JPH0246333B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、半導体ウエハやプリント基板を加
工、検査等のためにチヤツクする装置に関するも
のである。

［従来の技術］ 半導体ウエハやプリント基板等を加工、検査そ
の他の作業を行うために、ワークを固定する必要
があるが、このワークを固定的に支持するために
チヤツク装置が用いられる。このチヤツク装置と
しては、真空吸着によつてワークをチヤツクする
ように構成したものが従来から広く用いられてい
る。

この種のチヤツク装置としては、例えば特開昭
50−66174号公報等に示されているように、ウエ
ハを支持する空洞部を有するテーブルの天板部分
にに多数の小穴を設けてなる真空吸着ヘツドを備
え、この真空吸着ヘツドの空洞部に真空吸引機お
よび空気圧縮機を切り替え可能に接続することに
より構成されている。そして、ワークを支持する
際には空洞部を真空吸引機に接続することにより
ワークを真空吸着させるようになし、また加工、
検査等の作業が終了したときには、空洞部を空気
圧縮機と接続する状態に切り替えて、ワークをテ
ーブルから浮かせることによつて、その外部に搬
出することができるようにしている。

このような真空吸着を用いると、ワークの表面
に触れることなく吸着固定を行うことができ、ま
た表面に異物が触れて損傷させたり、歪ませたり
することなくチヤツクすることができるので、半
導体ウエハやプリント基板のようなワークをチヤ
ツクする機構として極めて好都合である。

［発明が解決しようとする課題］ ところで、前述した従来技術によるチヤツク装
置にあつては、比較的小流量で、高い圧力の真空
吸引機を用いるようにしていたために、テーブル
に穿設されている小穴のすべてがワークにより覆
われていなければ、十分な吸着力が発揮されない
ことになり、このためにワークの寸法が変るとそ
の都度真空吸着ヘツドを交換しなければならない
という問題点がある。また、真空吸引機による吸
着力の調整を行うのは困難であり、この真空吸引
機をそのまま真空吸着ヘツドに接続したのでは、
吸着力が強くなりすぎて、例えば薄いフイルム状
のワークや脆弱なワーク等を取り扱う場合には、
ワークの変形や損傷を生じさせることになる。従
つて、このように脆弱なワークをチヤツクさせる
場合には、アキユムレータ、圧力調整弁等からな
る吸引圧力を調整するための機構を設けなければ
ならず、このために真空吸着機構の構成が複雑か
つ大型化する欠点がある。

本発明は叙上の点に鑑みてなされたものであつ
て、その目的とするところは、簡単な構成で、ワ
ークの寸法や形状が変わつても、段取り換え作業
等を行うことなくワークの吸着及び脱着を行うこ
とができ、しかも適正な吸着力でチヤツクするこ
とができるようにしたチヤツク装置を提供するこ
とにある。

［課題を解決するための手段］ 前述した目的を達成するために、本発明は、テ
ーブルに形成した多数の小穴に包括的に連通する
フレキシブルホースを設け、一方、ブロワの吸気
口および吐出口にそれぞれ連通する吸気管と吐出
管の端面をほぼ同一面に揃えて並設し、かつ、前
記フレキシブルホースの端をレバーの自由端に取
り付け該レバーを回動操作してフレキシブルホー
スの端を前記吸気体管の端及び吐出管の端の何れ
か一方に選択的に対向する状態に接続可能とな
し、さらに前記フレキシブルホースと吸気管との
接続時に、前記レバーの回動角を規制手段により
規制して、両開口が重なり合う流路断面積を可変
ならしめることによつて、前記各小穴による吸引
圧力を調整可能とする構成としたことをその特徴
とするものである。

［作用］ ここで、ブロワは単段の回転翼式の空気ポンプ
を意味し、このブロワを用いることによつて低圧
で、大流量で吸引を行うことができる。従つて、
ワークがたとえテーブルに設けた全ての小穴を覆
つていない場合においても、該ワークに対する吸
着力が失われることはない。

而して、このチヤツク装置を用いてワークを吸
着保持する場合には、フレキシブルホースをブロ
ワの吸気管に接続する状態にする。これによつて
小穴から雰囲気ガスが吸引されて、テーブル上の
ワークを吸着することができる。ここで、ブロワ
によるポンプ流量は大きいので、テーブルに設け
て多数の小穴のうちの一部が覆われずに多少のリ
ークが生じる場合であつても、ワークに対してそ
れを固定するのに必要な吸引力を発輝させること
ができる。

一方、前述のようにしてワークを吸着固定した
状態で、該ワークに対して所定の加工、検査等が
行われた後には、フレキシブルホースを吐出管側
と接続する。これによつて、小穴から空気が噴出
することになつて、ワークはテーブルから浮き上
がるので、該ワークを容易に搬出することができ
る。

ここで、チヤツク装置によつてワークをチヤツ
クする際においては、該ワークを処理作業を行う
上で安定した状態で固定しなければらないことか
ら、ある程度吸着力を強くする必要があるが、こ
の吸着力をあまり強くしすぎると、ワークの性質
によつては変形したり損傷したりするおそれがあ
る。従つて、このチヤツク装置によるワークの吸
着力はある程度厳格に調整されなければならな
い。このために、本発明においては、フレキシブ
ルホースを吸気管と接続する際において、両者を
嵌合連結させるのではなく、該フレキシブルホー
スを吸気管に対向配設するように構成している。
しかも、このフレキシブルホースを吸気管に接続
する状態と、吐出管に接続する状態との間に切り
替えるためのレバーの回動角を規制手段によつて
規制して、該フレキシブルホースと吸気管とを接
続したときに、両方の開口部分が重なり合つた連
通部分の流路断面積を変化させることができるよ
うにしている。従つて、この規制手段によつてレ
バーの回動角位置を調整するだけで、アキユムレ
ータや圧力調整弁等からなる圧力調整機構を設け
ることなく、吸引力を最適な状態に調整すること
ができる。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を第１図に基づいて詳細
に説明する。

同図において、１はワーク２が設置される吸着
ベツドを構成するテーブルを示し、該テーブル１
には作動圧力室を構成する空洞部１ｂが形成され
ると共に、その天板部分には多数の小穴１ａ，１
ａ，１ａ，…が形成されている。そして、このテ
ーブル１の空洞部１ｂにはフレキシブルホース３
が接続されている。４はブロワ、４ａはその吸入
口、４ｂは吐出口をそれぞれ示し、吸入口４ａに
は吸気管５が連結され、また吐出口４ｂには吐出
管６が連結されている。

フレキシブルホース３は吸気管５に接続する状
態と、吐出管６に接続する状態との間に切り替え
可能となつており、該フレキシブルホース３を吸
気管５に接続すると、空洞部１ｂ内は負圧とな
り、テーブル１の天板部に設けた小穴１ａから外
気が吸引されるようになり、従つてこのテーブル
１上にワーク２を載置すると、該ワーク２は吸着
されることになる。また、フレキシブルホース３
を吐出管６に接続する状態に切り替えると、空洞
部１ｂ内の圧力が上昇して小穴１ａから空気が噴
出されて、テーブル１上に設置したワーク２は浮
き上がるようにして離脱させることができるよう
になつている。

吸気管５及び吐出管６はそれぞれ支持板７に貫
通するようにして固装されており、これら吸気管
５，吐出管６は支持板７から等しい長さだけ突出
せしめられている。従つて、これら吸気管５，吐
出管６の端部５ａ，６ａは同一面に揃えて並設さ
れている。一方、フレキシブルホース３の先端部
はレバー１０に固装されている。このレバー１０
は支持板７に装着した軸受８を貫通して延びる軸
９に枢着されており、該軸９をその軸周りに回動
させて、レバー１０を回動することによつて、フ
レキシブルホース３の端部３ａは吸気管５の端部
５ａまたは吐出管６の端部６ａと接続させること
ができるようになつている。このために、軸９は
カツプリング１１を介してアクチユエータ１２の
駆動軸１２ａに接続されており、該アクチユエー
タ１２を作動させることによつて、レバー１０が
回動するようになつている。なお、１２ｂ，１２
ｃはアクチユエータ１２の駆動用のエアホースで
ある。

ここで、フレキシブルホース３の端部３ａは吸
気管５の端部５ａ及び吐出管６の端部６ａと嵌合
せしめられるのではなく、近接状態に対面させる
ことによつて接続するようにしてる。そして、吸
気管５との接続時において、該吸気管５からの吸
引力を調整することができるようにするために、
吸引力調整機構が設けられている。

この吸引力調整機構としては、レバー１０の回
動角（またはフレキシブルホース３の移動量）を
規制する規制手段としてのストツパ１３を有し、
レバー１０はこのストツパ１３に当接する位置ま
で回動させることができるようになつている。そ
して、このストツパ１３は支持板７に固着して設
けたブラケツト１３ａに螺挿されており、該スト
ツパ１３を適宜螺回させてその突出長さを変化さ
せると、レバー１０の回動ストローク端位置を所
望の規制することができるようになる。

而して、ストツパ１３によりフレキシブルホー
ス３の端部３ａが吸気管５の端部５ａと完全に正
対する位置にまでレバー１０を回動させるように
すると、該吸気管５とフレキシブルホース３との
接続部分の通路断面積が最大となつて、最大の吸
引力を発揮する。そして、この位置からレバー１
０の回動ストローク端位置をずらせると、吸気管
５とフレキシブルホース３との接続部分がずれ
て、両者が重なり合う部分だけが流路断面積とな
り、フレキシブルホース３からの吸引流量が少な
くなる。従つて、ストツパ１３を作動させて、レ
バー１０の回動角位置を規制することにより吸引
力の調整を行うことができるように構成されてい
る。

本実施例は前述のように構成されるものであつ
て、ブロワ４は低圧で大流量という特性を有して
いるので、テーブル１に形成した小穴１ａを全部
塞がない状態においても、ワーク２に対して必要
な吸着力を発揮させることができる。従つて、ワ
ークの寸法や形状等が異なるものを取り扱う場合
であつても、テーブル１を交換することなくワー
クを安定した状態でチヤツクさせることができる
ようになる。

而して、ワーク２を適宜の搬送手段によつてテ
ーブル１の上に設置されると、アクチユエータ１
２を作動させて、レバー１０を回動させて、フレ
キシブルホース３を吸気管５に接続させる。これ
によつて、ブロワ４による吸引力によつて空洞部
１ｂ内は負圧状態となり、その吸引力によつてワ
ーク２は該テーブル１上に吸着固定される。そこ
で、このワーク２に対して加工、露光、検査等所
要の処理を行うことができる。この処理が完了す
ると、フレキシブルホース１０が吐出管６に接続
する状態となるようにレバー１０を回動させる。
これによつて、フレキシブルホース１０には送気
が行われることになつて、空洞部１ｂ内は加圧状
態となる。この結果、テーブル１の小穴１ａから
空気が噴出せしめられて、ワーク２はテーブル１
の上面から浮き上がるようになつて、該テーブル
１から離脱する。従つて、適宜の移載手段によつ
てこのワーク２を外部に搬出することができるよ
うになる。

ここで、ワーク２を吸着して所要の処理作業を
行うためには、それを安定した状態で固定しなけ
ればならないことから、ある程度吸着力を強くす
る必要があるが、この吸着力をあまり強くしすぎ
ると、ワーク２が薄い部材や脆弱な部材である場
合には、それを変形させたり損傷させたりするお
それがあるために、この吸着力があまり大きくな
らないようにしなければならない。従つて、ブロ
ワ４の吸引によるワーク２の吸着力をある程度厳
格に調整しなければならない。かかる吸着力の調
整はブロワ４を構成する回転翼の回転数によつて
は制御することはできない。

そこで、本発明においては、ブロワ４の流量自
体は一定にしておき、吸引力調整機構を構成する
ストツパ１３を適宜螺回させて、フレキシブルホ
ース３の吸気管５への接続位置を調整して、両者
が連通する部分の流路断面積を変化させることに
よつて、吸引力の調整を行うようにしている。こ
れによつて、容易にしかも厳格に吸引力の調整を
行うことができるようになる。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明は、フレキシブル
ホースの端部を、レバーによつて、低圧で大流量
のブロワの吸気口および吐出口にそれぞれ連通す
る吸気管と吐出管とに選択的に接続させるように
なし、しかも吸気管との接続時に、レバーの回動
角を規制して、両開口が重なり合う流路断面積を
可変ならしめることによつて、吸引力を調整可能
とする構成としたので、ワークの寸法、形状が変
わつても段取り替え作業を行う必要がなく、しか
も簡単な構成でワークに最も適切な吸着力を発輝
するように容易に調整することができるようにな
る。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の一実施例を示すチヤツク装置の
部分的分解斜視図である。 １：テーブル、１ａ：小穴、１ｂ：空洞部、
２：ワーク、３：フレキシブルホース、４：ブロ
ワ、５：吸気管、６：吐出管、９：軸、１０：レ
バー、１２：アクチユエータ、１３：ストツパ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 半導体製品を載置すべきテーブルに多数の小
   穴を配設し、上記多数の小穴から雰囲気ガスを吸
   引して前記半導体製品をテーブル面に吸着する構
   造のチヤツク装置において、前記の多数の小穴に
   包括的に連通するフレキシブルホースを設け、一
   方、ブロワの吸気口および吐出口にそれぞれ連通
   する吸気管と吐出管の端面をほぼ同一面に揃えて
   並設し、かつ、前記フレキシブルホースの端をレ
   バーの自由端に取り付け該レバーを回動操作して
   フレキシブルホースの端を前記吸気体管の端及び
   吐出管の端の何れか一方に選択的に対向する状態
   に接続可能となし、さらに前記フレキシブルホー
   スと吸気管との接続時に、前記レバーの回動角を
   規制手段により規制して、両開口が重なり合う流
   路断面積を可変ならしめることによつて、前記各
   小穴による吸引圧力を調整可能とする構成とした
   ことを特徴とするチヤツク装置。