JPH0244091A - 単結晶製造炉用不活性ガス回収装置 - Google Patents
単結晶製造炉用不活性ガス回収装置Info
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- JPH0244091A JPH0244091A JP19326888A JP19326888A JPH0244091A JP H0244091 A JPH0244091 A JP H0244091A JP 19326888 A JP19326888 A JP 19326888A JP 19326888 A JP19326888 A JP 19326888A JP H0244091 A JPH0244091 A JP H0244091A
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- Japan
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- inert gas
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- furnace
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- Pending
Links
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はシリコンなどの単結晶製造炉に用いられる不活
性ガスの回収装置に関する。
性ガスの回収装置に関する。
シリコンなどの単結晶製造炉では、炉内雰囲気ガスとし
てアルゴンなどの不活性ガスが使用されている。過去に
おいては、雰囲気ガスとして使用された後の不活性ガス
は大気中に放出されていたが、このような不活性ガスは
高価であるため、回収して循環使用するようになってき
ている。
てアルゴンなどの不活性ガスが使用されている。過去に
おいては、雰囲気ガスとして使用された後の不活性ガス
は大気中に放出されていたが、このような不活性ガスは
高価であるため、回収して循環使用するようになってき
ている。
従来、このための不活性ガス回収装置としては、例えば
製造炉、油回転式の真空ポンプ（ロータリーポンプ）、
フィルター、精製装置により不活性ガスの循環系を形成
したものが考えられていた。
製造炉、油回転式の真空ポンプ（ロータリーポンプ）、
フィルター、精製装置により不活性ガスの循環系を形成
したものが考えられていた。
しかし、この不活性ガス回収装置では、ロータリーポン
プから発生するオイルミストが分解して生成するｃｏ、
ｃｏ２などのガスが単結晶に及ぼす悪影響、及び製造炉
内で溶融シリコンと石英ガラスるつぼとの反応により生
成したＳｉＯ微粉がロータリーポンプに及ぼす悪影響が
問題となる。
プから発生するオイルミストが分解して生成するｃｏ、
ｃｏ２などのガスが単結晶に及ぼす悪影響、及び製造炉
内で溶融シリコンと石英ガラスるつぼとの反応により生
成したＳｉＯ微粉がロータリーポンプに及ぼす悪影響が
問題となる。
そこで、特開昭６１−９７１８７号には、上述した問題
が生じない不活性ガス回収装置が提案されている。
が生じない不活性ガス回収装置が提案されている。
この不活性ガス回収装置は、第３図に示すように、製造
炉１、水封式真空ポンプ２、精製装置３を順次接続して
不活性ガスの循環系を形成したものである。このように
水封式真空ポンプ２を用いれば、オイルミストが発生す
ることがな（、また封水によって不活性ガス中のＳｉＯ
を除去することができるので、単結晶の品質への悪影響
及びポンプへの悪影響と同時に解消することができる。
炉１、水封式真空ポンプ２、精製装置３を順次接続して
不活性ガスの循環系を形成したものである。このように
水封式真空ポンプ２を用いれば、オイルミストが発生す
ることがな（、また封水によって不活性ガス中のＳｉＯ
を除去することができるので、単結晶の品質への悪影響
及びポンプへの悪影響と同時に解消することができる。
ところで、第３図に示す装置で、水封式真空ポンプ２に
よる真空度をロータリーポンプと同等まで上げようとす
る場合、製造炉１と水封式真空ポンプ２との間にメカニ
カルブースタを設けることが考えられる。
よる真空度をロータリーポンプと同等まで上げようとす
る場合、製造炉１と水封式真空ポンプ２との間にメカニ
カルブースタを設けることが考えられる。
しかしながら、上記のようにメカニカルブースタを設け
た場合、使用後の不活性ガス中に含まれるＳｉＯ微粉が
メカニカルブースタ内に堆積し、シール部が磨耗されて
高真空度が保てなくなったり、シール部が破損するとい
う問題があった。
た場合、使用後の不活性ガス中に含まれるＳｉＯ微粉が
メカニカルブースタ内に堆積し、シール部が磨耗されて
高真空度が保てなくなったり、シール部が破損するとい
う問題があった。
このように高真空度が得られないと、製造炉内の不活性
ガスを正常に排気することができなくなり、製造される
単結晶の品質に悪影響を及ぼすことになる。このため、
メカニカルブースタの修理交換を頻繁に行わなければな
らないという問題があった。
ガスを正常に排気することができなくなり、製造される
単結晶の品質に悪影響を及ぼすことになる。このため、
メカニカルブースタの修理交換を頻繁に行わなければな
らないという問題があった。
なお、不活性ガス中のＳｉＯ微粉を捕集する手段として
フィルターを使用することが考えられる。
フィルターを使用することが考えられる。
しかし、この場合にはフィルターの目詰まりによって真
空度が低下するため、フィルターを頻繁に交換しなけれ
ばならず、根本的な解決策とはならない。
空度が低下するため、フィルターを頻繁に交換しなけれ
ばならず、根本的な解決策とはならない。
本発明は上記問題点を解消するためになされたものであ
り、製造炉内の単結晶の品質を悪化させることのない液
封式真空ポンプを用い、ロータリーポンプと同等の真空
度が得られ、かつ修理交換の頻度が少ない不活性ガス回
収装置を提供することを目的とする。
り、製造炉内の単結晶の品質を悪化させることのない液
封式真空ポンプを用い、ロータリーポンプと同等の真空
度が得られ、かつ修理交換の頻度が少ない不活性ガス回
収装置を提供することを目的とする。
本発明の単結晶製造炉用不活性ガス回収装置は、単結晶
製造炉に液封式真空ポンプ及び精製装置を接続し、製造
炉内に流される不活性ガスの循環系を形成した単結晶製
造炉用不活性ガス回収装置において、上記製造炉と液封
式真空ポンプとの間に、コールドトラップ及びメカニカ
ルブースタを順次設けたことを特徴とするものである。
製造炉に液封式真空ポンプ及び精製装置を接続し、製造
炉内に流される不活性ガスの循環系を形成した単結晶製
造炉用不活性ガス回収装置において、上記製造炉と液封
式真空ポンプとの間に、コールドトラップ及びメカニカ
ルブースタを順次設けたことを特徴とするものである。
このような不活性ガス回収装置によれば、コールドトラ
ップにより不活性ガス中のＳｉＯ微粉を捕集できるので
、液封式真空ポンプの前にメカニカルブースタを設けて
も、メカニカルブースタ内にＳｉＯ微粉が堆積すること
がなく、メカニカルブースタの修理交換の頻度は少なく
なる。そして、製造炉内の単結晶の品質を悪化させるこ
となく、ロータリーポンプと同等の真空度が得られる。
ップにより不活性ガス中のＳｉＯ微粉を捕集できるので
、液封式真空ポンプの前にメカニカルブースタを設けて
も、メカニカルブースタ内にＳｉＯ微粉が堆積すること
がなく、メカニカルブースタの修理交換の頻度は少なく
なる。そして、製造炉内の単結晶の品質を悪化させるこ
となく、ロータリーポンプと同等の真空度が得られる。
以下、本発明の実施例を第１図及び第２図を参照して説
明する。
明する。
第１図は本発明の不活性ガス回収装置の系統図である。
第１図において、単結晶製造炉１には、コールドトラッ
プ４、メカニカルブースタ５、水封式真空ポンプ２、精
製装置３が順次接続され、単結晶製造炉１内に流される
不活性ガス（アルゴンガス）の循環系が形成されている
。
プ４、メカニカルブースタ５、水封式真空ポンプ２、精
製装置３が順次接続され、単結晶製造炉１内に流される
不活性ガス（アルゴンガス）の循環系が形成されている
。
上記コールドトラップ４は第２図に示すような構造を有
している。第２図において、ケーシング１１には不活性
ガス吸入口１２及び不活性ガス排出口１３が設けられ、
ケーシング１１内部には冷却フィンチューブＩ４が設け
られてその内部に冷却水が流される。
している。第２図において、ケーシング１１には不活性
ガス吸入口１２及び不活性ガス排出口１３が設けられ、
ケーシング１１内部には冷却フィンチューブＩ４が設け
られてその内部に冷却水が流される。
このコールドトラップ４では、吸入口１２から入った使
用済アルゴンガス中のＳｉＯ微粉は冷却フィンチューブ
１４の外表面に付着してアルゴンガス中から除去される
。このように冷却フィンチューブ１４外表面に付着した
ＳｉＯは冷却フィンチューブ１４を交換することにより
簡単に処理できる。
用済アルゴンガス中のＳｉＯ微粉は冷却フィンチューブ
１４の外表面に付着してアルゴンガス中から除去される
。このように冷却フィンチューブ１４外表面に付着した
ＳｉＯは冷却フィンチューブ１４を交換することにより
簡単に処理できる。
また、ＳｉＯ微粉か除去されたアルゴンガスは排出口１
３から排出され、メカニカルブースタ５へ吸引された後
、水封式真空ポンプ２へ吸引される。
３から排出され、メカニカルブースタ５へ吸引された後
、水封式真空ポンプ２へ吸引される。
この際、上記コールドトラップ４で除去されなかったわ
ずかなＳｉＯ微粉は水封式真空ポンプ２て水と接触する
ことにより除去される。
ずかなＳｉＯ微粉は水封式真空ポンプ２て水と接触する
ことにより除去される。
更に、精製装置３ではアルゴンガス中に含まれる０２、
Ｎ２などを触媒などによって所定値以下まで除去し、単
結晶製造炉１へ高純度のアルゴンガスを循環させる。な
お、精製装置はこのようなものに限らず、一般の精製装
置を用いることも可能である。
Ｎ２などを触媒などによって所定値以下まで除去し、単
結晶製造炉１へ高純度のアルゴンガスを循環させる。な
お、精製装置はこのようなものに限らず、一般の精製装
置を用いることも可能である。
本発明の不活性ガス回収装置によれば、コールドトラッ
プにより不活性ガス中のＳｉＯ微粉を捕集できるので、
液封式真空ポンプの前にメカニカルブースタを設けても
、メカニカルブースタ内にＳｉＯ微粉が堆積することが
なく、シール部の磨耗、破損を防止できる。したがって
、メカニカルブースタの修理交換の頻度は少なくなる。
プにより不活性ガス中のＳｉＯ微粉を捕集できるので、
液封式真空ポンプの前にメカニカルブースタを設けても
、メカニカルブースタ内にＳｉＯ微粉が堆積することが
なく、シール部の磨耗、破損を防止できる。したがって
、メカニカルブースタの修理交換の頻度は少なくなる。
そして、製造炉内の単結晶の品質を悪化させることなく
、ロータリーポンプと同等の真空度が得られる。また、
コールドトラップによりＳｉＯ微粉を捕集するため、フ
ィルターを用いる場合のように目詰まりによる真空度の
低下の問題もない。
、ロータリーポンプと同等の真空度が得られる。また、
コールドトラップによりＳｉＯ微粉を捕集するため、フ
ィルターを用いる場合のように目詰まりによる真空度の
低下の問題もない。
第１図は本発明の実施例における単結晶製造炉用不活性
ガス回収装置の系統図、第２図は同装置に用いられるコ
ールドトラップを一部破断して示す正面図、第３図は従
来の単結晶製造炉用不活性ガス回収装置の系統図である
。 １・・・単結晶製造炉、２・・・水封式真空ポンプ、３
・・・精製装置、４・・・コールドトラップ、５・・・
メカニカルブースタ、１１・・・ケーシング、１２・・
・不活性ガス吸入口、１３・・・不活性ガス排出口、１
４・・・冷却フィンチューブ。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦
ガス回収装置の系統図、第２図は同装置に用いられるコ
ールドトラップを一部破断して示す正面図、第３図は従
来の単結晶製造炉用不活性ガス回収装置の系統図である
。 １・・・単結晶製造炉、２・・・水封式真空ポンプ、３
・・・精製装置、４・・・コールドトラップ、５・・・
メカニカルブースタ、１１・・・ケーシング、１２・・
・不活性ガス吸入口、１３・・・不活性ガス排出口、１
４・・・冷却フィンチューブ。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦
Claims (1)
- 単結晶製造炉に液封式真空ポンプ及び精製装置を接続し
、製造炉内に流される不活性ガスの循環系を形成した単
結晶製造炉用不活性ガス回収装置において、上記製造炉
と液封式真空ポンプとの間に、コールドトラップ及びメ
カニカルブースタを順次設けたことを特徴とする単結晶
製造炉用不活性ガス回収装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19326888A JPH0244091A (ja) | 1988-08-02 | 1988-08-02 | 単結晶製造炉用不活性ガス回収装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19326888A JPH0244091A (ja) | 1988-08-02 | 1988-08-02 | 単結晶製造炉用不活性ガス回収装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0244091A true JPH0244091A (ja) | 1990-02-14 |
Family
ID=16305114
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19326888A Pending JPH0244091A (ja) | 1988-08-02 | 1988-08-02 | 単結晶製造炉用不活性ガス回収装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0244091A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013011582A1 (ja) * | 2011-07-20 | 2013-01-24 | Ｆｔｂ研究所株式会社 | シリコン単結晶成長装置の真空配管トラップシステム及びそのシステムを利用した配管清掃方法 |
| US10280980B2 (en) | 2012-09-24 | 2019-05-07 | Ntn Corporation | Cooling structure for bearing device |
| CN117888197A (zh) * | 2023-12-29 | 2024-04-16 | 连城凯克斯科技有限公司 | 一种单晶炉炉体控压装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6197187A (ja) * | 1984-10-17 | 1986-05-15 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 単結晶引上装置用不活性ガス回収装置 |
| JPS62207794A (ja) * | 1986-03-06 | 1987-09-12 | Toshiba Mach Co Ltd | シリコン単結晶引上機のバツフアタンク |
-
1988
- 1988-08-02 JP JP19326888A patent/JPH0244091A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6197187A (ja) * | 1984-10-17 | 1986-05-15 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 単結晶引上装置用不活性ガス回収装置 |
| JPS62207794A (ja) * | 1986-03-06 | 1987-09-12 | Toshiba Mach Co Ltd | シリコン単結晶引上機のバツフアタンク |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013011582A1 (ja) * | 2011-07-20 | 2013-01-24 | Ｆｔｂ研究所株式会社 | シリコン単結晶成長装置の真空配管トラップシステム及びそのシステムを利用した配管清掃方法 |
| US10280980B2 (en) | 2012-09-24 | 2019-05-07 | Ntn Corporation | Cooling structure for bearing device |
| CN117888197A (zh) * | 2023-12-29 | 2024-04-16 | 连城凯克斯科技有限公司 | 一种单晶炉炉体控压装置 |
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