JPH0247763U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0247763U JPH0247763U JP12596688U JP12596688U JPH0247763U JP H0247763 U JPH0247763 U JP H0247763U JP 12596688 U JP12596688 U JP 12596688U JP 12596688 U JP12596688 U JP 12596688U JP H0247763 U JPH0247763 U JP H0247763U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample holder
- rotation axis
- diameter
- bearing
- rotating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims 2
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案の一実施例正断面図、第２図は
第１図のピエゾ駆動機構斜視図、第３図は第２図
のアクチユエーターシユーが試料ホルダーに接触
している部分の正面図、第４図は第１図の試料ホ
ルダー回転支持装置正面図である。 １…真空試料室、２…電子顕微鏡ヘツド、３…
姿勢制御部筐体、４…超音波モータ、５…垂直回
転軸、６，７…支持台、８，９…軸受、１０…回
転テーブル、１１，１１′…ハウジング、１２…
試料ホルダー、１３，１３′…ピエゾ駆動機構、
１９，２０…ロータリーエンコーダ、２１…固定
基盤、２２，２３…回転基盤、２４…ジヨイント
。
第１図のピエゾ駆動機構斜視図、第３図は第２図
のアクチユエーターシユーが試料ホルダーに接触
している部分の正面図、第４図は第１図の試料ホ
ルダー回転支持装置正面図である。 １…真空試料室、２…電子顕微鏡ヘツド、３…
姿勢制御部筐体、４…超音波モータ、５…垂直回
転軸、６，７…支持台、８，９…軸受、１０…回
転テーブル、１１，１１′…ハウジング、１２…
試料ホルダー、１３，１３′…ピエゾ駆動機構、
１９，２０…ロータリーエンコーダ、２１…固定
基盤、２２，２３…回転基盤、２４…ジヨイント
。
Claims (1)
- 試料保持部を有するスピンドル状の試料ホルダ
ーの水平回転軸を軸支する転がり軸受のハウジン
グの高さ、及び試料ホルダーの水平回転軸とロー
タリーエンコーダの回転軸を結合するジヨイント
の回転径を試料ホルダーの回転径より小とし、前
記軸受の転動面には潤滑性金属のイオン注入もし
くは軟質金属コーテイングを施した電子顕微鏡用
真空試料室に於ける試料ホルダー回転装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12596688U JPH0247763U (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12596688U JPH0247763U (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0247763U true JPH0247763U (ja) | 1990-04-03 |
Family
ID=31377044
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12596688U Pending JPH0247763U (ja) | 1988-09-27 | 1988-09-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0247763U (ja) |
-
1988
- 1988-09-27 JP JP12596688U patent/JPH0247763U/ja active Pending