JPH0248622B2 - - Google Patents
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- JPH0248622B2 JPH0248622B2 JP60176819A JP17681985A JPH0248622B2 JP H0248622 B2 JPH0248622 B2 JP H0248622B2 JP 60176819 A JP60176819 A JP 60176819A JP 17681985 A JP17681985 A JP 17681985A JP H0248622 B2 JPH0248622 B2 JP H0248622B2
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- steel plate
- high vacuum
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Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
一方向性けい素鋼板は、一般に熱間圧延と冷間
圧延を経た冷延薄板の２次再結晶粒を、（100）
〔001〕方位、（すなわちゴス方位）に高度に集積
させて所望の磁気的性質を具備させ、主に変圧器
その他の電気機器類の鉄心に使用され、ここに磁
束密度（B10値で代表される）が高くしかも鉄損
（W17/50値で代表される）の低いことが要求され
るが、これまでの研究努力により当今は、板厚
0.3mmでB10：1.90T以上、W17/50：1.05W／Kg以下
また、板厚0.23mmではB10：1.89T以上、W17/50：
0.90W／Kg以下のような超低鉄損一方向性けい素
鋼板も製造され得るようになつた。
圧延を経た冷延薄板の２次再結晶粒を、（100）
〔001〕方位、（すなわちゴス方位）に高度に集積
させて所望の磁気的性質を具備させ、主に変圧器
その他の電気機器類の鉄心に使用され、ここに磁
束密度（B10値で代表される）が高くしかも鉄損
（W17/50値で代表される）の低いことが要求され
るが、これまでの研究努力により当今は、板厚
0.3mmでB10：1.90T以上、W17/50：1.05W／Kg以下
また、板厚0.23mmではB10：1.89T以上、W17/50：
0.90W／Kg以下のような超低鉄損一方向性けい素
鋼板も製造され得るようになつた。
しかるに省エネの見地で電力損失のより厳しい
低減要求は、とくに欧米にて鉄損の減少分を換価
して変圧器価格に上積みする、ロスエバリユエー
シヨン（鉄損評価）制度にまで発展し、それも定
着するに至つている。
低減要求は、とくに欧米にて鉄損の減少分を換価
して変圧器価格に上積みする、ロスエバリユエー
シヨン（鉄損評価）制度にまで発展し、それも定
着するに至つている。
このようにか酷な要請に応えるため発明者ら
は、一方向性けい素鋼板の特性改善それも極限的
な鉄損低減を目指して研究活動を続けて来たが、
方向性けい素鋼板の最終焼鈍、つまり仕上焼鈍後
の操作、とくに被膜処理についての革新的な手法
を試み、顕著な鉄損低減の成果を得、引続く検討
と研鑽を加えて、以下に述べる一方向性けい素鋼
板の鉄損低減連続処理設備の適合を解明した。
は、一方向性けい素鋼板の特性改善それも極限的
な鉄損低減を目指して研究活動を続けて来たが、
方向性けい素鋼板の最終焼鈍、つまり仕上焼鈍後
の操作、とくに被膜処理についての革新的な手法
を試み、顕著な鉄損低減の成果を得、引続く検討
と研鑽を加えて、以下に述べる一方向性けい素鋼
板の鉄損低減連続処理設備の適合を解明した。
（従来の技術）
特開昭57−2252号、同57−53419号、同58−
26405号及び同58−26406号各公報には、仕上焼鈍
後の一方向性けい素鋼板の表面に、圧延方向とほ
ぼ直角な向きにレーザ照射を施すことによつて局
部的微小ひずみの導入による磁区細分化をもつ
て、鉄損の低減を図ることが開示されているが、
この場合、いわゆるひずみ取り焼鈍を加えない使
途では有効であつても、該焼鈍が施されたときは
折角導入された局部微小ひずみが加熱保持中に解
放され、磁区幅が拡大してレーザ照射による効果
が喪失してしまう不利がある。
26405号及び同58−26406号各公報には、仕上焼鈍
後の一方向性けい素鋼板の表面に、圧延方向とほ
ぼ直角な向きにレーザ照射を施すことによつて局
部的微小ひずみの導入による磁区細分化をもつ
て、鉄損の低減を図ることが開示されているが、
この場合、いわゆるひずみ取り焼鈍を加えない使
途では有効であつても、該焼鈍が施されたときは
折角導入された局部微小ひずみが加熱保持中に解
放され、磁区幅が拡大してレーザ照射による効果
が喪失してしまう不利がある。
これに対して発明者らはさきに、上記のような
高温処理にも拘らず特性劣化を伴うことない超低
鉄損一方向性けい素鋼板の製造に成功した。
高温処理にも拘らず特性劣化を伴うことない超低
鉄損一方向性けい素鋼板の製造に成功した。
すなわち方向性けい素鋼板の常法に従う最終焼
鈍工程を経て鋼板の外面に生成した酸化物を除去
した後、表裏両面に研磨処理を施して鏡面状態に
し、ついでイオンプレーテイングよりTi、Zr、
Ｖ、Nb、Ta、Cr、Mo、Ｗ、Mn、Co、Ni、
Al、Ｂ及びSiの窒化物及び又は炭化物ならびに Al、Ni、Cu、Ｗ、Si及びZnの酸化物 のうちから選んだ少なくとも１種からなる極薄張
力被膜を形成させることである。
鈍工程を経て鋼板の外面に生成した酸化物を除去
した後、表裏両面に研磨処理を施して鏡面状態に
し、ついでイオンプレーテイングよりTi、Zr、
Ｖ、Nb、Ta、Cr、Mo、Ｗ、Mn、Co、Ni、
Al、Ｂ及びSiの窒化物及び又は炭化物ならびに Al、Ni、Cu、Ｗ、Si及びZnの酸化物 のうちから選んだ少なくとも１種からなる極薄張
力被膜を形成させることである。
（発明が解決しようとする問題点）
上記の成功を導いた実験的成果を基盤として、
工業的規模における、その有利な適合を成就すべ
き、一方向性けい素鋼板の鉄損低減連続処理設備
を与えることがこの発明の目的である。
工業的規模における、その有利な適合を成就すべ
き、一方向性けい素鋼板の鉄損低減連続処理設備
を与えることがこの発明の目的である。
（問題点を解決するための手段）
この発明は方向性けい素鋼板の常法に従う最終
焼鈍工程を経た鋼板の表裏両面の鏡面化処理に供
する電解研磨用処理槽列と、この電解研磨により
鏡面化した鋼板の表裏両面の連続的なイオンプレ
ーテイング処理に供する、２組の蒸発源及びイオ
ン化電極を有する高真空処理槽及びこの高真空処
理槽の入側にて、上記鋼板を洗浄し、ついで予熱
する、超音波洗浄槽と予備加熱及び／又はイオン
ボンバード処理設備とをそなえることを特徴とす
る一方向性けい素鋼板の鉄損低減連続処理設備で
ある。
焼鈍工程を経た鋼板の表裏両面の鏡面化処理に供
する電解研磨用処理槽列と、この電解研磨により
鏡面化した鋼板の表裏両面の連続的なイオンプレ
ーテイング処理に供する、２組の蒸発源及びイオ
ン化電極を有する高真空処理槽及びこの高真空処
理槽の入側にて、上記鋼板を洗浄し、ついで予熱
する、超音波洗浄槽と予備加熱及び／又はイオン
ボンバード処理設備とをそなえることを特徴とす
る一方向性けい素鋼板の鉄損低減連続処理設備で
ある。
さて第１図に最終焼鈍を経た方向性けい素鋼板
の表裏両面上の酸化物を除去した後の鏡面研磨処
理と、ひきつづくイオンプレーテイング処理とを
行う連続処理設備を模式図をもつて示す。
の表裏両面上の酸化物を除去した後の鏡面研磨処
理と、ひきつづくイオンプレーテイング処理とを
行う連続処理設備を模式図をもつて示す。
図中１は外面上の酸化物を除去した後の方向性
けい素鋼板コイル、２は以下の各槽を含む電解研
磨用処理槽列で、３は酸洗槽、４は洗浄槽、５は
No.１電解槽、６はNo.２電解槽、７は洗浄槽そして
８は乾燥槽であり、９は電解研磨処理槽列２の入
側と出側に設けたルーパーである。
けい素鋼板コイル、２は以下の各槽を含む電解研
磨用処理槽列で、３は酸洗槽、４は洗浄槽、５は
No.１電解槽、６はNo.２電解槽、７は洗浄槽そして
８は乾燥槽であり、９は電解研磨処理槽列２の入
側と出側に設けたルーパーである。
また１０は高真空処理槽、１１，１１′，１
１″は高真空処理槽１０の入側に配列した予備排
気槽列、１２は高真空排気系統、１３はガス導入
口、そして１４，１４′，１４″は高真空処理槽１
０の出側に配列した予備排気槽列であり、１５は
高真空処理槽１０内で上下２段に配設した蒸発
源、１６は各蒸発源１５に対設したイオン化電極
をあらわし、１７は通板用ガイドロール群を示
す。さらに、１８，１９は、入側の予備排気槽列
１１，１１′，１１″を挟んで配列した超音波洗浄
設備と、予備用イオンボンバード処理設備、そし
て２０はイオンプレーテイング処理を経て巻取つ
たコイルを示し、なお９′は高真空処理槽１０の
入側と出側に設けたルーパーである。
１″は高真空処理槽１０の入側に配列した予備排
気槽列、１２は高真空排気系統、１３はガス導入
口、そして１４，１４′，１４″は高真空処理槽１
０の出側に配列した予備排気槽列であり、１５は
高真空処理槽１０内で上下２段に配設した蒸発
源、１６は各蒸発源１５に対設したイオン化電極
をあらわし、１７は通板用ガイドロール群を示
す。さらに、１８，１９は、入側の予備排気槽列
１１，１１′，１１″を挟んで配列した超音波洗浄
設備と、予備用イオンボンバード処理設備、そし
て２０はイオンプレーテイング処理を経て巻取つ
たコイルを示し、なお９′は高真空処理槽１０の
入側と出側に設けたルーパーである。
なお図中２１は、通板経路の要所に配置したシ
ヤーである。
ヤーである。
第２図に超音波洗浄設備１８の詳細を図解した
ように、超音波槽Ａ，Ｄ、リンス槽Ｂ，Ｅ、脱水
槽Ｃ、蒸気槽Ｆ及び乾燥槽Ｇの７つの槽よりなり
これによつて鏡面化処理鋼板の表面をとくにきれ
いに、浄化することにより板面との密着性改善に
役立てる。
ように、超音波槽Ａ，Ｄ、リンス槽Ｂ，Ｅ、脱水
槽Ｃ、蒸気槽Ｆ及び乾燥槽Ｇの７つの槽よりなり
これによつて鏡面化処理鋼板の表面をとくにきれ
いに、浄化することにより板面との密着性改善に
役立てる。
予熱用イオンボンバード処理設備２０は、エレ
クトロンビームの如き予備加熱設備でもよいがそ
れに加えエレクトロンビームによりArまたはH2
イオンを鋼板表面上にボンバートメントすること
が有効である。
クトロンビームの如き予備加熱設備でもよいがそ
れに加えエレクトロンビームによりArまたはH2
イオンを鋼板表面上にボンバートメントすること
が有効である。
（作用）
鋼板表裏面に対する電解研磨処理およびそれに
ひきつづくイオンプレーテイング処理は次の順序
で行われる。
ひきつづくイオンプレーテイング処理は次の順序
で行われる。
最終焼鈍を経て巻取つた一方向性けい素鋼板の
コイル１は電解研磨用処理槽列２の入側ルーパー
９を通して、まず酸洗槽３に導いて、鋼板の表面
酸化物を除去し、次に洗浄槽４に通して清浄化し
た後No.１およびNo.２の電解槽５，６により電解研
磨を施して鋼板表面を鏡面状態に仕上げ、つい
で、洗浄槽７で表面を洗浄し、再び乾燥槽８を通
して乾燥させる。
コイル１は電解研磨用処理槽列２の入側ルーパー
９を通して、まず酸洗槽３に導いて、鋼板の表面
酸化物を除去し、次に洗浄槽４に通して清浄化し
た後No.１およびNo.２の電解槽５，６により電解研
磨を施して鋼板表面を鏡面状態に仕上げ、つい
で、洗浄槽７で表面を洗浄し、再び乾燥槽８を通
して乾燥させる。
次に鋼板は電解研磨用処理槽列２の出側のルー
パー９、さらに高真空処理槽１０の入側ルーパー
９′を通し高真空処理槽１０へ導入するがこのと
き、超音波洗浄設備１８により板面を清浄にして
から高真空処理槽１０の入側でこの処理槽１０に
向けて漸次に高真空度に調圧区分した予備排気槽
１１，１１′及び１１〃を通して高真空処理槽１
０の真空封止を確保する。ついで予備加熱及び／
又はイオンボンバード処理設備２０において鋼板
表面を200〜500℃に予備加熱するか又はさらに
Ar又はH2イオンボンバードにより鋼板表面をさ
らに清浄化してから、高真空処理槽１０の内部で
通板用ガイドロール群１７により形成される迂曲
した通板経路に沿つて連続的に通板して、該槽内
で上、下２段に配設した蒸発源１５、イオン化電
極１６に沿う通板移動中に、イオンプレーテイン
グ処理を施す。
パー９、さらに高真空処理槽１０の入側ルーパー
９′を通し高真空処理槽１０へ導入するがこのと
き、超音波洗浄設備１８により板面を清浄にして
から高真空処理槽１０の入側でこの処理槽１０に
向けて漸次に高真空度に調圧区分した予備排気槽
１１，１１′及び１１〃を通して高真空処理槽１
０の真空封止を確保する。ついで予備加熱及び／
又はイオンボンバード処理設備２０において鋼板
表面を200〜500℃に予備加熱するか又はさらに
Ar又はH2イオンボンバードにより鋼板表面をさ
らに清浄化してから、高真空処理槽１０の内部で
通板用ガイドロール群１７により形成される迂曲
した通板経路に沿つて連続的に通板して、該槽内
で上、下２段に配設した蒸発源１５、イオン化電
極１６に沿う通板移動中に、イオンプレーテイン
グ処理を施す。
イオンプレーテイング処理は蒸発源１５中で溶
融金属の蒸発を生じさせつつガス導入口１３から
微量のガスを導入しこのガス雰囲気中でイオン化
電極１６を通してはじめに掲げた窒化物及び／又
は炭化物並び酸化物からなる張力薄膜の鋼板表面
への被着を連続的に行う。
融金属の蒸発を生じさせつつガス導入口１３から
微量のガスを導入しこのガス雰囲気中でイオン化
電極１６を通してはじめに掲げた窒化物及び／又
は炭化物並び酸化物からなる張力薄膜の鋼板表面
への被着を連続的に行う。
この場合第１図から明らかなように鋼板表裏両
面に対して薄膜コーテイング処理を行い得る。
面に対して薄膜コーテイング処理を行い得る。
蒸発源１５として役立たせるための金属の溶解
には図示を略したが、電子ビーム、ホーローカン
ード、電極加熱装置などを従来公知のいずれの装
置を用いてもよく、また短時間に有効に被膜形成
させるため通板中の鋼板面直下に磁界をかけてイ
オンを加速させるマグネトロン装置を使用しても
良い。
には図示を略したが、電子ビーム、ホーローカン
ード、電極加熱装置などを従来公知のいずれの装
置を用いてもよく、また短時間に有効に被膜形成
させるため通板中の鋼板面直下に磁界をかけてイ
オンを加速させるマグネトロン装置を使用しても
良い。
上記のようにして通板中の連続的なイオンプレ
ーテイング処理を施した鋼板は高真空処理槽１０
の出側でやはりこの処理槽に近い程高真空度に調
圧区分した予備排気槽列１４，１４′及び１４″を
経由する差動排気システムの採用により順次真空
度を低くして大気中に導出し、コーテイング９′
を通じてコイル１８に巻取られる。
ーテイング処理を施した鋼板は高真空処理槽１０
の出側でやはりこの処理槽に近い程高真空度に調
圧区分した予備排気槽列１４，１４′及び１４″を
経由する差動排気システムの採用により順次真空
度を低くして大気中に導出し、コーテイング９′
を通じてコイル１８に巻取られる。
（発明の効果）
一方向性けい素鋼板の鏡面研磨処理後に、超音
波洗浄、予備加熱及び／又はイオンボンバードメ
ントを含めたイオンプレーテイング処理が単一ラ
インで連続的に、とくに鏡面研磨処理とその後の
入念な洗浄に引続くイオンプレーテイング処理
が、表面の鏡面化の良好な表面性状で劣化を来す
前に、いち早く行なわれ得るので鋼板表面の張力
被膜が効果的に被着形成され、その密着性が際立
つてすぐれることも相まつて鉄損を効果的に低化
させることができる。
波洗浄、予備加熱及び／又はイオンボンバードメ
ントを含めたイオンプレーテイング処理が単一ラ
インで連続的に、とくに鏡面研磨処理とその後の
入念な洗浄に引続くイオンプレーテイング処理
が、表面の鏡面化の良好な表面性状で劣化を来す
前に、いち早く行なわれ得るので鋼板表面の張力
被膜が効果的に被着形成され、その密着性が際立
つてすぐれることも相まつて鉄損を効果的に低化
させることができる。
なおこの装置は低炭素冷延鋼板や、ステンレス
鋼板などの一般鋼板についての鏡面研磨処理・セ
ラミツクコーテイング処理の連続ラインにも利用
可能である。
鋼板などの一般鋼板についての鏡面研磨処理・セ
ラミツクコーテイング処理の連続ラインにも利用
可能である。
（実施例）
一方向性けい素鋼板（0.23mm厚）の仕上焼鈍後
酸洗により鋼板表面上の酸化物を除去して巻取つ
たコイル（約８トン）を第１図に示した連続処理
設備に通しラインスピード40ｍ／minにて鋼板の
表裏両面に0.8μｍ厚のTiN張力被膜を形成させ
た。製品の磁気特性は次のようであつた。
酸洗により鋼板表面上の酸化物を除去して巻取つ
たコイル（約８トン）を第１図に示した連続処理
設備に通しラインスピード40ｍ／minにて鋼板の
表裏両面に0.8μｍ厚のTiN張力被膜を形成させ
た。製品の磁気特性は次のようであつた。
B10＝1.92T、W17/50＝0.66W／Kg
第１図はこの発明による一方向性けい素鋼板の
鉄損低減連続処理設備の模式図、第２図は超音波
洗浄槽の詳細図である。 ２……電解研磨用処理槽列、１０……高真空処
理槽、１５……蒸発源、１６……イオン化電極、
１８……超音波洗浄槽、２０……予備加熱及び／
又はイオンボンバード設備。
鉄損低減連続処理設備の模式図、第２図は超音波
洗浄槽の詳細図である。 ２……電解研磨用処理槽列、１０……高真空処
理槽、１５……蒸発源、１６……イオン化電極、
１８……超音波洗浄槽、２０……予備加熱及び／
又はイオンボンバード設備。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 方向性けい素鋼板の常法に従う最終焼鈍工程
を経た鋼板の表裏両面の鏡面化処理に供する電解
研磨用処理槽列と、 この電解研磨により鏡面化した鋼板の表裏両面
の連続的なイオンプレーテイング処理に供する、
２組の蒸発源及びイオン化電極を有する高真空処
理槽及び この高真空処理槽の入側にて、上記鋼板を洗浄
し、ついで予熱する、超音波洗浄槽と予備加熱及
び／又はイオンボンバード処理設備と をそなえることを特徴とする一方向性けい素鋼板
の鉄損低減連続処理設備。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60176819A JPS6240368A (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | 一方向性けい素鋼板の鉄損低減連続処理設備 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60176819A JPS6240368A (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | 一方向性けい素鋼板の鉄損低減連続処理設備 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6240368A JPS6240368A (ja) | 1987-02-21 |
| JPH0248622B2 true JPH0248622B2 (ja) | 1990-10-25 |
Family
ID=16020397
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60176819A Granted JPS6240368A (ja) | 1985-08-13 | 1985-08-13 | 一方向性けい素鋼板の鉄損低減連続処理設備 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6240368A (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08144041A (ja) * | 1994-11-17 | 1996-06-04 | Toppan Printing Co Ltd | 巻取り式真空蒸着装置 |
| JP3735846B2 (ja) * | 1995-08-28 | 2006-01-18 | 石川島播磨重工業株式会社 | 連続真空蒸着装置における鋼板の予備加熱方法及び装置 |
| WO2001074927A1 (en) | 2000-03-31 | 2001-10-11 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | Process for producing novel silicone polymer, silicone polymer produced by the process, thermosetting resin composition, resin film, metal foil with insulating material, insulating film with metal foil on each side, metal-clad laminate, multilayered metal-clad laminate, and multilayered printed circuit board |
| JP2007092985A (ja) * | 2005-08-30 | 2007-04-12 | Nissan Motor Co Ltd | ピストンリング構造体 |
| KR102458991B1 (ko) | 2018-03-30 | 2022-10-25 | 제이에프이 스틸 가부시키가이샤 | 방향성 전기 강판의 제조 방법 및 연속 성막 장치 |
| WO2019188683A1 (ja) | 2018-03-30 | 2019-10-03 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 表面処理設備 |
| US20210040606A1 (en) * | 2018-03-30 | 2021-02-11 | Jfe Steel Corporation | Equipment for manufacturing grain-oriented electromagnetic steel sheet |
| RU2743387C1 (ru) | 2018-03-30 | 2021-02-17 | ДжФЕ СТИЛ КОРПОРЕЙШН | Устройство замены мишени и установка для обработки поверхности |
-
1985
- 1985-08-13 JP JP60176819A patent/JPS6240368A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6240368A (ja) | 1987-02-21 |
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