JPH0247762U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例正断面図、第２図は
第１図のピエゾ駆動機構斜視図、第３図は第２図
のアクチユエータシユーが試料ホルダーに接触し
ている部分の正面図、第４図は第１図の試料ホル
ダー支持装置側面図、第５図は試料ホルダーのロ
ータリーエンコーダ正断面図である。 １…真空試料室、２…電子顕微鏡ヘツド、３…
姿勢制御部筐体、４…超音波モータ、５…垂直回
転軸、６，７…支持台、８，９…軸受、１０…回
転テーブル、１１，１１′…ハウジング、１２…
試料ホルダー、１２ａ…試料保持部、１３，１３
′…ピエゾ駆動機構、１９…ロータリーエンコー
ダ、１９ａ…回転軸、１９ｂ…スリツター、１９
ｃ…内輪、１９ｄ…外輪、１９ｅ…筺体、１９ｆ
…ボール。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 回転軸及び該回転軸に固定されたスリツタ
   ー及び該回転軸を軸支する転がり軸受の内輪、外
   輪および転動体を鋼で構成するとともに、前記内
   、外輪の軌道部および転動体の表面に潤滑性金属
   のイオン注入もしくは軟質金属コーテイングを施
   した電子顕微鏡用真空試料室内の試料姿勢制御装
   置のロータリーエンコーダ。 (2) 前記転がり軸受の転動体がセラミツクでな
   る請求項第(1)項記載の電子顕微鏡用真空試料室
   内の試料姿勢制御装置のロータリーエンコーダ。