JPH0567380U - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
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- JPH0567380U JPH0567380U JP595192U JP595192U JPH0567380U JP H0567380 U JPH0567380 U JP H0567380U JP 595192 U JP595192 U JP 595192U JP 595192 U JP595192 U JP 595192U JP H0567380 U JPH0567380 U JP H0567380U
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 洗浄液が次槽に混入することを防止する。
【構成】 超音波洗浄槽６，スプレー式洗浄槽10，温浴
洗浄槽12の上面に各々開口部15を設け、この開口部15を
開閉する蓋開閉装置18を設ける。各洗浄槽６，10，12の
内部には、被洗浄物５の昇降台16と洗浄工程後の被洗浄
物５に向けてエアを噴射するエアノズル19を設ける。 【効果】 洗浄工程後に各洗浄槽６，10，12内部におい
てエアノズル19によって水切りすることにより、洗浄工
程時に残留付着する洗浄液８が除去され、次槽への混入
を防止できる。
洗浄槽12の上面に各々開口部15を設け、この開口部15を
開閉する蓋開閉装置18を設ける。各洗浄槽６，10，12の
内部には、被洗浄物５の昇降台16と洗浄工程後の被洗浄
物５に向けてエアを噴射するエアノズル19を設ける。 【効果】 洗浄工程後に各洗浄槽６，10，12内部におい
てエアノズル19によって水切りすることにより、洗浄工
程時に残留付着する洗浄液８が除去され、次槽への混入
を防止できる。
Description
【０００１】
本考案は、各種精密部品、シリコウェハー、プリント回路基板などの被洗浄物 を洗浄する洗浄装置に関する。
【０００２】
従来この種の装置として、実開昭６２−３１９８４号公報には昇降ロッドに懸 吊された被洗浄物を搬送装置の搬送路に沿って配置された複数の洗浄槽に順次搬 送し、各洗浄槽に収容する洗浄液に浸漬して洗浄を行なう洗浄装置が開示されて いる。
【０００３】
前記従来例においては、各洗浄槽に洗浄液を収容し、この洗浄液に被洗浄物を 順次浸漬させて洗浄するものであるが、この種の洗浄液に浸漬させて洗浄を行な う洗浄装置は、洗浄工程の終了した被洗浄物に洗浄液が付着し、次工程となる隣 接する洗浄槽へと搬送する際、微量ではあるが被洗浄物に付着する洗浄液が次槽 内の洗浄液に混入するという問題を有している。このように、前工程の洗浄液が 次槽の洗浄液に混入した場合、例えば、洗浄装置として超音波洗浄槽と複数の水 洗槽とを有し、水溶性洗浄液が収容された超音波洗浄槽で超音波洗を行ない、こ の後、次槽となる水洗槽内の純水によって水洗いを行なうといった各洗浄槽内に 収容する洗浄液の種類や成分が異なる洗浄装置においては、隣接する洗浄槽への 洗浄液の混入によって、洗浄液の濃度や成分が変化してしまい最適な洗浄が行え ないばかりでなく、次槽に被洗浄物を搬送する途中で被洗浄物に付着する洗浄液 が垂れて洗浄機内部が汚れるという不具合を有している。
【０００４】 本考案はこのような課題に基づいて成されたものあり、次槽への洗浄液の混入 を可及的に防止できるとともに、洗浄液が漏出ることを防止することができる洗 浄装置を提供することを目的とする。
【０００５】
本考案は、搬送装置の搬送路に沿って複数の洗浄槽を並設し、この各洗浄槽に 被洗浄物を順次搬送して洗浄液により洗浄する洗浄装置において、前記各洗浄槽 の上面に被洗浄物挿通用の開口部を設け、この開口部を介して前記搬送装置で送 られた被洗浄物を載置して洗浄槽内を昇降させる昇降台を設け、各洗浄槽内の上 部には、昇降台に載置する被洗浄物に向けてエアを噴射する洗浄液水切り用のエ アノズルを設けるともに、前記開口部を開閉する蓋開閉装置を設けたものである 。
【０００６】
本考案は、上記構成により、蓋開閉装置によって開口部が閉塞された密閉状態 で昇降台に載置された被洗浄物を洗浄液により洗浄し、この洗浄工程終了後に、 エアノズルによって被洗浄物に残留付着する洗浄液が除去され、次槽への洗浄液 の混入が防止される。
【０００７】
以下本考案の実施例を添付図面を参照して説明する。
【０００８】 図１及び図２は本考案の一実施例を示し、洗浄機１の一側に搬入台２を設け、 他側に搬出台３を設け、この搬入台２から搬出台３に至る搬送路４に沿って後述 する搬送装置によって被洗浄物５を搬送する。洗浄機１の内部には、搬入側から 底部に超音波振動子６Ａを有し、内部にヒータ７により適宜加温された水溶性洗 浄液８を収容する超音波洗浄槽６，洗浄液８の噴射ノズル９を備え、かつ、内部 に洗浄液８を収容するたスプレー式洗浄槽10，ヒータ11によって適宜温度に加温 された洗浄液８を収容する温浴洗浄槽12および一対の遠赤外線ヒータ13を有する 真空式乾燥槽14を順次並設している。これら各洗浄槽６，10，12及び乾燥槽14は 上面を開口する有底筺型に形成され、その上面の開口部15を介して前記搬送装置 で送られた被洗浄物５を各洗浄槽６，10，12内に設けた昇降台16並びに乾燥槽14 内に設けた受台16Ａに載置し、各洗浄槽６，10，12に搬送された被洗浄物５は昇 降台16を昇降させるエアシリンダなどの図示しない適宜駆動手段によって各洗浄 槽６，10，12の下部まで移送するように構成している。さらに、前記各洗浄槽６ ，10，12及び乾燥槽14には、各々前記開口部15を開閉する蓋体17が軸17Ａを介し て回動可能に取り付けられており、この蓋体17はエアシリンダ18Ａからなる蓋開 閉装置18によって開口部15を開閉するように構成している。また、各洗浄槽６， 10，12内上部には、被洗浄物５に向けてエアを噴射して被洗浄物５の水切りを行 なうエアノズル19が各々配置されている。
【０００９】 前記被洗浄物５を搬送する搬送装置20は、各洗浄槽６，10，12及び乾燥槽14に 沿って架設するガイドレール21と、このガイドレール21に沿って水平方向に往復 動する搬送台22と、この搬送台22に設けられ案内杆23に案内されて垂直方向に昇 降する吊り下げ用ハンガー24とからなり、前記被洗浄物５を収容する洗浄籠25を ハンガー24に懸吊して搬送装置20により洗浄槽６，10，12並びに乾燥槽14に被洗 浄物５を順次搬送するように構成している。
【００１０】 以上のように構成される本考案の作用について説明する。
【００１１】 先ず、洗浄初期状態においては、各槽６，10，12，14の蓋体17は蓋開閉装置18 によって各々の開口部15は開状態となっており、このような状態で被洗浄物５を 収容した洗浄籠25を搬送装置20のハンガー24に吊り下げ、この洗浄籠25をガイド レール21に沿わせて超音波洗浄槽６の上方に搬送した後、搬送装置20の作動によ り洗浄籠25を案内杆23に沿わせて超音波洗浄槽６内の昇降台16上に降下させる。 この後、搬送装置20を駆動し洗浄籠25をハンガー24から離脱させてハンガー23の みを上昇させることによって洗浄籠25を昇降台16上に載置させ、この昇降台16を 降下させて被洗浄物５を超音波洗浄槽６の下方に収容する洗浄液８に浸漬させる とともに、前記蓋開閉装置18によって超音波洗浄槽６の開口部15を閉塞し、超音 波洗浄槽６を密閉した状態で超音波振動子６Ａの励振によって洗浄籠25内の被洗 浄物５を超音波洗浄する。この後、昇降台16を上昇させて被洗浄物５を超音波洗 浄槽６内の上部、すなわち、洗浄液８の収容されていない密閉空間に移送させ、 ここで昇降台16上の被洗浄物５に向けてエアノズル19からエアを噴射し、超音波 洗浄工程時に被洗浄物物５に残留付着する洗浄液８を除去する。このようにして 被洗浄物物５の洗浄及び水切りが終了段階で前記蓋開閉装置18を作動させて開口 部15を開き、搬送装置20の作動により待機状態のハンガー24を洗浄籠25に係止し て洗浄籠25を超音波洗浄槽６の上方に上昇させた後、洗浄籠25を次槽となるスプ レー式洗浄槽10の上方に搬送し、ここで前述した超音波洗浄工程と同様に搬送装 置20の作動により洗浄籠25を昇降台16上に載置した後、その昇降台16を降下させ るとともに、蓋開閉装置18の作動によってスプレー式洗浄槽10の開口部15を閉塞 した状態で洗浄液８に被洗浄物５を浸漬させ、かつ、被洗浄物５に向けて噴射ノ ズル９から洗浄液８を噴射させて被洗浄物５の表面付着物を剥離除去する。そし て、昇降台16を上昇させてエアノズル19から噴射されるエアによって被洗浄物５ に残留付着する洗浄液８を除去する。この後、前記蓋開閉装置18を作動させ蓋体 17を回動して開口部15を開き、搬送装置20の作動により洗浄籠25を次槽となる温 浴洗浄槽12に搬送し、前記各洗浄槽６，10と同様に蓋開閉装置18によって、温浴 洗浄槽12の開口部15を閉塞した状態でヒータ11により適宜温度に加温された洗浄 液８に被洗浄物５を浸漬させて洗浄した後、エアノズル19によって水切りする。 そして、各洗浄槽６，10，12で洗浄及び水切りされた被洗浄物５は、最終槽の乾 燥槽14に搬送され、この乾燥槽14で遠赤外線ヒータ13によって乾燥させて搬出台 ３から搬出する。この場合、乾燥槽14は真空ポンプ26によって減圧され、このよ うに乾燥槽12を減圧することによって低い温度での被洗浄物５の乾燥が可能とな り、被洗浄物５を加温するための時間が短縮されてため、被洗浄物５を効率的に 乾燥させることができるとともに、乾燥工程の前段階となる温浴洗浄槽12でのヒ ータ11による予熱時間も短縮されるため、洗浄，乾燥工程の効率化を図ることで きる。
【００１２】 以上のように、本考案においては、各洗浄槽６，10，12で洗浄液８による洗浄 を終えた直後に各洗浄槽６，10，12内で各々の洗浄工程によって被洗浄物５に残 留付着する洗浄液をエアノズル19によって吹き飛して水切り処理した後、次槽へ と搬送することにより、洗浄液８の次槽への混入を防止し、洗浄度の低下を抑え ることができる。また、エアノズル19による水切り工程時には、蓋開閉装置18に よって、各洗浄槽６，10，12の開口部15を蓋体17で閉塞することにより、エアノ ズル19で吹き飛した洗浄液８が洗浄機１内に飛散することはなく、メンテナンス 性にも優れるものである。
【００１３】 以上、本考案の一実施例を詳述したが、本考案は上記実施例に限定されるもの では無く、本考案の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。例えば、各洗 浄槽の構造やレイアウト及び数などは適宜設定すればよい。また、各洗浄槽の開 口部を開閉する蓋開閉装置は蓋体を回動可能に取り付ける構造に限らず例えば、 シャッター式の蓋体を設け、この蓋体をスライドさせて開口部を開閉する等適宜 設定すればよく、さらに、その駆動手段はシリンダに限らずアクチェータ等各種 機構を用いてもよい。また、搬送装置はチェーンによる搬送など各種タイプのも のを用いてもよい。
【００１４】
本考案は、搬送装置の搬送路に沿って複数の洗浄槽を並設し、この各洗浄槽に 被洗浄物を順次搬送して洗浄液により洗浄する洗浄装置において、前記各洗浄槽 の上面に被洗浄物挿通用の開口部を設け、この開口部を介して前記搬送装置で送 られた被洗浄物を載置して洗浄槽内を昇降させる昇降台を設け、各洗浄槽内の上 部には、昇降台に載置する被洗浄物に向けてエアを噴射する洗浄液水切り用のエ アノズルを設けるともに、前記開口部を開閉する蓋開閉装置を設けたことことに より、次槽への洗浄液の混入を防止できる洗浄装置を提供することができる。
【図１】本考案の一実施例を示す概略説明図である。
【図２】同被洗浄機の断面図である
【符号の説明】 ２ 搬入台 ３ 搬出台 ４ 搬送路 ５ 被洗浄物 ８ 洗浄液 ６ 超音波洗浄槽 10 スプレー式洗浄槽 12 温浴洗浄槽 15 開口部 16 昇降台 18 蓋開閉装置 19 エアノズル 20 搬送装置
Claims (1)
- 【請求項１】搬送装置の搬送路に沿って複数の洗浄槽を
並設し、この各洗浄槽に被洗浄物を順次搬送して洗浄液
により洗浄する洗浄装置において、前記各洗浄槽の上面
に被洗浄物挿通用の開口部を設け、この開口部を介して
前記搬送装置で送られた被洗浄物を載置して洗浄槽内を
昇降させる昇降台を設け、各洗浄槽内の上部には、昇降
台に載置する被洗浄物に向けてエアを噴射する洗浄液水
切り用のエアノズルを設けるともに、前記開口部を開閉
する蓋開閉装置を設けたことを特徴とする洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP595192U JPH0567380U (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP595192U JPH0567380U (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | 洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0567380U true JPH0567380U (ja) | 1993-09-07 |
Family
ID=11625207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP595192U Pending JPH0567380U (ja) | 1992-02-14 | 1992-02-14 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0567380U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100460729B1 (ko) * | 1996-10-09 | 2005-06-16 | 가부시키 가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 반전장치 및 연마장치 |
| WO2015177893A1 (ja) * | 2014-05-21 | 2015-11-26 | 日産自動車株式会社 | 被洗浄物の洗浄方法、および被洗浄物の洗浄装置 |
| CN113634188A (zh) * | 2021-07-30 | 2021-11-12 | 徐州中辉光伏科技有限公司 | 用于石墨舟清洗的精准配液设备 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01120828A (ja) * | 1987-11-04 | 1989-05-12 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体ウエハの自動洗浄装置 |
| JPH0427479A (ja) * | 1990-05-22 | 1992-01-30 | Furuno Electric Co Ltd | 軸受け洗浄装置 |
-
1992
- 1992-02-14 JP JP595192U patent/JPH0567380U/ja active Pending
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| CN113634188B (zh) * | 2021-07-30 | 2023-12-12 | 徐州中辉光伏科技有限公司 | 用于石墨舟清洗的精准配液设备 |
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