JPH0247032U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0247032U JPH0247032U JP12660788U JP12660788U JPH0247032U JP H0247032 U JPH0247032 U JP H0247032U JP 12660788 U JP12660788 U JP 12660788U JP 12660788 U JP12660788 U JP 12660788U JP H0247032 U JPH0247032 U JP H0247032U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- ultrasonic
- irradiate
- processing liquid
- surface treatment
- Prior art date
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- Granted
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 3
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 claims 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Weting (AREA)
Description
第１図は本考案にに係る洗浄装置の縦断正面図
、第２図はその要部の平面図、第３図は傾斜角度
と微粒子除去率との関係を示すグラフ、第４図は
従来例による洗浄装置の縦断側面図である。 １……処理槽、２……処理液、３……超音波発
振器、４……基板搬送手段、Ｐ……基板、Ｐｓ…
…被照射面、θ……傾斜角度。
、第２図はその要部の平面図、第３図は傾斜角度
と微粒子除去率との関係を示すグラフ、第４図は
従来例による洗浄装置の縦断側面図である。 １……処理槽、２……処理液、３……超音波発
振器、４……基板搬送手段、Ｐ……基板、Ｐｓ…
…被照射面、θ……傾斜角度。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 処理層内に貯溜した処理液中で、基板搬送手段
により基板を搬送し、処理液中に配置した超音波
発振器により基板に超音波を照射するように構成
した基板の表面処理装置において、 １ＭＨｚ前後の超音波を発振する超音波発振器
を基板搬送路の両側に少なくとも一組配置し、基
板の被照射面に対して浅い傾斜角度で音波を入射
させることにより、被照射面を照射するように構
成したことを特徴とする基板の表面処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12660788U JP2538492Y2 (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 | 基板の表面処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12660788U JP2538492Y2 (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 | 基板の表面処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0247032U true JPH0247032U (ja) | 1990-03-30 |
| JP2538492Y2 JP2538492Y2 (ja) | 1997-06-18 |
Family
ID=31378281
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12660788U Expired - Lifetime JP2538492Y2 (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 | 基板の表面処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2538492Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-09-27 JP JP12660788U patent/JP2538492Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2538492Y2 (ja) | 1997-06-18 |
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