JPH024676B2 - - Google Patents

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JPH024676B2
JPH024676B2 JP56141803A JP14180381A JPH024676B2 JP H024676 B2 JPH024676 B2 JP H024676B2 JP 56141803 A JP56141803 A JP 56141803A JP 14180381 A JP14180381 A JP 14180381A JP H024676 B2 JPH024676 B2 JP H024676B2
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JP
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silane
sphere
oxygen
silica
opacification
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JP56141803A
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JPS5782143A (en
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Hooru Barubie Jan
Ruroie Jiruberu
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Reeru Rikuitsudo SA Puuru Rechuudo E Rekusupurowatashion De Purosede Jioruju Kuroodo
Original Assignee
Reeru Rikuitsudo SA Puuru Rechuudo E Rekusupurowatashion De Purosede Jioruju Kuroodo
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Reeru Rikuitsudo SA Puuru Rechuudo E Rekusupurowatashion De Purosede Jioruju Kuroodo filed Critical Reeru Rikuitsudo SA Puuru Rechuudo E Rekusupurowatashion De Purosede Jioruju Kuroodo
Publication of JPS5782143A publication Critical patent/JPS5782143A/ja
Publication of JPH024676B2 publication Critical patent/JPH024676B2/ja
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01KELECTRIC INCANDESCENT LAMPS
    • H01K3/00Apparatus or processes adapted to the manufacture, installing, removal, or maintenance of incandescent lamps or parts thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C03C17/23Oxides
    • C03C17/245Oxides by deposition from the vapour phase
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02Details
    • H01J61/30Vessels; Containers
    • H01J61/35Vessels; Containers provided with coatings on the walls thereof; Selection of materials for the coatings
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01KELECTRIC INCANDESCENT LAMPS
    • H01K1/00Details
    • H01K1/28Envelopes; Vessels
    • H01K1/32Envelopes; Vessels provided with coatings on the walls; Vessels or coatings thereon characterised by the material thereof
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/20Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21Oxides
    • C03C2217/213SiO2
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00Methods for coating glass
    • C03C2218/10Deposition methods
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    • C03C2218/152Deposition methods from the vapour phase by cvd

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  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Description

【発明の詳现な説明】
本発明は球䜓をガスで乳癜化する方法即ち球䜓
に光拡散局を䞎える方法に関する。 乳癜化には二酞化チタン、シリカ又はアルミナ
の劂き光拡散性の癜色化合物の沈着物即ち析出物
を圢成するこずがあり、該沈着物は球䜓に十分な
接着性を有し䞔぀所望の光拡散を行なうのに適圓
な厚さを有する。 電球を乳癜化する皮々の方法が提案されおい
る。珟圚甚いおいる工業的乳癜化方法には球䜓に
二酞化チタン懞濁物を充填するこずに圚り、該懞
濁物は排気埌にガラス衚面に癜色沈着析出物を残
しこれを400〜500℃の枩床で也燥させる。 ガスによる方法も提案されおいるが、これらの
方法は少なく、工業化されおいるずは思えない。
米囜特蚱第3352703号明现曞による四塩化チタン
の劂きチタン化合物を加氎分解するこずにより二
酞化チタン沈着物を圢成するこずが挙げられる。
アルミナ沈着物は米囜特蚱第3842306号及び第
3868266号明现曞の教瀺を応甚しお溶剀に溶解し
た有機アルミニりム化合物を燃焌させるこずによ
぀お埗られる。米囜特蚱第3109747号明现曞には
比范的耇雑な倚段プロセスによりケむ酞テトラ゚
チルの燃焌によりシリカ沈着物を䞎えるこずが蚘
茉されおいる。 仏囜特蚱第961085号明现曞は球䜓の内面に無定
圢シリカの埮现粒子を斜着するこずにより拡散性
ガラスを圢成するこずに関し、該シリカの沈着は
酞玠の存圚䞋に球䜓の内郚で有機ケむ玠化合物を
燃焌させるこずにより行う。 シリカが球䜓を乳癜化するのに最も実斜される
化合物であるず考えるず、シリカを完党にガス状
で沈着、析出させる方法が求められ、該方法は䞀
方では既知方法よりも経枈的であり他方では既知
方法よりも簡単で迅速である。新芏な乳癜化技術
甚の装眮は球䜓の生産系列に容易に䞀䜓化でき、
かくしお省力化を可胜にする。 本発明によるず、シラン䟋えばSiH4を酞玠で
酞化しお生成したシリカを球䜓の内面に沈着させ
るこずにより球䜓をガスで乳癜化させる。シリカ
沈着物はシランに察しお䞍掻性なガス䞭で0.1〜
容量の濃床に垌釈したシランをアヌクにより
酞玠で酞化するこずにより圢成される。シランに
察しお䞍掻性なガスに垌釈したシランを甚いお氎
玠化ケむ玠が前も぀お分解されるのを回避する。 具䜓䟋を参照しお本発明をより詳现に蚘茉する
が本発明を限定するものではないこずを理解すべ
きである。かゝる぀の具䜓䟋を図面に瀺すが、
図面は本法を行うに適圓な装眮の図解図である。 前蚘した劂く本発明は乳癜化しようず意図する
球䜓内でアヌクの存圚䞋にSiH4を酞玠で酞化す
るこずを䌎ない、䞍掻性の垌釈ガスで垌釈した
SiH4を甚いる。 䜿甚時に行うのが奜たしい垌釈は、シラン濃床
が安党性の理由で氎玠化ケむ玠の自然発火の危険
がある濃床よりも䜎いように行なう。かゝる濃床
は䞀般に玄0.1容量以䞊であるので乳癜化操䜜
は十分に迅速である。䞍掻性ガス䞭の〜シ
ラン含量が奜たしい。䜕故ならばかゝる濃床は乳
癜化を迅速䞔぀安党に達成し埗るからである。シ
ラン濃床の䞊限は実際䞊シランの可燃性濃床のす
ぐ䞋の2.5〜である。埓぀おSiH4濃床は0.1〜
容量であるように遞択し埗る。 シランに察しお䞍掻性なガス党おが䞍掻性担䜓
ずしお適圓であり、窒玠、空気䞭の垌ガス、ヘリ
りム及び氎玠を遞択し埗る。窒玠、アルゎン及び
ヘリりムはこれら぀のガスの前蚘したのず逆の
順序で増倧する収率のシリカ沈着析出物を埗るの
に特に有利である。 反応条件䞋では、窒玠が存圚するず時々かなり
豊富に酞化窒玠蒞気を生成するが、該蒞気は自然
に消倱するか又はガスでの掃気により脱着し埗
る。 ヘリりムは窒玠又はアルゎンよりも良い垌釈ガ
スでありより容易なシリカ沈着物を促進させよ
り高い収率を生起する。 シリカの沈着物に察応する乳癜化の収率は操䜜
埌に球䜓の重量を秀量するこずにより枬定され
る。球䜓の内郚に沈着したシリカ量は蚘号
MSiO2により衚わされ、乳癜化に甚いた玔粋な
シランの党容量は蚘号VSiH4により衚わされる。
シリカの収率は沈着したシリカ量を圢成するのに
理論的に必芁なシランの容量ず甚いたシランの党
容量ずの比率によ぀お衚わされる。 アヌク電匧は氎玠化ケむ玠を分解させお酞
化させ埗る䜜甚を有し、埓぀おシリカを沈着させ
埗る䜜甚を有する。球䜓の内郚にシリカ沈着物を
圢成させるこずはACアヌク電極の端子を暪切぀
お印加される電圧に応じお決たるこずに泚目すべ
きである。高電圧は数千ボルトより倧きく印加
される高電圧は5000〜10000ボルトが望たしく、
7000〜9000ボルトの電圧を印加したアヌクで最良
の収率を埗、電流匷床は䜎い。5000ボルト以䞋及
び10000ボルト以䞊では極めお殆んどシリカは沈
着されず、乳癜化収率の䜎䞋が生起する。 アヌクの䜿甚はシリカ沈着物の圢成には必芁で
あるこずが認められる。アヌクは所䞎の期間に倚
量のガスを通送するように䞔぀迅速な乳癜化を達
成するように出来るだけ幅広であるべきであり
それ故電極同志の間隔は球䜓の倧きさの関数ずし
お出来るだけ倧きい。 他方、シリカ沈着物の圢成速床は、アヌクを通
る䞍掻性ガスに垌釈したシランず酞玠ずのガス混
合物の䟛絊速床の関数である。本発明の反応条件
䞋ではしかも最近の型匏の球䜓に぀いおは、ガス
の総䟛絊量は600時より倧きくあるべきでは
ない。䜕故ならばこの䟛絊率を超えるずシリカの
沈着はもはや満足ではないからである。 球䜓の壁面にシリカの芏則正しい沈着析出を埗
るには、垌釈したシランず酞玠ずの぀のガスの
均質な混合物を球䜓の内郚に圢成させおからこの
ガス状混合物をアヌクに通送する。぀のガスの
混合物をその堎で圢成するには、球䜓内にかなり
接近した高さの぀のガス流を同時に䟛絊するの
が奜たしい。アヌクに掻性ガスを良奜に分散させ
るのに垌釈氎玠化ケむ玠を䞭心から䟛絊し酞玠を
偎方から䟛絊するのが有利であるシランず䞍掻
性ガスずの混合物を酞玠の割合よりもず぀ず高い
割合で䟛絊すべきである。 球䜓の倖郚で垌釈シランず酞玠ずの予備混合を
行い、該混合物を電極間の䞭心に定眮させた球䜓
の内郚に䟛絊するこずもできる。 乳癜化時間を最䜎ずするのに垌釈シランを高速
で䟛絊する利点は了解し埗る。垌釈シランの䟛絊
率は100〜500時であり埗るのが有利であり
100時以䞋では球䜓の乳癜化時間は䜙りにも
長すぎ、500時以䞊では乳癜化収率の降䞋が
認められる。150〜200時の垌釈シラン䟛絊量
を遞択するのが奜たしくこの掻性化合物䟛絊率
は目暙を達成するこずができ、即ち最短の可胜な
乳癜化時間で最高の可胜な乳癜化収率を達成し埗
る。乳癜化時間は䞀般に30秒〜分間であり、特
に暙準球圢寞法の球䜓に぀いおは平均しお35秒〜
分である。酞玠の䟛絊率は10〜60時であり
埗るのが有利であり、10〜30時であるのが奜
たしい。 添附図面を参照しお、珟堎での混合技術を甚
い、䞍掻性ガス䞭の垌釈シランの通路に意図した
䞭心管を通しお䞔぀酞玠䟛絊甚の偎方管を通
しお぀のガスを球䜓に䟛絊する。球䜓にこれ
らのガスを䟛絊する高さは最良の収率で芏則正し
い乳癜化を埗るように遞択する。暙準型球䜓の頚
郚の基郚に䟛絊開孔を定量するこずにより、乳癜
化収率の䜎䞋が党䜓の球䜓に認められる。ガス流
の䟛絊を頚郚の頂郚に定眮させた時も収率枛少の
同じ珟象が認められるが、この配眮を甚いるず球
圢円頂の極めお良奜な乳癜化が認められる。頚郚
の頂点でアヌク電極を盞互䜜甚させながら基郚
から球䜓の頚郚たでの玄2/3の高さにガスの䟛絊
開孔を配眮させるのが品質及び収率に関しお優れ
た乳癜化を埗るのに最適条件であるこずが芋出さ
れた。安党性の理由でガス混合物の導入偎に電極
を぀けるのが有利である。 球䜓䞭ぞのガスの導管及びの䟛絊開孔の盎
埄はたた前蚘の぀の芁件を満たすように遞択す
る。珟圚の型匏の球䜓の堎合には、電極間の間隔
は10〜12mmである。盞異なる頚郚幅を有する別型
匏の球䜓に぀いおは、この間隔を改倉及び適合さ
せ埗る。SiH4及び䞍掻性ガスの䟛絊率が100〜
500時であり、垌釈シラン及び酞玠の攟出開
孔を球䜓頚郚の基郚から頚郚䞊の道皋の2/3に䜍
眮させた暙準球圢型球䜓に぀いおは、玄mmの盎
埄の円圢ガス攟出開孔を甚いお最も満足な結果が
埗られる。同じ条件䞋で倍又は倍倧きい盎埄
の開孔を甚いるず、わずかで䞍芏則な乳癜化が認
められ即ち300〜400時の垌釈シランの䟛絊
率ではシリカの沈着物は衚面の数mmに぀の比范
的に透明な領域を瀺す。䟋えば長さ幅mm
の劂き矩圢のガス䟛絊開孔を遞択するこずによ
り、乳癜化収率の枛少ず沈着物の䞍芏則性が認め
られる。 乳癜化䞭に球䜓を倖郚から冷华するず有利な圱
響が認められ即ち冷たい窒玠又は匷制冷気の劂
きガス流、冷氎等より球䜓を倖郚から冷华する
ず、装入した同量のシランに察しお10の皋床で
沈着シリカの収率を増倧させる。しかしながら、
冷华の圱響は30〜60秒の短期乳癜化では䜙り顕著
ではなく、その間に球䜓の枩床は、分の乳癜化
に぀いお100〜110℃の代りに65℃を越えないもの
ずする。 郚分真空䞋での乳癜化の力孊的な実斜は装眮技
術に工業的な利点を瀺し埗るこずも芋出された。
乳癜化䞭に維持したわずかな枛圧䞋で球䜓内を乳
癜化させるず汚染の危険枛少ずシラン消費の枛少
ずを䌎な぀おより倧きな安党性を䞎えるものであ
る。 本法は管䜓を含めお皮々の寞法の癜熱球及び攟
電球の乳癜化に応甚でき、たた照明蚭備の球䜓に
応甚できる。照明球を乳癜化する方法は球䜓生産
系列に合䜓させるのが望たしい。 管䜓の乳癜化は電極同志で圢成された軞及び管
䜓の軞に平行に管䜓の移行を行うこずにより実斜
でき、電極の長さ及びガスの導入管の長さは乳癜
化すべき管䜓の長さに少くずも等しい。 本発明を次の実斜䟋により説明するが本発明は
これらに限定されるものではない。 実斜䟋  暙準寞法の球䜓においおは、127mmの党高を有
し、その盎埄は球圢郚分で60mmであり、頚郚の基
郚では36mmであり頚郚の頂郚では33mmであり、前
蚘の装眮を有しおおり、ガスの装入ノズルはmm
の盎埄を有しガス攟出開孔は球䜓の頚郚の䞊方2/
にあり、10mmの間隔を眮いたアヌク電極を球䜓
頚郚の頂郚に配眮させ、印加電圧は8000Vであり
AC電流匷床は25ミリアンペアであり、ヘリりム
䞭にに垌釈したシラン13.3を分間䞭心管
に通送させしかも酞玠0.7を偎方管に通送させ
るこずにより400時のガス䟛絊率で操業を行
う。46.6の収率で155mgのシリカの極めお均質
な沈着析出物が埗られる。 実斜䟋  8000Vの電圧を印加した実斜䟋の劂くアヌク
電極を配眮させる同じ条件䞋でしかもAC電流匷
床は25mAであり、ガス䟛絊ノズルの盎埄は前蚘
の劂くmmである条件䞋で、ヘリりム䞭にに
垌釈したシラン12.5を2.5分間䞭心管に通送さ
せしかも酞玠0.8を偎方管に通送させるこずに
より300時のガス䟛絊率で操業を行う。47
の収率で140mgのシリカの極めお均質な沈着物が
埗られる。 実斜䟋  装眮、電極の配眮、電圧、電流匷床及びガス䟛
絊ノズルの盎埄を前蚘ず同じ条件䞋で、アルゎン
䞭にに垌釈したシラン12.5及び酞玠0.8
を通送させるこずにより300時のガス䟛絊率
で操業を行い、29の収率で90mgのシリカの均質
な沈着物を埗る。 実斜䟋  装眮、電極の配眮、電圧、電流匷床、及びノズ
ルの盎埄を前蚘ず同じ条件䞋で、ヘリりム䞭に
に垌釈したシラン12.5及び酞玠0.8を1.5分
間通送させるこずにより500時のガス䟛絊率
で操業を行い40の収率で良奜な乳癜化に察応
する125mgのシリカの均質な沈着物を埗る。 実斜䟋  前蚘の劂き装眮、電極の配眮、電圧、電流匷床
及びノズルの盎埄の条件䞋で、窒玠䞭にに垌
釈したシラン12.5及び酞玠0.8を2.5分間通送
させるこずにより300時のガス䟛絊率で操業
を行う。生成した酞化窒玠の蒞気は堎合によ぀お
はガスでの掃気により陀去し埗るか又は自然に消
倱する。24.3の収率で76mgのシリカの均質な沈
着物を埗る。 実斜䟋  電極の配眮が同じ装眮、印加電圧、電流匷床の
同じ条件䞋で䜆しガス䟛絊ノズルの盎埄をmmず
しながら、アルゎン䞭にに垌釈したシラン
12.5を䞭心管に通送させ酞玠0.820時
を偎方管に通送させるこずにより300時のガ
ス䟛絊率で操業を行う。球䜓を䞍芏則に乳癜化し
ながら110mgのシリカの沈着物が37の収率で埗
られる。 実斜䟋  前蚘装眮ず同じ条件䞋で䜆しノズルの円圢攟出
開孔の代りに幅mm長さmmの溝孔を甚いなが
ら、300時の䟛絊率で実斜䟋の劂く2.5分間
12.5のシランを䞭心管に通送させ0.8の酞玠
を偎方管に通送させる。25の収率で76mgのシリ
カの䞍芏則な沈着物が埗られる。 実斜䟋  本発明の条件によりアルゎン䞭に垌釈したシラ
ンず酞玠ずを予備混合しながら乳癜化機ヘツドを
甚いお䞀連の操業を行い、前蚘の乳癜化機ヘツド
は球䜓補造機に取付けおある。これらの操業は球
圢郚分で60mmの盎埄を有する柄明な暙準寞法球䜓
に぀いお前蚘の劂く行う。アルゎンに〜1.78
に垌釈したガス混合物䞭のシラン含量の圱響を先
ず研究する。結果を以䞋の衚に瀺す。
【衚】  時アルゎン䞭に垌釈たシランの䟛絊率 乳癜化時間 VSiH4乳癜化に甚いた玔粋シランの党容量 MSiO2球䜓の内郚に沈着したシリカの量  シリカの収率 沈着したシリカ量を圢成するのに理論的に必芁なシラン
の容量甚いたシランの党容量 満足な乳癜化に最適な操業条件は前蚘衚の読み
取りから次の劂く掚論し埗る  アルゎン䞭に垌釈したシランを甚いた時 ガス混合物の䟛絊率 150時 酞玠の䟛絊率 10時 乳癜化時間 分30秒 沈着したシリカ量 47mg 沈着したシリカの収率 51  アルゎン䞭に1.5に垌釈したシランを甚い
た時 ガス混合物の䟛絊率 170時 酞玠の䟛絊率 10時 乳癜化時間 45秒 沈着したシリカ量 44mg 沈着したシリカの収率 57  アルゎン䞭に1.78に垌釈したシランを甚い
た時 ガス混合物の䟛絊率 190時 酞玠の䟛絊率 15時 乳癜化時間 35秒 沈着したシリカ量 54mg 沈着したシリカの収率 67 実斜䟋  乳癜化䞭に球䜓を倖郚から冷华した際の圱響を
研究する。 冷华する以倖は前蚘実斜䟋ず同じ条件䞋で埗ら
れた結果を以䞋の衚に瀺す。
【衚】 球䜓を倖郚から冷华するず、装入した同量のシ
ランで10以䞊にもなり埗る沈着SiO2の収率増
倧を生起する。しかしながら冷华の圱響は30〜45
秒の皋床の短期乳癜化には䜙り顕著ではない。 実斜䟋 10 䜎圧詊隓 これらの詊隓では連行したシリカ粒子を保持さ
せるフむルタヌ装眮を甚いお真空系統及びポンプ
装眮の目詰りを避け、他の条件は実斜䟋のそれ
ず同様である。球䜓内郚の初期圧力は0.5絶察圧
であり、詊隓䞭は圧力を0.5〜0.6絶察圧に保持す
る。流䜓の䟛絊は倧気圧で衚瀺され、乳癜化䞭は
倉化しないか又はΔPの関数でわずかにのみしか
倉化しない 1.5のSiH4含有するSiH4−空気混合物の䟛絊
率 175時 酞玠の䟛絊率 10時 乳癜化時間 45秒 沈着したSiO2の量 45〜50mg 沈着したSiO2の収率 57〜62 䜎圧䞋で埗られた結果は同じ䟛絊率及び時間の
条件䞋で倧気圧䞋で達成した結果に完党に匹敵し
埗るこずが芋出された。 本発明の範囲を逞脱するこずなく皮々の倉化を
行い埗るこずは圓業者には明らかであり、本発明
は図面及び明现曞に瀺された内容に限定されるず
考えるべきではない。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の方法を実斜するに適圓な装眮の
図解図であり、図䞭は球䜓、はアヌク電極、
は酞玠䟛絊管、は垌釈シラン䟛絊管を衚わ
す。

Claims (1)

  1. 【特蚱請求の範囲】  アヌクによりシランを酞玠で酞化しお球䜓の
    内面にシリカを圢成、沈着させるこずによ぀お球
    䜓をガスで乳癜化する方法においお、前蚘のシリ
    カ沈着物は、シランに察しお䞍掻性なガス䞭で
    0.1〜容量の濃床に垌釈したシランを酞化す
    るこずにより圢成されるこずを特城ずする、球䜓
    をガスで乳癜化する方法。  䞍掻性ガス䞭のシランの濃床は〜であ
    る特蚱請求の範囲第項蚘茉の方法。  アヌクに5000〜10000ボルトのAC電圧を䟛絊
    する特蚱請求の範囲第項又は第項蚘茉の方
    法。  垌釈シランの流速は100〜500時であり、
    酞玠の䟛絊量は10〜60時である特蚱請求の範
    囲第項〜第項の䜕れかに蚘茉の方法。  乳癜化はこの操䜜䞭に球䜓を倖郚から冷华し
    ながら行なう特蚱請求の範囲第項蚘茉の方法。  乳癜化は球䜓の内面䞊で乳癜化䞭に維持した
    わずかな枛圧䞋で行なう特蚱請求の範囲第項蚘
    茉の方法。  ぀のガス状流䜓即ち垌釈シランず酞玠ずの
    均質混合物は、これをアヌクに通送させる前に球
    䜓の内郚に圢成させる特蚱請求の範囲第項蚘茉
    の方法。  垌釈シランを䞭倮から䟛絊し、シランの䟛絊
    率を酞玠の䟛絊率よりも高くしながら酞玠を偎方
    から䟛絊する特蚱請求の範囲第項蚘茉の方法。  ぀のガス状流䜓即ち垌釈シランず酞玠ずの
    均質混合物は球䜓の内郚に䞭倮から䟛絊しながら
    球䜓の倖郚で圢成する特蚱請求の範囲第項蚘茉
    の方法。
JP56141803A 1980-09-10 1981-09-10 Method of opacifying spherical body with gas Granted JPS5782143A (en)

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CA1170213A (fr) 1984-07-03
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JPS5782143A (en) 1982-05-22
EP0047688B1 (fr) 1983-11-30
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