JPH0246517A - 磁気ヘッドのギャップ幅測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、反射率の異なる３種類の材料からなる磁気ヘ
ッドのギャップ幅の測定方法に関する。

〈従来の技術〉 従来、第１図（ａ）に示すような磁気コア間にガラスな
どからなる非磁性材と、パーマロイ、ＦｅＡｔ　　Ｓｉ
合金（センダスト）、アモルファスなど磁性材を介在さ
せたメタルインギャップと称される磁気ヘッドのギャッ
プ幅の測定方法は、光学顕微鏡によシ目視（シアリング
法）で行っていた。

〈発明が解決しようとする問題点〉 従来の目視による測定では、作業者が顕微鏡を用いギャ
ップ幅の寸法を判断してるが、メタルなどの反射率が高
く光が拡散するものと、ガラスのように比較的反射率が
低いものとを、組合せた場合には、前記ガラス部１ｃが
小さくなればなるほどガラス部１ｃと、メタル部１ｂの
境界が、目視で判断できなくなる。このため測定に誤差
が生じやすく、さらに作業者の個人差によって測定の精
度が異なる（バラツク）という問題点がある。

またシアリング法においては、メタル部１ｂのみ測定、
そののちガラス部１ｃを測定と独立して測定しなければ
いけないため、同時測定が原理上不可能でギャップ幅の
測定に時間を要すという問題があった。

〈問題が解決するための手段〉 顕微鏡に内蔵したラインセンサーからのアナログ信号電
圧を用いて反射率の異なる材料から形成される磁気ヘッ
ドのギャップ幅を測定する方法において、前記ラインセ
ンサーからのアナログ信号電圧の垂直信号の最大値をあ
らかじめ設定した基準電圧値まで補正し、この補正した
前記アナログ信号電圧波形に回路によシ所定のスライス
レベルをかけ、前記スライスレベルでのラインセンサー
の水平信号のビット数をＡ／Ｄ変換（アナログ−デジタ
ル変換）によってギャップ幅を求めるとともに、あらか
じめ顕微鏡によって求めたギャップ幅の真値と前記測定
で求めたビット数との相関々係を補正曲線にしておき、
前記Ａ／Ｄ変換で求めたビット数を前記補正曲線で補正
して求めるギャップ幅を測定する磁気ヘッドのギャップ
幅測定方法である。

〈作用〉 」１記手段によれば、反射率の異々る材料の反射を、顕
微鏡に内蔵したラインセンサーでアナログ信号電圧とし
て検出し、前記アナログ信号電圧の最大値をあらかじめ
設定した基準電圧まで補正したのち、回路によシ所定の
スライスレベルをかけ、このときの水平信号のビット数
をＡ／Ｄ変換によって求めると共に、あらかじめ求めて
おいたギャップ幅の真値と前記ビット数との補正曲線を
用いて前記ビット数を補正することにより従来のように
拡散光による境界部の判断不能がなくなり、また、デジ
タル処理を行う事により、高精度な測定ができる。

〈実施例〉 以下、本発明の原理と一実施例を図面を参照しながら説
明する。

第１図（ａ）〜（ｃ）は、本発明の詳細な説明する図、
第２図は、信号の処理システムを示すブロック図、第３
図は、アナログ信号電圧波形の処理原理を示す波形図、
第４図は、本発明の測定方法で測定した測定値（ビット
数）と、光学顕微鏡で測定した実測値（真値）との相関
関係を示す補正曲線である。

第１図（ａ）　、　（ｂ）において、ｌは、例えば磁気
ヘッドのギャップ部などの観察物で、この観察物１は、
説明を容易にするため例えば１ａはＦｅ　−Ｓｉ　−Ａ
ｔ合金系磁性材のような反射率の高い物体１ｂはフェラ
イト磁性材のように反射率が中間の物体、１ｃはガラス
のように低い反射率の物体とし、３種類の材料が組合わ
されている磁気ヘッドのギャップとする。２は顕微鏡レ
ンズ、第１図（Ｃ）は例えば顕微鏡に内蔵（図示せず）
したラインセンサーからのアナログ信号電圧の出力波形
を示す。

上記顕微鏡のレンズ２から取りこまれた画像は、ライン
センサーを通りアナログ信号電圧４として出力される。

３は、あらかじめ設定した基準電圧、７は、電圧上昇方
向を示し、６は、水平信号の走査方向を示す。また実施
例においてラインセンサーは、％インチで５１２　Ｂｉ
ｔの分解能を有するものを使用したがこれに限定するも
のでない。

第２図は、信号処理システムのブロック図を示し、入力
された信号は、以下の様に処理されて行く。例えば、第
３図に示すように、前記アナログ信号電圧出力４の中に
各１ケの凹凸部があるとすると、凹部がガラスのような
低い反射率の物体１ｃ部分（以下、ガラス部と称す）凸
部が前記磁性合金などの反射率の高い物体１ａ部分（以
下メタル部と称す）である。前記凹部の最低値の中心８
ａと、前記凸部の最高値の中心８ｂは別々の物体と考え
処理をして行く。なお、第３図において、前記アナログ
信号電圧４が水平に表われているところは反射率が中間
の物体１ｂで、例えば磁気ヘッドの磁気回路を構成する
フェライト材である。

（以下フェライト部と称す） 先ず、第２図に示す駆動回路１０により前記ラインセン
サー９からのアナログ信号電圧を読みこみ、次に前記ア
ナログ信号電圧（以下入力信号と称す）をサンプルホー
ルド増幅回路１１で基準電圧に達するよう補正した後そ
の値を保持する。第３図において、前記ガラス部１ｃで
あるが、４ｄがフェライト部からの距離であシ、図示の
ように、フェライト部１ｂとガラス部１ｃ、およびフェ
ライト部１ｂとメタル部１ａ、メタル部１ａとガラス部
１ｃとの境界はラインセンサー９０分解能が反射率の変
化に追従できないため波形が曲線となる。従って正確に
ガラス部ＩＣ又はメタル部１ａの真値４Ｆ、４Ｃは求め
られないので、前記波形の曲線の影響がないところにス
ライスレベルをかけてやシ、このときのガラス部ＩＣ水
平方向のＢｉｔ数４ｆをもとめる。こと１での回路での
処理をサンプルホールド増幅回路で行う。同様にメタル
部１ａの真値４Ｃを求めるとメタル部１ａは、上記凹部
の最低値から凸部の最高値までの距離４ａをもとめ、そ
れをガラス部ＩＣと同様適宜のスライスレベルで処理し
た部分４Ｃを求め、この部分４Ｃが、メタル部１ａのＢ
ｉｔ数とな９、このＢｉｔ数を、Ａ／Ｄ回路１２により
Ａ／Ｄ　（アナログ−デジタル）変換する事により、ガ
ラス部ＩＣとメタル部１ａの値が積算平均化回路１３で
算出されメモリー回路１４に記憶される。次に、あらか
じめ事前に求めておいた第４図に示す補正曲線と、前記
測定で求めたガラス部ＩＣとメタル部１ａの値をパソコ
ン（パーソナルコンピューター）１５’ｒ用いて演算し
各々のギャップ幅又は加算して累計のギャップ幅が測定
できる。上記で求めたギャップ幅をＣＲＴ　（ブラウン
管）上に表示する。前記の方法での測定結果と顕微鏡で
の実測値との間にはりニアリテイがあるので正確な測定
がきる。（第４図）従って、本発明の測定方法は実用に
供することができる。

尚本発明ではラインセンサーを用いたがＣＣＤを用い映
像処理しても同様な測定ができること勿論である。また
、前記アナログ信号電圧４が補正しても規定電圧に達し
ない場合は回路処理によって測定不可であることを示す
表示をするようにしである。

〈効果〉 以上説明したように、本発明は反射率の異なる材料から
なる磁気ヘッドのギャップ幅を顕微鏡に内蔵したライン
センサーによシアナログ信号電圧として検出し、あらか
じめ設定した基準電圧まで補正したのち回路によシ適宜
のスライスレベルをかけ、このときの水平信号のビット
数をＡ／Ｄ変換により求めると共に、あらかじめ求めて
おいたギャップ幅の真値とビット数との補正曲線を用い
て上記水平信号のビット数を補正し磁気ヘッドのギャッ
プ幅を測定するので、従来のように反射率の異な材料に
よる拡散光によって生ずる境界部の判断不能がなくな）
且つ、デジタル処理を行う事により、高精度な、ギャッ
プ測定ができると言う顕著な効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）〜（Ｃ）は、本発明の詳細な説明する図で
、第１図（ａ）は磁気ヘッドのギャップ部の構成を示す
平面図、第１図（ｂ）は同じく磁気ヘッドのギャップ部
の要部断面図、第１図（Ｃ）は磁気ヘッドのギャップ部
をラインセンサーで走査したときのアナログ信号電圧波
形を示す図。 第２図は、本発明の信号の処理システムの一実例を示す
ブロック。 第３図は、アナログ信号電圧波形の処理原理を示す波形
図。 第４図は、同本発明の測定方法で測定した測定値と実測
値との相関関係を示す補正曲線である。 １・・・磁気ヘッドのギャップ部、１ａ・・・メタル部
、１ｂ・・・フェライト部、ＩＣ・・・ガラス部、２・
・・顕微鏡、３・・・基準電圧、４・・・アナログ信号
電圧波形、４Ｆ、４Ｃ・・・顕微鏡による実測値、４ｆ
、４ｃ・・・本発明の測定値、８ａ・・・アナログ信号
電圧の最低値、８ｂ・・・アナログ信号電圧の最高値、
９・・・顕微鏡に内蔵したラインセンサ １ｒ 第 一１ 第 図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 異なる反射率の材料から形成される磁気ヘッドのギャッ
   プ幅の測定方法において、前記ギャップ幅を測定する。 顕微鏡にラインセンサーを取りつけ、ラインセンサーか
   らのアナログ信号電圧を、あらかじめ設定しておいた基
   準電圧まで補正したのち、所定のスライスレベルをかけ
   このときの前記ラインセンサーからのアナログ信号電圧
   波形の水平信号のビット数を求めるとともに、あらかじ
   め求めておいた補正曲線により、上記ビット数を補正し
   てギャップ幅を測定したことを特徴とする磁気ヘッドの
   ギャップ幅測定方法。