JPH0247552Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は試料室内の真空度を向上させた電子顕
微鏡に関する。

〔従来技術〕

一般に電子顕微鏡等では、試料の汚染を防止す
るためには試料室内の真空度を向上させる必要が
ある。そのため、例えば冷却トラツプを試料近傍
に配置することにより試料近傍の残留ガス中の有
機ガス分子を前記冷却トラツプに吸着せしめてい
る。

〔考案が解決しようとする問題点〕

ところで、冷却トラツプを試料近傍に配置して
真空度を向上させるような装置では、該冷却トラ
ツプを冷媒によつて冷却した場合に、該冷却トラ
ツプが熱伸縮するため試料ホルダー等を介して試
料がドリフトする。このドリフトは、冷媒の補給
直後は特に激しく数時間で冷媒を補給しなければ
ならない現状では、長時間にわたる写真撮影をす
ることは困難で鮮明な試料像を得ることができな
かつた。

本考案は以上の点に鑑みなされたもので、冷却
トラツプを使用することなく試料近傍の真空度を
向上させて鮮明な試料像を得ることができる電子
顕微鏡を提供することを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案は以上の目的を達成するため、対物レン
ズ、該対物レンズの上下磁極片間に配置される試
料とを備える電子顕微鏡において、前記対物レン
ズの上ヨークと下ヨーク間であつて、互いに略平
行な磁力線が存在する領域に、該磁力線と略垂直
に配置された板状陰極と、該板状陰極の間に対向
して配置された筒状陽極と、該陰極と陽極間に電
圧を印加する電源とを備えたことを特徴としてい
る。

〔実施例〕

以下図面を用いて本考案の実施例を詳述する。

第１図は本考案の一実施例の要部を示す構成図
で第２図は全体図である。第１図又は第２図にお
いて、１は試料室で、２は対物レンズである。該
対物レンズ２は上ヨーク２ａ、下ヨーク２ｂ、上
磁極片３ａ、下磁極片３ｂ、コイル４等で構成さ
れている。５ａ，５ｂは前記対物レンズの上ヨー
ク２ａと下ヨーク２ｂ間であつて、対物レンズの
中心軸（光軸）Ｚと直交する平面内に配置された
一対の平行板状の陰極で、該陰極５ａ，５ｂは例
えばチタン（Ti）で形成され対向して配置され
ている。６は該陰極５ａと５ｂ間に配置され例え
ばステンレススチール（SUS）で形成された複
数の円筒状の陽極で、該陰極と陽極間には電源７
より高電圧が印加される。８は電子線EBが照射
される試料である。

このように構成された装置では、コイル４を励
磁すると、上磁極片３ａ、下磁極片３ｂに比較的
近い領域に、光軸Ｚと略平行な磁力線Ｂが発生す
る。この状態で、陽極６と陰極５ａ，５ｂ間に電
源７より高電圧を印加すると、陽極６と陰極５
ａ，５ｂがイオンポンプとして作動し、イオンポ
ンプと同様な原理によつて試料室１内が排気され
るため、試料室の真空度を向上させることができ
る。

第３図は本考案をサイドエントリーゴニオメー
タを装着した電子顕微鏡に適用した場合の実施例
を示す図で、第１図に示す実施例装置と同一構成
要素には同一番号を付してその説明を省略する。
第３図において、９は図示しない油回転ポンプ等
により粗引きされた試料導入路で、該試料導入路
９にはバルブ１０，１１によつて仕切り得るチヤ
ンバー１２が形成されている。１３は試料導入
棒、１４は試料導入棒１３に保持された試料であ
る。又、チヤンバー１２内には第４図に示すよう
に陰極５ａ，５ｂと陽極６が配置され、図示しな
い電源によつて高電圧が印加されるようになつて
いる。

このように構成された装置では、先ず、バルブ
１０を開状態にして試料１４がチヤンバー１２内
に位置するまで試料導入棒１３を移動させる。こ
の状態で、陽極６と陰極５ａ，５ｂ間に高電圧を
印加すると、前記したように陽極６と陰極５ａ，
５ｂがイオンポンプとして作動するため試料１４
を収容した状態でチヤンバー１２内が排気され
る。ここで、チヤンバー１２内が試料室１内と略
同一真空度になつたら、更にバルブ１１を開状態
にし、該試料１４が電子線照射点に位置するまで
試料導入棒１３を移動させる。

従つて、このように構成された装置では、試料
導入の際に起る試料室１内の真空度の低下を防止
し、試料周辺を高真空に維持した状態で試料を観
察することができる。又、従来装置のように冷却
トラツプを使用していないため、冷却トラツプの
熱伸縮による試料のドリフトも無く、長時間にわ
たる写真撮影が可能となる。

尚、上述した実施例では、陽極を円筒状陽極に
よつて形成したがその断面を矩形状に形成しても
良い。

又、上述した実施例では、陰極は一対の平行板
状の陰極５ａ，５ｂで形成したが、例えば陰極５
ａのみを配置しても良い。

〔考案の効果〕

以上詳述したように本考案によれば、冷却トラ
ツプを使用することなく試料近傍の真空度を向上
させるようにしたため、試料にドリフトが生ぜ
ず、従つて、鮮明な試料像を得ることができる電
子顕微鏡が提供される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の要部の構成図、第
２図はこの一実施例の全体を示す図、第３図は他
の一実施例の構成図、第４図はチヤンバーの内部
を示す図である。 １……試料室、２……対物レンズ、２ａ……上
ヨーク２ａ、２ｂ……下ヨーク２、３ａ……上磁
極片、３ｂ……下磁極片、４……コイル、５ａ，
５ｂ……陰極、６……陽極、７……電源、８……
試料、９……試料導入路、１０，１１……バル
ブ、１２……チヤンバー、１３……試料導入棒、
１４……試料。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 対物レンズ、該対物レンズの上下磁極片間に配
   置される試料とを備える電子顕微鏡において、前
   記対物レンズの上ヨークと下ヨーク間であつて、
   互いに略平行な磁力線が存在する領域に、該磁力
   線と略垂直に配置された板状陰極と、該板状陰極
   の間に対向して配置された筒状陽極と、該陰極と
   陽極間に電圧を印加する電源とを備えたことを特
   徴とする電子顕微鏡。