JPH0311055U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0311055U JPH0311055U JP6940989U JP6940989U JPH0311055U JP H0311055 U JPH0311055 U JP H0311055U JP 6940989 U JP6940989 U JP 6940989U JP 6940989 U JP6940989 U JP 6940989U JP H0311055 U JPH0311055 U JP H0311055U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- pressed
- processing apparatus
- back plate
- cathode body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図はこの考案の実施例を示す説明図である
。第２図は従来の装置を示す説明図である。 図中、１……真空槽、２……基板、２ａ……基
板の裏面、３……カソード本体、４……トレー、
５……背板、７……アース物体。なお、図中、同
一符号は同一または相当部分を示している。
。第２図は従来の装置を示す説明図である。 図中、１……真空槽、２……基板、２ａ……基
板の裏面、３……カソード本体、４……トレー、
５……背板、７……アース物体。なお、図中、同
一符号は同一または相当部分を示している。
Claims (1)
- 搬送自在のトレーによつて支持されている基板
をその裏面より背板で押圧すると共に、基板と、
カソード本体とを真空槽内で所定の間隔をおいて
対向させ、基板とカソード本体との間の空間に発
生するプラズマにより、基板の表面に薄膜を形成
する真空処理装置において、上記基板の裏面を押
圧する背板に離脱可能に当接する移動自在なアー
ス電位のアース物体を配設したことを特徴とする
真空処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6940989U JPH069012Y2 (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 真空処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6940989U JPH069012Y2 (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 真空処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0311055U true JPH0311055U (ja) | 1991-02-01 |
| JPH069012Y2 JPH069012Y2 (ja) | 1994-03-09 |
Family
ID=31604687
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6940989U Expired - Lifetime JPH069012Y2 (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 真空処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH069012Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011149094A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-08-04 | Canon Anelva Corp | 成膜装置及びクリーニング方法 |
-
1989
- 1989-06-14 JP JP6940989U patent/JPH069012Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011149094A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-08-04 | Canon Anelva Corp | 成膜装置及びクリーニング方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH069012Y2 (ja) | 1994-03-09 |