JPH0244900B2 - Batsuchishikishinkujochakusochojohatsugenshunosochi - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、バツチ式真空蒸着装置用蒸発源収納
装置に関するのである。

［従来の技術］ 従来、バツチ式真空蒸着装置としては種々の型
式のものが提案されており、例えば、実公昭49−
18121号公報、特公昭43−11370公報、特公昭58−
3032号公報および特公昭58−17829号公報等に記
載のものを公知例としてあげることができる。こ
れらの公知の装置はいずれも真空容器から成る蒸
気室内に被処理物と蒸発源とを対向させて配置
し、真空中で物質を加熱して蒸発させ、その蒸気
を被処理物上に凝縮させて薄膜を形成するように
構成されている。

［発明が解決しようとする問題点］ ところで、このようなバツチ式真空蒸着装置に
おいては、蒸着作業が終了すると、蒸気室を大気
に開放して被処理物の入れ換えを行なう必要があ
る。この場合、蒸着作業終了直後に大気を導入す
ると、蒸発源は、急冷されるため損傷することが
ある。このため蒸着作業終了後、蒸発源がある程
度冷却されるまで蒸着室を大気に開放するのを待
つ必要がある。その結果、１バツチ当りに要する
時間が長くなり、生産性が悪い。

また、蒸着作業終了毎に蒸発源が大気中に晒さ
れるので、酸化等が起こり、消耗が早く、メンテ
ナンス費用が増大する傾向があつた。

一方、蒸着室と蒸発源室とを別個に設け、これ
らの両室を大口径のバルプで仕切り、蒸発源室を
常に真空状態に保持し、蒸着室のみを大気圧にす
るようにした二室式真空蒸着装置も提案されてい
るが、蒸着室内の被処理物と蒸発源室内の蒸発源
とは対抗させて位置決めしなければならないた
め、装置の構成が自ずと制限を受け、しかも蒸着
室と蒸発源室との間に大口径のバルプを設ける必
要があるので、蒸着室内の被処理物と蒸発源室内
の蒸発源との距離についても制約を受けることに
なる。

そこで、本発明は、上述ような従来技術の問題
点を解決して、１バツチ当りの作業時間を大幅に
短縮でき、しかも蒸発源を毎回大気に晒さずに常
時一定の温度以上に維持できるバツチ式真空蒸着
装置用蒸発源収納装置を提供することを目的とし
ている。

［問題点を解決するための手段］ 上記の目的を達成するために、本発明によるバ
ツチ式真空蒸着装置用蒸発源収納装置は、内部に
基板と蒸発源とを挿置し、上記蒸発源から蒸発さ
せた蒸着物質蒸気を上記基板上に凝縮させて蒸着
を行なうようにした真空蒸着室と、上記真空蒸着
室に仕切弁を介して連結し、真空を維持できるよ
うにした蒸発源収納室と、上記蒸発源収納室内に
設け、上記蒸発源の温度を一定温度に維持する加
熱装置とを有し、上記真空蒸着室と上記蒸発源収
納室との間で上記蒸発源を移動できるようにした
ことを特徴としている。

［作用］ 本発明によるバツチ式真空蒸着装置用蒸発源収
納装置においては、真空蒸着室に仕切弁を介して
連結して別個に蒸発源収納室が設けられ、蒸着処
理中蒸発源は高温に維持された蒸発源収納室から
真空蒸着室内の被処理物に対向する位置に搬入さ
れ、蒸着処理終了後の被処理物の取出し時には再
び蒸発源収納室内に収納され、加熱装置により一
定の温度に維持され得る。これにより、蒸発源を
大気に晒すことなしにしかもヒートサイクルによ
る損傷を受けずに全工程を行なうことができる。

［実施例］ 以下、添附図面を参照して本発明の実施例につ
いて説明する。

第１図には本発明の一実施例によるバツチ式真
空蒸着装置用蒸発源収納装置の要部を概略的に示
し、１は蒸発源収納室で、その内側に断熱材１ａ
が施されており、従つて保温室を構成している。
この蒸発源収納室１は仕切バルプ２を介して真空
蒸着室３に連結されている。蒸発源収納室１内に
は蒸発源４を搬送するための搬送ローラ５が一平
面上に配列されており、各搬送ローラ５は、第２
図に示すように、外部の駆動系６（図面にはその
うちの一つだけを示す）を介して駆動制御され得
る。図面には示してないが、真空蒸着室３内にも
搬送ローラ５と同様な搬送ローラが上記搬送ロー
ラ５の平面と実質的に同一の平面上に同じ向きで
配列される。蒸発源収納室１内の上部には加熱装
置を成す二つのヒータ７が長手方向に沿つて設け
られ、電極端子８を介して外部電源（図示してな
い）に接続され、また各ヒータ７と組み合わせて
蒸発源収納室１の上壁には温度制御用の熱電対９
（一方のみを第１図に示す）が設けられている。
これらのヒータ７および熱電対９の作用により、
蒸発源４の温度は一定温度に維持され得る。一
方、蒸発源収納室１内の下部にはキヤリアガス導
入管１０が配置されており、このキヤリアガス導
入管１０は外部の図示してない適当なキヤリアガ
ス供給源に連結され、不活性ガスを蒸発源収納室
１内に供給して蒸発源４内の蒸発物質の蒸発を抑
えると共に蒸発源４を周囲からの汚染から保護す
る。また蒸発源収納室１は、その上部に設けた排
気口１１を介して排気系に連結され、常に所定の
真空レベルに維持され得る。

このように構成した図示装置の動作において
は、真空蒸着室３内において被処理物（図示して
ない）に対する所要の蒸着作業が終了すると、ま
ず、真空蒸着室３と蒸発源収納室１との間の仕切
バルブ２を開き、蒸発源収納室１および真空蒸着
室３内の搬送ローラ５を外部の駆動系６により駆
動して真空蒸着室３内に位置している蒸発源４を
高温真空状態に保たれた蒸発源収納室１へ搬出す
る。しかる後、仕切バルプ２を閉じ、真空蒸着室
３を大気に開放して真空蒸着室３内の蒸着処理の
終つた被処理物を取り出す。その後、処理すべき
別の被処理物を真空蒸着室３内に装置し、再び真
空蒸着室３内を排気する。排気終了後、仕切バル
プ２を開き、搬送ローラ５を逆方向に駆動して高
温状態に保たれている蒸発源４を真空蒸着室３内
に搬入し、仕切バルプ２を閉じて蒸着作業を再開
する。このような動作を繰返すことによつて一連
の蒸着作業を行なうことができる。

なお、図示実施例では、キヤリアガス導入管１
０は蒸発源収納室１の下部に配設されているが、
代りに蒸発源収納室１の上部または左右両側部に
設けてもよく、ヒータ７についてもその数および
位置も適宜変更することができる。また、搬送ロ
ーラの代りに他の適当な搬送機構、例えばベルト
式やチエーン式等の搬送手段を使用してもよい。
また図示実施例では、一つの蒸発源が使用されて
いるが、当然処理目的に応じて複数個の蒸発源を
用いてもよく、また蒸発源の型式についても種々
の型式のものに対して同様に適用できる。さらに
各部の動作は、自動的に制御しても手動で制御し
てもよい。

［発明の効果］ 以上、説明してきたように、本発明によれば、
内部に基板と蒸発源とを挿置し、上記蒸発源から
蒸発させた蒸着物質蒸気を上記基板上に凝縮させ
て蒸着を行なうようにした真空蒸着室と、上記真
空蒸着室に仕切弁を介して連結し、真空を維持で
きるようにした蒸発源収納室と、上記蒸発源収納
室内に設け、上記蒸発源の温度を一定温度に維持
する加熱装置とを有し、上記真空蒸着室と上記蒸
発源収納室との間で上記蒸発源を移動できるよう
に構成しているので、蒸着終了後従来行なわれて
いた蒸発源の冷却を省くことができ、１バツチ当
りの作業時間が短かくなり、その分生産性を向上
させることができると共に、蒸発源が蒸着終了毎
に大気に晒されずしかも常に高温に保たれている
ので、常に安定した品質で蒸着を行なうことがで
きかつ蒸発源はヒートサイクルによる損傷を受け
ることがなく、メンテナンスも容易となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す概略断面図、
第２図は第１図の装置の横断面図である。 図中、１：蒸発源収納室、１ａ：断熱材、２：
仕切バルブ、３：真空蒸着室、４：蒸発源、５：
搬送ローラ、７：加熱装置。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 内部に基板と蒸発源とを挿置し、上記蒸発源
   から蒸発させた蒸着物質蒸気を上記基板上に凝縮
   させて蒸着を行なうようにした真空蒸着室と、上
   記真空蒸着室に仕切弁を介して連結し、真空を維
   持できるようにした蒸発源収納室と、上記蒸発源
   収納室内に設け、上記蒸発源の温度を一定温度に
   維持する加熱装置とを有し、上記真空蒸着室と上
   記蒸発源収納室との間で上記蒸発源を移動できる
   ようにしたことを特徴とするバツチ式真空蒸着装
   置用蒸発源収納装置。