗浄槽2、冷却リンス槽3、および蒸
気発生槽4とを直列に隣接配置したものとなっている。
は、普通数種の洗浄槽を直列に並べ、被洗浄物を各洗浄
槽に浸漬しつつ順次移送し、最後に上記乾燥を経て洗浄
処理を完了するようにしている。第3図はこの種の従来
装置の構成を示している0図示の装置は、沸、騰超音波
洗浄槽1、超音波洗浄槽2、冷却リンス槽3、および蒸
気発生槽4とを直列に隣接配置したものとなっている。
前記沸騰超音波洗浄槽1にはヒータ5A、超音波振動子
6Aと、循環ポンプ7Aおよびフィルタ8Aからなる洗
浄液濾過手段が装備され、超音波洗浄槽2には超音波振
動子6Bが装備されている。そして、冷却リンス槽3に
は冷却コイル9Cが取り付けられているとともに、この
冷却リンス槽3はオーバフロー室10を介して前記超音
波洗浄槽2と接続され、かつ、循環ポンプ7Bとフィル
タ8B、8Cからなる循環濾過手段により循環濾過液を
冷却リンス槽3、オーバフロー室10、超音波洗浄槽2
を順次循環されるようになっている。沸騰超音波洗浄槽
1と蒸気発生槽4から発生する溶剤蒸気の消費を低減さ
せるため、槽壁上部には蒸気凝縮用の冷却コイル9A、
9B、9Dが設置されている。
6Aと、循環ポンプ7Aおよびフィルタ8Aからなる洗
浄液濾過手段が装備され、超音波洗浄槽2には超音波振
動子6Bが装備されている。そして、冷却リンス槽3に
は冷却コイル9Cが取り付けられているとともに、この
冷却リンス槽3はオーバフロー室10を介して前記超音
波洗浄槽2と接続され、かつ、循環ポンプ7Bとフィル
タ8B、8Cからなる循環濾過手段により循環濾過液を
冷却リンス槽3、オーバフロー室10、超音波洗浄槽2
を順次循環されるようになっている。沸騰超音波洗浄槽
1と蒸気発生槽4から発生する溶剤蒸気の消費を低減さ
せるため、槽壁上部には蒸気凝縮用の冷却コイル9A、
9B、9Dが設置されている。
このような物品洗浄装置により被洗浄物を洗浄する場合
は、被洗浄物11を搬送アー1.12の先端に設けた把
持具13により掴んで移送するが、まず、付着異物の大
半を除去する目的で沸騰超音波洗浄槽1に浸漬し、溶剤
沸騰液(フロンの場合、約47°C)中で一定時間超音
波を照射する。次に、仕上げ洗浄を目的として超音波洗
浄槽2に移送して浸漬し、同様に超音波を照射する。続
いて最終リンスと被洗浄物11の温度降下のために冷却
リンス槽3に浸漬して充分温度を低下させた後に、槽上
部の蒸気ゾーン14を経て蒸気洗浄させ、そのまま乾燥
させて次工程に移送されるようになっている。
は、被洗浄物11を搬送アー1.12の先端に設けた把
持具13により掴んで移送するが、まず、付着異物の大
半を除去する目的で沸騰超音波洗浄槽1に浸漬し、溶剤
沸騰液(フロンの場合、約47°C)中で一定時間超音
波を照射する。次に、仕上げ洗浄を目的として超音波洗
浄槽2に移送して浸漬し、同様に超音波を照射する。続
いて最終リンスと被洗浄物11の温度降下のために冷却
リンス槽3に浸漬して充分温度を低下させた後に、槽上
部の蒸気ゾーン14を経て蒸気洗浄させ、そのまま乾燥
させて次工程に移送されるようになっている。
(発明が解決しようとする課題)
ところが、上記従来の低沸点溶剤を用いた物品洗浄装置
では、洗浄温度の上限が使用する溶剤によって制限され
、フロン113やメチレンクロライド等の低沸点溶剤を
用いて一貫処理を行う場合、溶剤温度の上昇による洗浄
効果の向上が期待できないため、充分な清浄度が得られ
ないという問題があった。また、清浄度を確保するため
、沸騰超音波洗浄槽を多段に設置して洗浄することも考
えられるが、かかる場合にはスペースが大きくなり、装
置の大型化が免れないという問題もあった。
では、洗浄温度の上限が使用する溶剤によって制限され
、フロン113やメチレンクロライド等の低沸点溶剤を
用いて一貫処理を行う場合、溶剤温度の上昇による洗浄
効果の向上が期待できないため、充分な清浄度が得られ
ないという問題があった。また、清浄度を確保するため
、沸騰超音波洗浄槽を多段に設置して洗浄することも考
えられるが、かかる場合にはスペースが大きくなり、装
置の大型化が免れないという問題もあった。
本発明は、上記従来の問題点に着目し、コンパクトな装
置構成としつつ低沸点溶剤の温度を上げて清浄度を向上
させることのできる物品洗浄装置を捷供することを目的
とするものである。
置構成としつつ低沸点溶剤の温度を上げて清浄度を向上
させることのできる物品洗浄装置を捷供することを目的
とするものである。
[課題を解決するための手段]
上記目的を達成するために、本発明に係る物品洗浄装置
は、被洗浄物が搬入される密閉可能な調圧室と、洗浄液
が加熱循環供給される洗浄槽とを接続して形成し、前記
調圧室と洗浄槽とを密閉分離可能に形成するとともに、
少なくとも調圧室に排気手段と圧気手段とを連結した構
成とした。
は、被洗浄物が搬入される密閉可能な調圧室と、洗浄液
が加熱循環供給される洗浄槽とを接続して形成し、前記
調圧室と洗浄槽とを密閉分離可能に形成するとともに、
少なくとも調圧室に排気手段と圧気手段とを連結した構
成とした。
(作用〕
上記構成によれば、予め圧気状態にある調圧室と洗浄槽
とを遮断して洗浄槽を密閉し、同時に調圧室の内部気体
を排気して外気圧と同しくして被洗浄物を搬入する。そ
の後、調圧室を外部と遮断し、圧気して内圧を高めて洗
浄槽内圧と同じくし、調圧室と洗浄槽との連通を図る。
とを遮断して洗浄槽を密閉し、同時に調圧室の内部気体
を排気して外気圧と同しくして被洗浄物を搬入する。そ
の後、調圧室を外部と遮断し、圧気して内圧を高めて洗
浄槽内圧と同じくし、調圧室と洗浄槽との連通を図る。
これにより洗浄槽内に搬入された被洗浄物を加圧された
洗浄液により洗浄させることができる。
洗浄液により洗浄させることができる。
ところで、フロン113等のような低沸点溶剤の飽和圧
力は、第2図に示されるように、液温度の上昇にしたが
って高くなる。しかもその粘性は温度が高い程小さい。
力は、第2図に示されるように、液温度の上昇にしたが
って高くなる。しかもその粘性は温度が高い程小さい。
このようなことから、本発明に係る物品洗浄装置にて洗
浄液として低沸点溶剤を使用することにより、洗浄槽に
供給される循環洗浄液の加熱温度を高くしても液相を保
たせることができる。これにより被洗浄物を高温・低粘
性の洗浄液により洗浄させ、被洗浄物の形状が複雑であ
っても高い洗浄作用を発揮させることができ、洗浄槽が
小さくても充分高い洗浄効果を得ることができる。
浄液として低沸点溶剤を使用することにより、洗浄槽に
供給される循環洗浄液の加熱温度を高くしても液相を保
たせることができる。これにより被洗浄物を高温・低粘
性の洗浄液により洗浄させ、被洗浄物の形状が複雑であ
っても高い洗浄作用を発揮させることができ、洗浄槽が
小さくても充分高い洗浄効果を得ることができる。
以下に本発明に係る物品洗浄装置の具体的実施例を図面
を参照して詳細に説明する。
を参照して詳細に説明する。
第1図は実施例に係る物品洗浄装置の断面構成図である
。この図に示されるように、当該物品洗浄装置は、本体
中央部に洗浄室を構成する洗浄槽20とその上部の調圧
室22を設けており、前記洗浄槽20内にはフロン11
3等の洗浄液が入れられ、この液中に被洗浄物24を浸
漬するようにしている。洗浄槽20の側壁には超音波振
動子26が取り付けられ、これを起動することで洗浄槽
20内に浸漬された被洗浄′#24を超音波洗浄するよ
うになっている。また、洗浄槽20はオーバフロー式の
槽構造とされ、溢流液を内周壁に設けたグループにて一
旦受け、これを洗浄室外部に設けた加熱槽28に送給す
るようにしている。加熱槽28にはヒータ30と温度セ
ンサ32が備えられ、加熱槽28内の洗浄液を所定温度
まで加熱するようにしている。そして加熱槽28には洗
浄槽20への循環路が設けられ、これに循環ポンプ34
とフィルタ36(36A、36B)を配置し、温度コン
トロールされ、循環濾過した洗浄液を洗浄槽20に還流
させるようにしている。
。この図に示されるように、当該物品洗浄装置は、本体
中央部に洗浄室を構成する洗浄槽20とその上部の調圧
室22を設けており、前記洗浄槽20内にはフロン11
3等の洗浄液が入れられ、この液中に被洗浄物24を浸
漬するようにしている。洗浄槽20の側壁には超音波振
動子26が取り付けられ、これを起動することで洗浄槽
20内に浸漬された被洗浄′#24を超音波洗浄するよ
うになっている。また、洗浄槽20はオーバフロー式の
槽構造とされ、溢流液を内周壁に設けたグループにて一
旦受け、これを洗浄室外部に設けた加熱槽28に送給す
るようにしている。加熱槽28にはヒータ30と温度セ
ンサ32が備えられ、加熱槽28内の洗浄液を所定温度
まで加熱するようにしている。そして加熱槽28には洗
浄槽20への循環路が設けられ、これに循環ポンプ34
とフィルタ36(36A、36B)を配置し、温度コン
トロールされ、循環濾過した洗浄液を洗浄槽20に還流
させるようにしている。
上記洗浄槽20の上部には調圧室22が設けられている
が、これは洗浄槽20の上部入口開口を介して連通され
ている。すなわち、洗浄槽20の上部には調圧室22の
側壁を構成し、被洗浄物24を洗浄室内に導入するため
の導入筒部3日が一体的に立設されている。そして、導
入筒部38の上端入口開口は被洗浄物24の出入口とな
るが、これは一定圧力(例えば、ゲージ圧力1kg/c
+1)に耐えられるスライド扉40によって開閉可能と
され、調圧室22と洗浄槽20からなる洗浄室が密閉遮
断可能となっている。調圧室22内には導入筒部38の
内壁に沿って冷却コイル42が配設され、この冷却コイ
ル42にてフロン蒸気の冷却を行い、蒸気漏洩を防止す
るようにしている。
が、これは洗浄槽20の上部入口開口を介して連通され
ている。すなわち、洗浄槽20の上部には調圧室22の
側壁を構成し、被洗浄物24を洗浄室内に導入するため
の導入筒部3日が一体的に立設されている。そして、導
入筒部38の上端入口開口は被洗浄物24の出入口とな
るが、これは一定圧力(例えば、ゲージ圧力1kg/c
+1)に耐えられるスライド扉40によって開閉可能と
され、調圧室22と洗浄槽20からなる洗浄室が密閉遮
断可能となっている。調圧室22内には導入筒部38の
内壁に沿って冷却コイル42が配設され、この冷却コイ
ル42にてフロン蒸気の冷却を行い、蒸気漏洩を防止す
るようにしている。
このような洗浄室を構成する洗浄槽20と調圧室22と
は更に密閉分離可能に構成されている。
は更に密閉分離可能に構成されている。
すなわち、洗浄槽20内には円板形状の物品保持台46
が昇降ロンド48を介して昇降移動可能に設けられてお
り、この物品保持台46が上昇して洗浄槽20の入口開
口に密着することで調圧室22との間が仕切られ、洗浄
槽20と調圧室22との間で通気が遮断されるようにな
っている。また、上記物品保持台46は仕切り状態で調
圧室22に導入された被洗浄物24を受け、下降移動に
転じて被洗浄物24を洗浄槽20の洗浄液中に浸漬させ
、超音波洗浄が可能な位置まで被洗浄物24を移動させ
る。
が昇降ロンド48を介して昇降移動可能に設けられてお
り、この物品保持台46が上昇して洗浄槽20の入口開
口に密着することで調圧室22との間が仕切られ、洗浄
槽20と調圧室22との間で通気が遮断されるようにな
っている。また、上記物品保持台46は仕切り状態で調
圧室22に導入された被洗浄物24を受け、下降移動に
転じて被洗浄物24を洗浄槽20の洗浄液中に浸漬させ
、超音波洗浄が可能な位置まで被洗浄物24を移動させ
る。
上述のような洗浄室構成において、調圧室22と加熱槽
28を含む洗浄槽20には排気手段と圧気手段が接続さ
れている。まず、調圧室22にはその内部ガスを室外に
排出することができるように、排気弁44が導入筒部3
8の壁面に取り付けられている。そして、調圧室22、
洗浄槽20、および加熱槽28の各々には、コンプレッ
サ50を介して供給される圧縮空気がエアバルブ52(
52A、52B、52C)、インライン用エアフィルタ
54 (54A、54B、54C)により清浄化されて
個別に導入され得るようになっている。したがって、前
記排気弁44の作用と、このコンプレッサ50の起動と
エアバルブ52の開閉操作によって、各室内の圧力調整
ができる。圧力状態を検知するために、調圧室22、洗
浄槽20、および加熱槽28には圧力センサ56が取り
付けられている。
28を含む洗浄槽20には排気手段と圧気手段が接続さ
れている。まず、調圧室22にはその内部ガスを室外に
排出することができるように、排気弁44が導入筒部3
8の壁面に取り付けられている。そして、調圧室22、
洗浄槽20、および加熱槽28の各々には、コンプレッ
サ50を介して供給される圧縮空気がエアバルブ52(
52A、52B、52C)、インライン用エアフィルタ
54 (54A、54B、54C)により清浄化されて
個別に導入され得るようになっている。したがって、前
記排気弁44の作用と、このコンプレッサ50の起動と
エアバルブ52の開閉操作によって、各室内の圧力調整
ができる。圧力状態を検知するために、調圧室22、洗
浄槽20、および加熱槽28には圧力センサ56が取り
付けられている。
上記のような洗浄室構成に加えて、調圧室22を囲繞し
、かつ被洗浄物24の搬入装置を内蔵した大きな空間容
積をもつ容器体5日が設けられている。この容器体58
は洗浄槽20の一方の側部に張り出した搬入側張出部6
0と他方の側部に張り出した搬出側張出部62を存し、
各張出部60.62の底面に搬入扉64、搬出扉66を
設けている。また、各界64.66の下方位置であって
、洗浄槽20の両側部には搬入扉64の下方位置まで被
洗浄物24を搬送する搬入コンベア68と、被洗浄物2
4を搬出扉66を介して受は取り、これを系外に搬出す
る搬出コンベア70が設けられている。一方、容器体5
8の内部には、前記物品保持台46の昇降ロッド48が
中央位置に設けられ、これはロンド先端に設けた回転モ
ータ72によって回転可能とされるとともに、図示しな
い昇降手段により昇降可能となっている。このような昇
降ロンド48を挟んで片側には搬入扉64から被洗浄物
24を受は取り、開かれたスライドrii40から物品
保持台46上、に被洗浄物24を移載する第一搬送装置
74が設けられ、他方には洗浄が完了した被洗浄物24
を物品保持台46から受は取り、搬出扉66を通じて搬
出コンベア70上に移載する第二搬送装置76が設けら
れている。これらの搬送装置74.76は逆U字状のガ
イド78によって案内される移動ロンド80とその下端
に設けられた把持具82を有し、被洗浄物24の移送、
受は渡しをする。
、かつ被洗浄物24の搬入装置を内蔵した大きな空間容
積をもつ容器体5日が設けられている。この容器体58
は洗浄槽20の一方の側部に張り出した搬入側張出部6
0と他方の側部に張り出した搬出側張出部62を存し、
各張出部60.62の底面に搬入扉64、搬出扉66を
設けている。また、各界64.66の下方位置であって
、洗浄槽20の両側部には搬入扉64の下方位置まで被
洗浄物24を搬送する搬入コンベア68と、被洗浄物2
4を搬出扉66を介して受は取り、これを系外に搬出す
る搬出コンベア70が設けられている。一方、容器体5
8の内部には、前記物品保持台46の昇降ロッド48が
中央位置に設けられ、これはロンド先端に設けた回転モ
ータ72によって回転可能とされるとともに、図示しな
い昇降手段により昇降可能となっている。このような昇
降ロンド48を挟んで片側には搬入扉64から被洗浄物
24を受は取り、開かれたスライドrii40から物品
保持台46上、に被洗浄物24を移載する第一搬送装置
74が設けられ、他方には洗浄が完了した被洗浄物24
を物品保持台46から受は取り、搬出扉66を通じて搬
出コンベア70上に移載する第二搬送装置76が設けら
れている。これらの搬送装置74.76は逆U字状のガ
イド78によって案内される移動ロンド80とその下端
に設けられた把持具82を有し、被洗浄物24の移送、
受は渡しをする。
このように構成された物品洗浄装置の作用は次のように
なる。被洗浄物24は搬入コンベア68によって搬出扉
66の直下まで搬送される。ここで第一搬送装置74の
移動ロッド80の先端把持具82によって容器体5日内
に搬入され、洗浄室のスライド扉40の直上位置にて待
機される。次いで、物品保持台46が上昇され洗浄槽2
0と調圧室22とを気密的に区分し、同時に調圧室22
の排気弁44を開放して調圧室22の内部の圧力を容器
体5日内の圧力と同じにする。圧力が等しくなったこと
を圧力センサ56にてl認した後、スライド扉40を開
き、移動ロッド80を下降させて物品保持台46上に被
洗浄物24を置く。移動ロッド80が上昇した後、スラ
イド扉40が閉められ、コンプレッサ50からの圧縮空
気の供給が開始され、調圧室22の内圧が洗浄槽20お
よび加熱槽28を含む循環系と同じ(例えば、ゲージ圧
力1kg/c−d)になるまで高められる。!J1圧室
22の内圧が洗浄槽20と同じくなった段階で、中央の
昇降ロッド48を下降させ、被洗浄物24とこれを載置
している物品保持台46とを洗浄槽20内のフロン等の
低沸点溶剤に浸漬させる。
なる。被洗浄物24は搬入コンベア68によって搬出扉
66の直下まで搬送される。ここで第一搬送装置74の
移動ロッド80の先端把持具82によって容器体5日内
に搬入され、洗浄室のスライド扉40の直上位置にて待
機される。次いで、物品保持台46が上昇され洗浄槽2
0と調圧室22とを気密的に区分し、同時に調圧室22
の排気弁44を開放して調圧室22の内部の圧力を容器
体5日内の圧力と同じにする。圧力が等しくなったこと
を圧力センサ56にてl認した後、スライド扉40を開
き、移動ロッド80を下降させて物品保持台46上に被
洗浄物24を置く。移動ロッド80が上昇した後、スラ
イド扉40が閉められ、コンプレッサ50からの圧縮空
気の供給が開始され、調圧室22の内圧が洗浄槽20お
よび加熱槽28を含む循環系と同じ(例えば、ゲージ圧
力1kg/c−d)になるまで高められる。!J1圧室
22の内圧が洗浄槽20と同じくなった段階で、中央の
昇降ロッド48を下降させ、被洗浄物24とこれを載置
している物品保持台46とを洗浄槽20内のフロン等の
低沸点溶剤に浸漬させる。
フロンに代表される低沸点溶剤は、第2図に示すように
、1 kg/aJ程度圧力を高めれば、60°Cでも液
相を呈し、かつ粘性は更に下がるため、複雑形状をした
物品の洗浄には有効である。被洗浄物24はこの圧力が
高められているため、高温で液相を呈している。このフ
ロンの中で回転モータ72によってゆっくり回転されな
がら被洗浄物24は超音波洗浄される。この後、昇降ロ
ッド48を上昇させることにより、物品保持台46が再
び洗浄槽20と調圧室22とを遮断させる。そして、区
分された調圧室22の排気弁44を開放して調圧室22
の内圧を容器体58の圧力に等しくした後、スライド扉
40を開いて第二搬送装置76の移動ロッド80を下降
させて被洗浄物24を掴み、洗浄室から持ち上げ移動す
る。その後は移動ロッド80をガイド78に沿って移動
させ、搬出扉66から搬出コンベア70上に移載し、次
工程に送られる。
、1 kg/aJ程度圧力を高めれば、60°Cでも液
相を呈し、かつ粘性は更に下がるため、複雑形状をした
物品の洗浄には有効である。被洗浄物24はこの圧力が
高められているため、高温で液相を呈している。このフ
ロンの中で回転モータ72によってゆっくり回転されな
がら被洗浄物24は超音波洗浄される。この後、昇降ロ
ッド48を上昇させることにより、物品保持台46が再
び洗浄槽20と調圧室22とを遮断させる。そして、区
分された調圧室22の排気弁44を開放して調圧室22
の内圧を容器体58の圧力に等しくした後、スライド扉
40を開いて第二搬送装置76の移動ロッド80を下降
させて被洗浄物24を掴み、洗浄室から持ち上げ移動す
る。その後は移動ロッド80をガイド78に沿って移動
させ、搬出扉66から搬出コンベア70上に移載し、次
工程に送られる。
なお、容器体58は天井部に吹き出しファン84、高性
能エアフィルタ86、整流板88を備えた吹き出しユニ
ットが設けられ、循環ダクト90を介して容器体58の
内部空気を循環させ、常に清浄な状態に保つようにして
いる。
能エアフィルタ86、整流板88を備えた吹き出しユニ
ットが設けられ、循環ダクト90を介して容器体58の
内部空気を循環させ、常に清浄な状態に保つようにして
いる。
このような実施例に係る物品洗浄装置によれば、洗浄室
を洗浄槽20と調圧室22とによって構成し、これらを
分離遮断可能に形成したので、洗浄槽20の洗浄液を高
温・低粘性に保持しつつ被洗浄物24の超音波洗浄を行
わせることができる。
を洗浄槽20と調圧室22とによって構成し、これらを
分離遮断可能に形成したので、洗浄槽20の洗浄液を高
温・低粘性に保持しつつ被洗浄物24の超音波洗浄を行
わせることができる。
したがって、複雑形状で高清浄度が要求される電子部品
等の高清浄化が可能となる上に、洗浄槽20を多段に設
ける必要がないために、装置構成のコンパクト化が図れ
る利点もある。
等の高清浄化が可能となる上に、洗浄槽20を多段に設
ける必要がないために、装置構成のコンパクト化が図れ
る利点もある。
なお、上記実施例においては、洗浄液としてフロンの例
を示したが、メチレンクロライドや、フロン113に界
面活性剤やアルコール等を混入した混合溶剤を用いても
よい。また、洗浄槽20は浸漬洗浄槽としているが、部
品形状や要求清浄度によっては加圧高温溶剤をスプレー
して行うスプレー洗浄方式とすることも可能である。
を示したが、メチレンクロライドや、フロン113に界
面活性剤やアルコール等を混入した混合溶剤を用いても
よい。また、洗浄槽20は浸漬洗浄槽としているが、部
品形状や要求清浄度によっては加圧高温溶剤をスプレー
して行うスプレー洗浄方式とすることも可能である。
以上説明したように、本発明によれば、高温・低粘度の
洗浄用溶剤が使用できるため、複雑形状部品に対して、
特に洗浄効果が向上し、かつ洗浄槽を多段にしなくても
高い洗浄効果が得られるという優れた効果がある。
洗浄用溶剤が使用できるため、複雑形状部品に対して、
特に洗浄効果が向上し、かつ洗浄槽を多段にしなくても
高い洗浄効果が得られるという優れた効果がある。
第1図は実施例に係る物品洗浄装置の断面図、第2図は
フロンの蒸気線図、第3図は従来の物品洗浄装置の断面
図である。 20・・・・・・洗浄槽、22・・・・・・調圧室、2
4・・・・・・被洗浄物、26・・・・・・超音波振動
子、28・・・・・・加熱槽、34・・・・・・循環ポ
ンプ、40・・・・・・スライド扉、44・・・・・・
排気弁、46・・・・・・物品保持台、48・・・・・
・昇降ロッド、50・・・・・・コンプレッサ、80・
・・・・・移動ロッド、82・・・・・・把持具。 出願人 日立プラント建設株式会社 第 図 1−”− フ ロ ノ ンjt ン二 (9C) 第 図
フロンの蒸気線図、第3図は従来の物品洗浄装置の断面
図である。 20・・・・・・洗浄槽、22・・・・・・調圧室、2
4・・・・・・被洗浄物、26・・・・・・超音波振動
子、28・・・・・・加熱槽、34・・・・・・循環ポ
ンプ、40・・・・・・スライド扉、44・・・・・・
排気弁、46・・・・・・物品保持台、48・・・・・
・昇降ロッド、50・・・・・・コンプレッサ、80・
・・・・・移動ロッド、82・・・・・・把持具。 出願人 日立プラント建設株式会社 第 図 1−”− フ ロ ノ ンjt ン二 (9C) 第 図
Claims (1)
- (1)、被洗浄物が搬入される密閉可能な調圧室と、洗
浄液が加熱循環供給される洗浄槽とを接続して形成し、
前記調圧室と洗浄槽とを密閉分離可能に形成するととも
に、少なくとも調圧室に排気手段と圧気手段とを連結し
たことを特徴とする物品洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19506488A JPH0243979A (ja) | 1988-08-04 | 1988-08-04 | 物品洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19506488A JPH0243979A (ja) | 1988-08-04 | 1988-08-04 | 物品洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0243979A true JPH0243979A (ja) | 1990-02-14 |
Family
ID=16334956
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19506488A Pending JPH0243979A (ja) | 1988-08-04 | 1988-08-04 | 物品洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0243979A (ja) |
-
1988
- 1988-08-04 JP JP19506488A patent/JPH0243979A/ja active Pending
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