JPH0246537B2 - Keisansetsukaijikisoseibutsu - Google Patents
KeisansetsukaijikisoseibutsuInfo
- Publication number
- JPH0246537B2 JPH0246537B2 JP14387085A JP14387085A JPH0246537B2 JP H0246537 B2 JPH0246537 B2 JP H0246537B2 JP 14387085 A JP14387085 A JP 14387085A JP 14387085 A JP14387085 A JP 14387085A JP H0246537 B2 JPH0246537 B2 JP H0246537B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mol
- porcelain
- dielectric
- cao
- sio
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Description
(産業上の利用分野)
本発明は高周波集積回路板、誘電体共振器、共
振器支持台、ICパツケージ、マイクロ波透過窓
等エレクトロニクス分野で利用されるセラミツク
ス特に硅酸石灰磁器組成物に関する。 (従来の技術) 硅酸石灰は従来から高周波絶縁磁器として用い
られている。 しかしながらこの磁器はアルミナ磁器に比べ
1GHz以上の高周波では誘電損失が大きいために
共振周波数の温度係数が小さいという長所がある
にもかかわらず用途がある比較的低周波(〜10M
Hz)の狭い範囲に限定されるものであつた。 (発明が解決しようとする問題点) 上記従来の硅酸石灰系の磁器に於て高周波誘電
損失が大きいという欠点を解決すればその利用範
囲も拡大できるのでその改良が切望されるところ
である。 (問題点を解決するための手段) 本発明はこのような状況に鑑みなされたもの
で、SiO2−CaOに対しTiO2を小量加えることよ
つて、これを焼結したものが、共振周波数の温度
係数が小さいばかりでなく、高周波誘電損失が非
常に小さくできることを見出した。 即ち、本発明の要旨とするところはモル分率で
別紙第1図の三成分組成図の点、A、B、C及び
Dを結ぶ4辺形区域に囲まれた範囲(4辺形を構
成する直線上も含む)内の割合SiO2、CaO及び
TiO2からなる磁器組成物であり、点、A、B、
C及びDは次表のとおりとするものである。
振器支持台、ICパツケージ、マイクロ波透過窓
等エレクトロニクス分野で利用されるセラミツク
ス特に硅酸石灰磁器組成物に関する。 (従来の技術) 硅酸石灰は従来から高周波絶縁磁器として用い
られている。 しかしながらこの磁器はアルミナ磁器に比べ
1GHz以上の高周波では誘電損失が大きいために
共振周波数の温度係数が小さいという長所がある
にもかかわらず用途がある比較的低周波(〜10M
Hz)の狭い範囲に限定されるものであつた。 (発明が解決しようとする問題点) 上記従来の硅酸石灰系の磁器に於て高周波誘電
損失が大きいという欠点を解決すればその利用範
囲も拡大できるのでその改良が切望されるところ
である。 (問題点を解決するための手段) 本発明はこのような状況に鑑みなされたもの
で、SiO2−CaOに対しTiO2を小量加えることよ
つて、これを焼結したものが、共振周波数の温度
係数が小さいばかりでなく、高周波誘電損失が非
常に小さくできることを見出した。 即ち、本発明の要旨とするところはモル分率で
別紙第1図の三成分組成図の点、A、B、C及び
Dを結ぶ4辺形区域に囲まれた範囲(4辺形を構
成する直線上も含む)内の割合SiO2、CaO及び
TiO2からなる磁器組成物であり、点、A、B、
C及びDは次表のとおりとするものである。
【表】
【表】
の三成分を合量で500gとなるようにし、これと
脱イオン水350mlとを内容積1のポリエチレン
ボールミル(20φmm、99.9%アルミナ球石1Kg)
へ入れて50時間粉砕混合する。このスラリーを冷
凍乾燥し粉末とし、この粉末を1260℃で1時間仮
焼し、32メツシユの篩を通す。 上記仮焼粉末 300g 脱イオン水 200ml ヒドロキシプロピルセルロース 9g 以上の三成分を内容積1のポリエチレンボー
ルミル(20φmm、99.9%アルミナ球石2Kg)へ入
れて50時間混合粉砕する。 このようにして得られたスラリーを冷凍乾燥
し、乾燥粉末を32メツシユの篩を通し素地とし
た。 次に素地を圧力1500Kg/cm2でサイズ19φmm×
10.2Lmmに金型プレス成形した。 この成形体を1280℃〜1320℃の範囲のそれぞれ
の最適温度で大気中で焼成し、焼成品をサイズ
15φmm×8Lmmに研磨加工した。両端面は0.1S側面
は0.3Sである。 加工品をアセトンで30分間、脱イオン水で30分
間それぞれ超音波洗滌したものを試料とし、諸特
性を測定した結果を表1に示す。 測定は測定周波数9〜10GHz誘電体円柱共振法
で行なつた。
脱イオン水350mlとを内容積1のポリエチレン
ボールミル(20φmm、99.9%アルミナ球石1Kg)
へ入れて50時間粉砕混合する。このスラリーを冷
凍乾燥し粉末とし、この粉末を1260℃で1時間仮
焼し、32メツシユの篩を通す。 上記仮焼粉末 300g 脱イオン水 200ml ヒドロキシプロピルセルロース 9g 以上の三成分を内容積1のポリエチレンボー
ルミル(20φmm、99.9%アルミナ球石2Kg)へ入
れて50時間混合粉砕する。 このようにして得られたスラリーを冷凍乾燥
し、乾燥粉末を32メツシユの篩を通し素地とし
た。 次に素地を圧力1500Kg/cm2でサイズ19φmm×
10.2Lmmに金型プレス成形した。 この成形体を1280℃〜1320℃の範囲のそれぞれ
の最適温度で大気中で焼成し、焼成品をサイズ
15φmm×8Lmmに研磨加工した。両端面は0.1S側面
は0.3Sである。 加工品をアセトンで30分間、脱イオン水で30分
間それぞれ超音波洗滌したものを試料とし、諸特
性を測定した結果を表1に示す。 測定は測定周波数9〜10GHz誘電体円柱共振法
で行なつた。
【表】
【表】
表1から明らかなように、本発明の実施例に相
当する試料No.1〜11ではいずれも誘電体力率が
0.7〜1.9という小さい値であるのに対し、本発明
の範囲を外れた比較例のものではその誘電体力率
が7.2〜7.9という大きい値である。又Q値も本発
明の実施例は3000〜4000と大きい値であるのに対
し比較例のものは900〜400と小さい。 次に本発明においてSiO2を45.0モル%〜51.5モ
ル%としたのは、45.0モル%よりSiO2が少なくな
ると比誘電率も共振周波数の温度係数も大きくな
り、51.5モル%を超えた場合は誘電体力率が著し
く大きくなるからである。 又、CaOを48.0モル%〜52.0モル%としたの
は、48.0モル%よりCaOが少なくなると焼結体が
得られず52.0モル%を超えた場合は誘電体力率が
極めて悪くなる傾向が大きいためである。 更に又TiO2を0.5モル%〜3.0モル%としたの
は、0.5モル%よりTiO2が少なくなると、共振周
波数の温度係数は極めて優れているものの誘電体
力率が大き過ぎ、逆に3.0モル%を超えた場合は
共振周波数の温度係数が大きくなるにも拘わら
ず、誘電体力率が極めて大きくなるためである。 (発明の効果) 以上の説明から判るように本発明ではSiO2に
CaO及びTiO2を特定割合で配合し焼結する組成
物にしてSiO2+CaOの有する高周波領域での共
振周波数の温度係数の小さい長所を生かしながら
TiO2の混在により高周波誘電損失を著しく小さ
くすることができ、高周波利用の分野に極めて有
効な絶縁磁器を提供することを可能ならしめるも
のである。
当する試料No.1〜11ではいずれも誘電体力率が
0.7〜1.9という小さい値であるのに対し、本発明
の範囲を外れた比較例のものではその誘電体力率
が7.2〜7.9という大きい値である。又Q値も本発
明の実施例は3000〜4000と大きい値であるのに対
し比較例のものは900〜400と小さい。 次に本発明においてSiO2を45.0モル%〜51.5モ
ル%としたのは、45.0モル%よりSiO2が少なくな
ると比誘電率も共振周波数の温度係数も大きくな
り、51.5モル%を超えた場合は誘電体力率が著し
く大きくなるからである。 又、CaOを48.0モル%〜52.0モル%としたの
は、48.0モル%よりCaOが少なくなると焼結体が
得られず52.0モル%を超えた場合は誘電体力率が
極めて悪くなる傾向が大きいためである。 更に又TiO2を0.5モル%〜3.0モル%としたの
は、0.5モル%よりTiO2が少なくなると、共振周
波数の温度係数は極めて優れているものの誘電体
力率が大き過ぎ、逆に3.0モル%を超えた場合は
共振周波数の温度係数が大きくなるにも拘わら
ず、誘電体力率が極めて大きくなるためである。 (発明の効果) 以上の説明から判るように本発明ではSiO2に
CaO及びTiO2を特定割合で配合し焼結する組成
物にしてSiO2+CaOの有する高周波領域での共
振周波数の温度係数の小さい長所を生かしながら
TiO2の混在により高周波誘電損失を著しく小さ
くすることができ、高周波利用の分野に極めて有
効な絶縁磁器を提供することを可能ならしめるも
のである。
第1図は本発明の基本成分範囲を示す三成分組
成図である。
成図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 SiO2、CaO及びTiO2からなる三成分磁器組
成分の配合比がモル分率で表わした三成分組成図
において、次下の点 【表】 を結ぶ線上及びこの線に囲まれる組成範囲にある
ことを特徴とする硅酸石灰磁器組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14387085A JPH0246537B2 (ja) | 1985-07-02 | 1985-07-02 | Keisansetsukaijikisoseibutsu |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14387085A JPH0246537B2 (ja) | 1985-07-02 | 1985-07-02 | Keisansetsukaijikisoseibutsu |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS627665A JPS627665A (ja) | 1987-01-14 |
| JPH0246537B2 true JPH0246537B2 (ja) | 1990-10-16 |
Family
ID=15348909
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14387085A Expired - Lifetime JPH0246537B2 (ja) | 1985-07-02 | 1985-07-02 | Keisansetsukaijikisoseibutsu |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0246537B2 (ja) |
-
1985
- 1985-07-02 JP JP14387085A patent/JPH0246537B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS627665A (ja) | 1987-01-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |