JPS62207794A - シリコン単結晶引上機のバツフアタンク - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は減圧方式のシリコン単結晶引上機において、結
晶引上中に発生する酸化シリコンが真空ポンプ内へ吸引
されることを阻止するためのバッファタンクに関する。

〔従来の技術〕

従来における減圧方式のシリコン単結晶引上機において
、結晶引上中に発生したガス中の酸化シリコンは直接真
空ポンプに吸引されてしまう。

この結果、真空ポンプ内に吸引された酸化シリコンは真
空ポンプ用油に混入して油を劣化させる他、硬度が高い
ので、真空ポンプの羽根を摩耗させて真空ポンプの寿命
を短くしていた。また、単結晶引上機と真空ポンプとの
間の配管に付着して管路を狭くし、シリコン単結晶の成
長に悪影響を与えている。このため、管路の中間にフィ
ルターを設けることが提案されたが、酸化シリコンの粒
子径はＩＩＩＪＲ程度と小さいので、通常のフィルタで
は除去しきれず、またメツシュの小さいフィルタを使用
すると短時間で目詰りが発生して実用に供することがで
きない欠点があった。

本発明は上記事情に着目してなされたもので、その目的
とするところは、減圧方式のシリコン単結晶引上機にお
いて、引上機本体の真空を引くとき目詰まりを発生させ
ることなく酸化シリコンを除去できるようにしたバッフ
ァタンクを提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は上記問題点を解決するため、筒状をなし少なく
ても前後のいずれか一方に蓋を取付けたタンク本体と、
このタンク本体の内周にほぼ密接するとともに、内側に
ガスの流れる穴を有しかつ連結棒に取付けられた複数の
板状の外側仕切りと、この外側仕切りの面に対向し前記
連結棒に取付けられた複数の板状の内側仕切りとからな
るものである。

〔作用〕

内外の各仕切りに酸化シリコンを含むガスを衝突させて
その流れ方向を変化させることにより、酸化シリコンを
タンク本体底部に落下させたり、あるいは仕切り等に付
着させて酸化シリコンを除去する。

〔発明の実施例〕

以下、本発明を図面に示す一実施例を参照して説明する
。第１図は減圧方式のシリコン単結晶引上機の全体配置
図であって、引上機本体１の底面に取付けられた真空配
管２は引上機本体１の気密性を確認するためのバルブ３
と、ガス中の酸化シリコンを除去するためのバッファタ
ンク４とを介して真空ポンプ５に接続されている。

上記バッファタンク４の一例を第２図にもとずいて説明
する。筒状のタンク本体１１は下面に脚１２を取付けそ
の両側にはバルブ３に接続された管１３を有する前蓋１
４と真空ポンプ５に接続された管１５を有する後蓋１６
とが、その合せ面にＯリングなどのパツキン１７を置い
て気密性を保持の上クランクボルト１８により固着され
ている。

前記タンク本体１１の内面にはその外周をほぼ密着しか
つ中心の穴１１Ａの直径を管１３等の内径にほぼ等しく
した板状の外側仕切り１９が連結棒２０に固着されて複
数枚配置されている。また、前記外側仕切り１９の面に
対向して板状をなしかつ、その外周とタンク本体１１内
周との隙間面積を管１３等との内側面積にほぼ等しくし
た内側仕切り２１が複数枚連結棒２０に固着されている
。

前記連結棒２０は内側仕切り２１の中心部を連結してい
るが、これは必ずしも必要ではない。なお、２３は冷却
用ジャケットでタンク本体１１を介して内部を流れるガ
スを冷却する。

次ぎに前述した実施例の動作を説明する。引上機本体１
のガスは管１３からタンク本体１１内に侵入すると、先
ず、左側の内側仕切り２１に衝突して流れ方向は大きく
変化して内側仕切り２１に沿ってタンク本体１１の内周
へ向かって流れ、次いで、タンク本体１１の内周により
流れ方向は大きく変化し、内側仕切り２１と外側仕切り
１９とに挟まれて中心に向かい中心部でさらに流れ方向
は変化して外側仕切り１９の穴１９Ａから次ぎの内側仕
切り２１に衝突し以下これを繰返す。

上記した流れ方向が変化すると流速は曲部的に変化して
乱流になり、この状態で両仕切り１９゜２１やタンク本
体１１に接する。このとき、外側仕切り１９等の表面が
磨かれている場合には酸化シリコン（図示せず）はタン
ク本体１１の底面に落下し、外側仕切り１９等が磨かれ
ていない場合には酸化シリコンのほとんどは落下するが
一部は外側仕切り１９等に付着する。したがって、バッ
ファタンク４を出たガスは酸化シリコンが除去されてい
る。

一回の引上げ作業が終了したとき両蓋１４゜１６のいず
れか或いは両方を取去り両仕切り１９゜２１を手で引き
だした後タンク本体１１の底部にたまった酸化シリコン
を外部に出すとともに両仕切り１９．２１およびタンク
本体１１に付着する酸化シリコンを取除けば掃除は終了
する。

なお、タンク本体１１を冷却用ジャッケト２３により冷
却するとガスも冷却されて酸化シリコンの補足率は高く
なり、効果的である。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、タンク本体へ内
外２種の板状の仕切り板複数枚を交互に配置し、この仕
切りに酸化シリコンを含むガスを衝突させて流れ方向を
変化させることにより、酸化シリコンをタンク本体底部
に落下させたり、或いは仕切り等に付着させてガスから
酸化シリコンを除去するようにした。これにより、本発
明では、目詰りを起こすことなく確実に酸化シリコンを
除去できる。また、掃除を含む取扱いはタンク本体の蓋
を取去れば仕切りは外部へ出せるため容易である。さら
に、タンク本体をジャッケトにより冷却してガスを冷却
すれば真空ポンプが熱せられるこ゛ともなくなる等多く
の利点を有する。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示すもので、第１図は全体の
配置図、第２図はバッファンクの断面図である。 ４・・・バッファタンク、１１・・・タンク本体、１４
゜１６・・・蓋、１９・・・外側仕切り、１９Ａ・・・
穴、２０・・・連結棒、２１・・・内側仕切り。 ］２ 第２図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）筒状をなし少なくても前後のいずれか一方に蓋を
   取付けたタンク本体と、このタンク本体の内周にほぼ密
   接するとともに、内側にガスの流れる穴を有しかつ連結
   棒に取付けられた複数の板状の外側仕切りと、この外側
   仕切りの面に対向し前記連結棒に取付けられた複数の板
   状の内側仕切りとからなることを特徴とするシリコン単
   結晶引上機のバッファタンク。
2. （２）タンク本体の蓋を取り去ることにより、外側仕切
   りと内側仕切りとを前記タンク本体の外部に取出すよう
   にしたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のシ
   リコン単結晶引上機のバッファタンク。
3. （３）タンク本体の外周に冷却用ジャケットを取付けた
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のシリコン
   単結晶引上機のバッファタンク。