JPH0189958U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図〜第９図は本考案の実施例を示すもので
あつて、第１図は連続処理装置の搬送方向に沿う
断面図、第２図は第１図の―線矢視側面図、
第３図は第１図の―線矢視断面図、第４図は
移動ビーム及び被処理物の運動を説明するための
概略図で、同図ａは概略部分正面図、同図ｂは概
略側面図、第５図は移動ビームの変位運動要領を
説明するための説明図、第６図は霧化部の概略図
、第７図はノズル部の断面図、第８図は第７図の
―線矢視側面図、第９図は被処理物の入炉か
らの経過時間と被処理物の温度との関係を示すグ
ラフである。第１０図は従来のスプレー方式の連
続表面処理装置の搬送方向に沿う部分断面図であ
る。 なお、図面に示された符号に於いて、１……装
置本体、２，３４……ヒータ、６……固定ビーム
、９……移動ビーム、２４Ａ……上下動駆動機構
、２４Ｂ……前進、後退駆動機構、３１……表面
処理手段、３２……霧化部、３３，３６……容器
、３７……超音波振動子、４０……表面処理材料
の溶液、４０Ａ……溶液からの蒸気、４０Ｂ……
霧状溶液、４０Ｃ……帯電した霧状溶液、４１…
…帯電電極、４２……ノズル部、４３……集束電
極、Ｗ……被処理物（ガラス基板）、ＣＦ……透
明導電膜、である。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 処理装置本体と；第一の載置部材及び移動可能
   な第二の載置部材からなる被処理物載置手段と；
   前記第二の載置部材を前記第一の載置部材に対し
   反復して変位運動させ、これによりこれら第一及
   び第二の載置部材間で被処理物を交互に載置させ
   ながらこの被処理物を搬送する駆動手段と；前記
   被処理物を表面処理するための表面処理手段とを
   具備し、この表面処理手段が、 (a) 前記表面処理のための材料を霧状にする霧
   化部と、 (b) 霧状になつた前記材料を帯電させる帯電部
   と、 (c) 帯電した前記材料を前記被処理物の表面に
   集束させる集束部と を有する連続表面処理装置。