JPH02501694A - 内容検証装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 内容検証装置 本発明は内容検証ＨＭに関するものである。例えばシリコンウェーハ上へ集！ｉ 回路を作製する場合に、処理過程の個々段階が密閉した無Ｍ環境内で行われ、こ れらの環ｉ間のシリコンウェーへの受渡しにおいてシリコンウェーハを封止され た容器に入れるようにした、方法が存在する。そのような方法とそれに付随する ＩＩについては、雑誌「５ｏｌｉｄ　５ｔａｔｅ　ＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＪの１ ９８４年７月号に掲載されたＨｉｋｉｒ　Ｐａｒｉｋｈと旧ｒｉｃｈ　Ｋａｅｉ ｐｆによるｒ　Ｓ　Ｍ　Ｉ　Ｆ　：　Ａ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　ｆｏｒ　ｗａ ｆｅｒ　ｃａｓｓｅｔｔｅｔｒａｎｓｆｅｒ　ｉｎ　ＶＬＳ　Ｉ　ｍａｎｕｆａ ｃｔｕｒｉｎｏ（ＳＭ　Ｉ　Ｆ　：ＶＬＳＩ製造におけるウェー八カセット転送 技術）」と題する論文に述べられている。シリコンウェーハが処理ステーション において必要な回数を越して処理されるとしたらそれは望ましくないことである ので、容器及びその内容物については最初にデータベース中へ記録される。

容器は識別手段を有しており、処理ステーションにおいて及びステーション周で 追跡されるようになっている。

処理の進行は監視でき、もしその内容が目的を持って変更されたなら、その情報 がホストのコンピュータへ報告されて、データベース中へ記録される。データベ ースは、理想的には各ウェーハの帽りそれが受けた処理、それが収納されている 容器についての情報を含む。このｍ歴は容器が処理ステーションへ到着する度に 更新される。

我々による同時係属出願の第　号に おいて、そのような容器に用いられる機密タグについて述べである。このＩ！タ グはもしその容器が事故によっであるいはそうでなくて開けられたなら、そのこ とがわかるように構成されているものである。そのような場合には、その容器の 内容を再検査して、それに対応してウェーハの履歴を更新する必要がある。

そのような容器を他の機会にも内容検証したいことが起る。

本発明の１つの目的は、それだけに限定するわけではないが、特に上述のような 集積回路の製造に用いるための内容検証装置を得ることである。

本発明に従えば、同類の物品の供給源のうちから１個の物品を抽出するための操 作手段、その物品上に設けられた識別記号を読むための読取手段、物品のための すくなくとも１個の受容器であって、読取りの後で操作手段によって物品がそこ へ戻されるようになった受容器、読取手段によって得られたその物品に関する情 報を記録するための情報記録手段、を含む内容検証装置が得られる。

本発明は以下に、−例をあげて、図面を参照しながらより詳細に説明する。

［図面の簡単な説明］ 第１図は、本発明に従う内容検証装置の側面模式図である。

第２図は、第１図に示した装置の模式平面図である。

Ｍ３図は、内容検証装置、それに付随するホストコンピュータ、及び他の協同装 置のブロック図である。

第４図は、本発明に従う内容検証装置の動作を説明する流れ図である。

［実施例］ 最初に第１図と第２図を参照すると、本発明に従って構成された内容検証装置は 、封止された容器がその中へ転送されるようになった密閉された汚染のない環境 ・１０を含んでいる。この環境１０には容器をこの中へロードし、容器を開け、 複数個のシリコンウェーハ１４を収容しているカセット１２を取り出すための手 段が含まれている。取り出されたカセット１２はステーション１６に置かれる。

ステーション１６に置かれたカセット１２はウェーハ操作手段１８に相対的なあ らかじめ定められた位２へそのウェーハ１４を提供する。このウェーハ操作手段 １８は垂直方向に可動であり、また回転することができるようになっており、そ の真空アームがカセット１２内のウェーハ１４へ延びてウェーハを取出すことが できる。この７−ム２０はそれによって保持したウェーハ１４を特定の方向を選 ぶように回転させることのできるようになった手段を含んでいる。この装置は操 作手段１８を搭載するようになったトラック２２を含んでいる。

操作手段１８は、ウェー八１４上にレーザで描かれた識別記号をビデオカメラ２ ４が読み取れるように、ウェーハ１４を位置決めする。レーザで書込まれた識別 記号はビデオカメラ以外の装置によって機械的に読取ることもできるが、その他 にこの環境１ｏ外のモニタにおいてオペレータが読みとることができるようにな っているのが望ましい。

以下に説明するように、この内容検証装置はホストコンピュータと通信しており 、ウェーハ１４の素姓はホストコンピュータへ送られる。コンピュータはそのウ ェーハ１４がカセットへ再びＯ−ドされるべきか、他の複数個のポートまたはス テーション２６のうちの１つへ送ってその検証装置に付随する処理段階を受けさ せるべきか、あるいはカセット（図示されていない）へ再びロードして封止され た容器に入れて他の処理ステーションへ転送すべきかを決定する。ステーション ２６にあるエレベータ２８はカセットを垂直方向で位置決めして、そのような前 進を方向づけされたウェー／１１４を受取ることができるように作動する。

この内容検証装置はそれ自身完全独立した装置であってもよいし、また集積回路 の製造中の１つの段階を構成する処理ステーションの一部を構成するものであっ てもよい。

完全独立したｖｔ置として最も有用な使い方は、前述の同時係属出願の明細書中 で述べたように、機密タグによって封止容器が不注意に、偶然に、不法に開けら れたことが検出された場合に、その容器の内容を検査することであろう。

そのような用途に対しても、この装置は切離されていることが望ましいものの、 処理ステーションの一部を構成するといってもよい。

次に第２図と第３図を参照すると、内容検証装置は３０で示されている。これは 、ウェーハ方向決めステーション１６、ウェーハ操作手段１８、ウェーハアーム ２０、ステーション２６及びエレベータ２８、を含んでいる。

これは更に、操作手段１８、アーム２０．エレベータ２８、封止された容器を開 けるための手段（図示されていない）、そこからカセットを取出すための手段、 の動きを制御するためのシステム１１１ｍユニット３２を含んでいる。

既に述べたように、装置３０はホスト通信ライン３６を介しての遠隔ホストコン ピュータと、局部的７０グラム制御プロセツサ３４との制御下で動作する。ビデ オカメラ２４あるいは他の読取手段はプロセッサ３４及び影像システム３８月の 入力を供給し、オペレータがカメラの視野に置かれたウェーハ板１４上の識別記 号を検査、読取りできるようにしている。局部データ記録４０はプロセッサ３４ 用の動作プログラムを供給し、また必要とされる関連データを提供する。手動制 御ｎ４２が設けられていて、オペレータがプログラムされていない操作を割込ま せることを可能にしている。例えば前出の同時係属出願の明ＩＩＩに述べた読取 手段ような読取器４４が通信インターフェース４６によってプロセッサ３４へつ ながれている。

既に述べたように、また我々の前出の同時係属出願の中にも示したように、各処 理ステーションは、通信インターフェースによってホストコンピュータへ、また 隣接のプロセッサ３４へつながれた読取器４４を含んでいる。

動作時には第３図の流れ図にも示されたように、封止された容器は処理ステーシ ョンへ結合せられ、読取器４４によってその素姓が調べられ、また最後に封止さ れて以来、許可なく開封されていないかについて機密タグが調べられる。読取器 はその解答をホストコンピュータと局部プロセッサ３４へ送信する。もし容器が 開封されていると、その特定の処理ステーションに内容検証装置が備えられてい なければ、その容器を自己独立型の内容検証＠＠へ送る必要がある。もしそのス テーションに内容検証装置が備えられていれば、容器を開けてそこに含まれてい るウェーハ１４を各々カセット１４から取出して、ビデオカメラ／オペレータま たは機械によって読取り、カセット１２へ戻し、そこに記入されていた情報をホ ストコンピュータへ送り、ホストコンピュータのデータ記憶中に保存されている 。その特定のウェーハに関する履歴を更新することを行うことができる。すべて のウェーハを検査してしまうと、カセットを容器中へ納めて封止し、その容器の １ｍ密タグを再びセットする。この容器は次にもしその内容検証装置を含む処理 ステーション以外であれば、それの正しい目的地へ送り出される。

上述の手順は本発明の内容検証装置の非常に望ましい用法である。

本装置はまた「シャンティング　ヤード（Ｓｈｕｎｔｉｎｇｙａｒｃｌ）　Ｊと しても利用できる。すなわちそれはバッチ分割、マージ及びソート機能を実現で きる。

封止された容器が内容検証装置のところへ到着したと想定する。もし機密タグが 容器が同封されたことを示していれば、上述のような処置がとられる。その後で 、あるいはもし機密タグがその容器が開封されていないことを示していれば、ホ ストコンピュータまたは局部プロセッサ３４から「分割」命令が受信される。次 に容器は開けられて、その中のカセット１２をステーション１６へ置く。次にカ セット１２から各ウェーハ１４が取出されて、読取りのための操作を施こされ、 読取られ、指示通りにエレベータ２８中またはそのステーションにあるカセット 中へ置かれる。このように、個々のウェーハは新しいスタックへ仕分けられるか 、あるいは特定の処理ステーションで処置されるか、もとのカセットへ戻される 。

更に、既に特定のエレベータ２８中またはステーション２６のカセット中に置か れているウェーハ１４はステーション１６にあるカセット１２中へ転送されうる 。このように、特定の処理ステーションへ向けて、封止されたような構成は、数 多くの互に異なるウェーハを１つの処理ステーションで一緒にして共通の処理を 施こした後、また別々の処理ステーションへ向けて仕分けするような、少量のカ スタム集積回路の製造において必要である。本発明に従った内容検証装置を使用 して特定のウェーハの履歴を更新する方法は、ウェーハが他の等しくないウェー ハと、あらゆる時点で、また別のカセット中で、更に異なる封止容器および／ま たは異なる処理ステーションにおいて混ぜ合される場合でも、ウェーハの追跡を 可能とする。

本発明は上述の実施例そのものにだけ限定されず、数多くの変更、修正をも含む ものである。

例えば、集積回路の作製に関して述べたけれども、ここに述べた検証Ｖｉ置は同 様に動作する装置にも用いることができる。この内容検証装置のポート２６は各 々分離された処理サブステーションや別の処理ステーションへ向けての転送ボー トを構成していてもよい。

ホストコンピュータは装置に対してウェーハの適切な識別信号といっしょに「内 容検証」、「内容ソート」、「内容分割」、「内容マージＪ等の大域命令を発す ることができる。そうではなくて、各ウェーハが読取られるたびに、ホストコン ピュータが実時間で検証装置に対してその特定のウェーハに藻こすべき必要な機 能を指示するようにしてもよい。

内容検証装置は密閉された汚染のない環境中で使用するのが最も有用である。そ れによって、処理されるつ工−ハの汚染の危険度を減らすことができる。そのよ うな危険の存在しないところでは、本装置は密閉環境なしで用いることができる 。

本発明の範囲内でその他の変更が可能である。

浄書（内容に変更なし） 浄書（内容に変更なし） 手続ネ…正書坊式） ％式％ １−事件の表示 ＰＣＴ／ＧＢ８８１００８９５ ２、発明の名称 内容検証装置 氏名（名称） ブレラシー　オーバーシーズ　リミテッド４−代理人 ５−ネ…正命令の日１寸　平成２年２月２７日６一ネｍ正Ｇこよりす曽カロする 請求項の数７−補正の対象 願書に最初に添付した図面の浄書（内容に変更なし）国際調査報告 国際調査報告 ＳＡ　２４８９４

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. １．内容検証装置であつて、同類の物品の供給源から１個の物品を取出すための 操作手段、前記物品上に設け５れた識別記号を読取るための読取手段、物品が読 取られた後で操作手段によつて戻されるべきすくなくとも１個の物品用受容器、 読取手段によつて得られたその物品に関する情報を記録するための情報記録手段 、を含む内容検証装置。
2. ２．請求項１の装置であつて、密閉された汚染のない環境を周辺に保持するため の密閉環境空間を含む、装置。
3. ３．請求項１または２の装置であつて、その装置に対して物品が封止した容器に 入れて供給されるようになつており、更に容器を開封するための手段とその内容 を操作ステーションへ設置するための手段とを含む、装置。
4. ４．請求項１、２、３のいずれかの装置であつて、前記操作手段が供給源か５物 品を取出すための真空アームを含んでいる、装置。
5. ５．請求項１から４のうちの任意の装置であつて、前記操作手段が、物品を読取 手段に対して供給するのに先立つて物品を方向決めするための手段を含んでいる 、装置。
6. ６．請求項１から５のうちの任意の装置であつて、前記読取手段が物品上の識別 記号を機械的に読取るための手段を含んでいる、装置。
7. ７．請求項１から６のうちの任意の装置であつて、前記読取手段が、物品上の識 別記号をオペレータが読むことを許容するためにビデオカメラとモニタとを含ん でいる、装置。
8. ８．請求項１から７のうちの任意の装置であつて、更に、読取りの後物品を設置 する受容器に対して操作手段を方向決めするための複数個の受容器と中央手段を 含む、装置。
9. ９．請求項１から８のうちの任意の装置であつて、物品が容器内部のスタツク手 段に納められて装置へ供給されるようになっており、その受容器または各受容器 が１個のスタツク手段を受入れるように構成され、それによつて読取りの後物品 がそこへ受入れられるようになつている、装置。
10. １０．請求項１から９のうちの任意の装置であつて、物品がシリコンウェーハで あり、前記装置が集積回路製造プロセスの処理ステーションに付随しているよう な、装置。
11. １１．請求項１０の装置であつて、前記装置またはそこに付随する処理ステーシ ョンが、それへ供給された物品の容器の識別記号を読取るための、また容器にと りつけられた機密タグの状態を検出してその容器が不法に開封されたか否かを決 定するための、読取器を含むような、装置。
12. １２．請求項９及び１０または９及び１１の装置であつて、シリコンウェーハが 封止容器内のカセツト中に積重ねられており、その受容器または各受容器が読取 り後のウェーハを受入れるためのカセツトを含んでいるような、装置。
13. １３．請求項１から１２のうちの任意の装置であつて、物品に関する情報を記録 するための前記手段が、前記装置とデータ記録を有するホストコンピュータとの インタフェースをなす通信インタフェースを含み、それによつて各物品の完全な 重斬された履歴が常に保存されるようになつた、装置。