JPH0250422B2 - - Google Patents
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- JPH0250422B2 JPH0250422B2 JP56174542A JP17454281A JPH0250422B2 JP H0250422 B2 JPH0250422 B2 JP H0250422B2 JP 56174542 A JP56174542 A JP 56174542A JP 17454281 A JP17454281 A JP 17454281A JP H0250422 B2 JPH0250422 B2 JP H0250422B2
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- phase difference
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/02—Analysing fluids
- G01N29/024—Analysing fluids by measuring propagation velocity or propagation time of acoustic waves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
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- Analytical Chemistry (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は液体中に伝搬する超音波の速度変化を
測定するための超音波測定装置に関する。
測定するための超音波測定装置に関する。
本発明による超音波測定置は、圧電基板の一面
に１対のくしの歯状電極を組合せて構成したイン
ターデイジタル電極を有する超音波トランスデユ
ーサを利用する。このようなトランスデユーサ
は、インターデイジタル電極への電気信号の印加
によつて液体中に超音波を放射し、逆に液体中を
伝搬して来た超音波を受波して電気信号を出力す
る機能をもつている。従つて、２個のトランスデ
ユーサを夫々入力用及び出力用として互いに離間
して配置し、入力用トランスデユーサから液体中
に放射された超音波を所定の伝搬路長を経由させ
た後出力用トランスデユーサで受波するように構
成すれば、超音波遅延デバイスを得ることができ
る。
に１対のくしの歯状電極を組合せて構成したイン
ターデイジタル電極を有する超音波トランスデユ
ーサを利用する。このようなトランスデユーサ
は、インターデイジタル電極への電気信号の印加
によつて液体中に超音波を放射し、逆に液体中を
伝搬して来た超音波を受波して電気信号を出力す
る機能をもつている。従つて、２個のトランスデ
ユーサを夫々入力用及び出力用として互いに離間
して配置し、入力用トランスデユーサから液体中
に放射された超音波を所定の伝搬路長を経由させ
た後出力用トランスデユーサで受波するように構
成すれば、超音波遅延デバイスを得ることができ
る。
本発明はこのような超音波遅延デバイスを利用
して、液体中を伝搬する超音波の速度変化を測定
する装置を提供しようとするものである。
して、液体中を伝搬する超音波の速度変化を測定
する装置を提供しようとするものである。
この目的を達成するための本発明の特徴は、超
音波を反射する反射面を持ち、液体を収容する単
一の容器と、単一の圧電基板の一面に一対のイン
ターデイジタル電極を互いに離間してもうけるこ
とにより構成される入力用及び出力用の超音波ト
ランスデユーサを持つ単一の超音波素子とを具備
し、前記入力用超音波トランスデユーサから液体
中に放射された超音波が前記反射面で反射された
後出力用超音波トランスデユーサで受波されるよ
うに前記超音波素子が前記容器に装着された超音
波遅延デバイスと、該デバイスの入力用トランス
デユーサの入力信号と出力用トランスデユーサの
出力信号との間の位相差を検出し出力する位相差
検出器とを有し、液体中の音速の変化を位相差と
して検出するごとき超音波測定装置にある。
音波を反射する反射面を持ち、液体を収容する単
一の容器と、単一の圧電基板の一面に一対のイン
ターデイジタル電極を互いに離間してもうけるこ
とにより構成される入力用及び出力用の超音波ト
ランスデユーサを持つ単一の超音波素子とを具備
し、前記入力用超音波トランスデユーサから液体
中に放射された超音波が前記反射面で反射された
後出力用超音波トランスデユーサで受波されるよ
うに前記超音波素子が前記容器に装着された超音
波遅延デバイスと、該デバイスの入力用トランス
デユーサの入力信号と出力用トランスデユーサの
出力信号との間の位相差を検出し出力する位相差
検出器とを有し、液体中の音速の変化を位相差と
して検出するごとき超音波測定装置にある。
以下図面により本発明の実施例を説明する。
第１図は本発明による超音波測定装置の一実施
例で、超音波遅延デバイス１と、該デバイスに周
波数frの入力信号を与えるシンセサイザー３０
と、入力信号をデバイス１の出力レベルに減衰さ
せデバイス１の出力信号との間のコンパレートを
容易にするアツテネータ４０と、該アツテネータ
の出力とデバイス１の出力信号との位相差を比較
検出する位相差検出器５０を有する。なお、アツ
テネータ４０を用いることなく入力信号を直接位
相差検出器に与えても良い。
例で、超音波遅延デバイス１と、該デバイスに周
波数frの入力信号を与えるシンセサイザー３０
と、入力信号をデバイス１の出力レベルに減衰さ
せデバイス１の出力信号との間のコンパレートを
容易にするアツテネータ４０と、該アツテネータ
の出力とデバイス１の出力信号との位相差を比較
検出する位相差検出器５０を有する。なお、アツ
テネータ４０を用いることなく入力信号を直接位
相差検出器に与えても良い。
超音波遅延デバイス１は、第１図及びその側断
面を示す第２図から明らかなように、容器１０と
超音波素子２０を有する。
面を示す第２図から明らかなように、容器１０と
超音波素子２０を有する。
容器１０には液体の注入口１０ａと排出口１０
ｂがもうけられ、容器内に液体１４を充填するこ
とができるように構成されている。超音波素子２
０は、１対のくしの歯状電極をインターデイジタ
ルに組合せた２組の電極２４，２６を単一の圧電
基板２２の一面に互いに離間してもうけることに
より構成される入力用のトランスデユーサＡと出
力用のトランスデユーサＢを有する。入力用トラ
ンスデユーサＡからは入力端子２４ａ及びアース
端子２４ｂが引き出され、出力用トランスデユー
サＢからは出力端子２６ａ及びアース端子２６ｂ
が引き出され、両トランスデユーサのアース端子
は容器１０にグラウンドされる。超音波素子２０
の圧電基板２２の厚さは表面波が励起される厚
さ、具体的には該基板に励起される音波の波長の
数倍以上（望ましくは５倍以上）の厚さを有す
る。このような構成の超音波素子２０は、第２図
に示すように、電極面を容器１０内の液体１４に
接し、入力用トランスデユーサＡからの音波が液
体１４を伝搬して容器の底面１２で反射された後
出力用トランスデユーサＢで受波されるように、
容器１０に装着される。
ｂがもうけられ、容器内に液体１４を充填するこ
とができるように構成されている。超音波素子２
０は、１対のくしの歯状電極をインターデイジタ
ルに組合せた２組の電極２４，２６を単一の圧電
基板２２の一面に互いに離間してもうけることに
より構成される入力用のトランスデユーサＡと出
力用のトランスデユーサＢを有する。入力用トラ
ンスデユーサＡからは入力端子２４ａ及びアース
端子２４ｂが引き出され、出力用トランスデユー
サＢからは出力端子２６ａ及びアース端子２６ｂ
が引き出され、両トランスデユーサのアース端子
は容器１０にグラウンドされる。超音波素子２０
の圧電基板２２の厚さは表面波が励起される厚
さ、具体的には該基板に励起される音波の波長の
数倍以上（望ましくは５倍以上）の厚さを有す
る。このような構成の超音波素子２０は、第２図
に示すように、電極面を容器１０内の液体１４に
接し、入力用トランスデユーサＡからの音波が液
体１４を伝搬して容器の底面１２で反射された後
出力用トランスデユーサＢで受波されるように、
容器１０に装着される。
上記構成のデバイス１０にシンセサイザー３０
から周波数frの交流電気信号を入力用トランスデ
ユーサＡに印加すれば、第２図に示すように、圧
電基板２２への法線と角度θをなす方向に超音波
ビームが放射される。この放射角θは液体中での
縦波速度をVL、圧電基板上の表面波速度をVRと
すれば、 θ＝sin-1VL／VR (1) を満足する。入力用トランスデユーサＡから角度
θで液体１４中へ放射された超音波ビームは、容
器底面１２で反射された後出力用トランスデユー
サＢで受波され出力端子２６ａに遅延出力信号と
して与えられる。液体中を伝搬する音波の速度
は、該液体の種類、温度、圧力、濃度などによる
液体の弾性的性質に影響され、出力信号の遅延時
間もこれらによつて異なつて来る。従つて出力信
号の入力信号に対する遅延時間従つて位相差を測
定すれば、容器内の液体１４の弾性的性質の変化
を観測することができる。
から周波数frの交流電気信号を入力用トランスデ
ユーサＡに印加すれば、第２図に示すように、圧
電基板２２への法線と角度θをなす方向に超音波
ビームが放射される。この放射角θは液体中での
縦波速度をVL、圧電基板上の表面波速度をVRと
すれば、 θ＝sin-1VL／VR (1) を満足する。入力用トランスデユーサＡから角度
θで液体１４中へ放射された超音波ビームは、容
器底面１２で反射された後出力用トランスデユー
サＢで受波され出力端子２６ａに遅延出力信号と
して与えられる。液体中を伝搬する音波の速度
は、該液体の種類、温度、圧力、濃度などによる
液体の弾性的性質に影響され、出力信号の遅延時
間もこれらによつて異なつて来る。従つて出力信
号の入力信号に対する遅延時間従つて位相差を測
定すれば、容器内の液体１４の弾性的性質の変化
を観測することができる。
なお、流動状態の液体を用いる場合、第１図お
よび第２図に示すごとき位置に注入口および排出
口を有する本実施例では超音波の伝搬方向に液体
が流動することになるので、その流速いかんによ
つて充填状態の場合に比較し超音波の伝搬に速度
差を生ずるおそれがあり、従つてこのような場合
には、注入口１を容器の側面にもうけ、超音波の
伝搬方向に対し直角方向から流入するごとく構成
することが有効である。
よび第２図に示すごとき位置に注入口および排出
口を有する本実施例では超音波の伝搬方向に液体
が流動することになるので、その流速いかんによ
つて充填状態の場合に比較し超音波の伝搬に速度
差を生ずるおそれがあり、従つてこのような場合
には、注入口１を容器の側面にもうけ、超音波の
伝搬方向に対し直角方向から流入するごとく構成
することが有効である。
第３図は位相差検出器の具体的な回路例で、各
超音波送受波器の出力信号をパルス化するパルス
化回路５０１、パルス化された各出力信号を分周
する分周回路５０２、および分周された各出力信
号から位相差に対応するパルスを作り出し積分回
路を介して直流電圧値として出力する位相比較回
路５０３とからなる。
超音波送受波器の出力信号をパルス化するパルス
化回路５０１、パルス化された各出力信号を分周
する分周回路５０２、および分周された各出力信
号から位相差に対応するパルスを作り出し積分回
路を介して直流電圧値として出力する位相比較回
路５０３とからなる。
第４図は第３図の回路中における波形図であ
り、Ａ〜Ｉの各波形は第３図の同一符号で示す個
所の信号波形を示す。
り、Ａ〜Ｉの各波形は第３図の同一符号で示す個
所の信号波形を示す。
第３図のごとき構成で、位相差検出器の入力端
子IN−１およびIN−２の夫々に印加された超音
波送音受波器の各正弦波出力信号ＡおよびＢは、
パルス化回路５０１でパルス化されパルス信号Ｃ
およびＤとして分周回路５０２に印加される。パ
ルス信号ＣおよびＤは、分周回路５０２において
実周波成分が除去される（Ｅ，Ｆ）と共に分周さ
れる。分周は速度差の測定領域を拡大するため
で、例えば２分の１分周することにより測定領域
は２倍となる、分周されたパルス信号ＧおよびＨ
は位相比較回路５０３に印加された位相差に対応
するパルス信号とされた後、出力端子OUTにそ
れに対応する直流電圧値して供給される。なお、
位相比較回路における表示素子５０３ａ及び５０
３ｂは、出力信号間の位相差が進相か遅相かを判
断するためのものである。即ち、表示素子５０３
ａおよび５０３ｂの“ON”状態は、分周前の位
相差Δφaおよび分周後の位相差Δφbが夫々遅相状
態となつていることを示す。遅相状態の場合には
回路５０２のスイツチSWを切換えればよく、こ
れにより進相状態での出力関係とまつたく同じ測
定が可能となる。
子IN−１およびIN−２の夫々に印加された超音
波送音受波器の各正弦波出力信号ＡおよびＢは、
パルス化回路５０１でパルス化されパルス信号Ｃ
およびＤとして分周回路５０２に印加される。パ
ルス信号ＣおよびＤは、分周回路５０２において
実周波成分が除去される（Ｅ，Ｆ）と共に分周さ
れる。分周は速度差の測定領域を拡大するため
で、例えば２分の１分周することにより測定領域
は２倍となる、分周されたパルス信号ＧおよびＨ
は位相比較回路５０３に印加された位相差に対応
するパルス信号とされた後、出力端子OUTにそ
れに対応する直流電圧値して供給される。なお、
位相比較回路における表示素子５０３ａ及び５０
３ｂは、出力信号間の位相差が進相か遅相かを判
断するためのものである。即ち、表示素子５０３
ａおよび５０３ｂの“ON”状態は、分周前の位
相差Δφaおよび分周後の位相差Δφbが夫々遅相状
態となつていることを示す。遅相状態の場合には
回路５０２のスイツチSWを切換えればよく、こ
れにより進相状態での出力関係とまつたく同じ測
定が可能となる。
以上のごとき構成で容器内の液体の弾性的性質
が変化した場合には、液体中を伝搬する音波に速
度変化が生じ、従つて(1)式から明らかなように音
波ビームの放射方向θが変化し伝搬路長Ｌも変化
する。液体の弾性的性質の変化前の音速をVL1、
変化後の音速をVL2とすれば、入力信号に対する
各々の位相差は、 φ1＝ωL1／VL1 φ2＝ωL2／VL2 となる。ここに、ωは角周波数、L1及びL2はVL1
及びVL2に夫々対応する音波ビームの伝搬路長で
ある。上記φ1とφ2の差Δφは次のようになる Δφ＝φ1−φ2＝2ωD／VL1｛１−（VL1／VR）2｝-1/2
−2ωD／VL2｛１−（VL2／VR）2｝-1/2 ＝2ωD（１／VL1 2−１／2VR 2−9VL1 2／8VR 4）ΔVL(2) ここで、Ｄは圧電基板の面と容器の音波ビーム
反射面との間の距離、ΔVL＝VL1−VL2である。
(2)式から明らかなようにΔφとΔVLとの間には直
線関係が成立する。
が変化した場合には、液体中を伝搬する音波に速
度変化が生じ、従つて(1)式から明らかなように音
波ビームの放射方向θが変化し伝搬路長Ｌも変化
する。液体の弾性的性質の変化前の音速をVL1、
変化後の音速をVL2とすれば、入力信号に対する
各々の位相差は、 φ1＝ωL1／VL1 φ2＝ωL2／VL2 となる。ここに、ωは角周波数、L1及びL2はVL1
及びVL2に夫々対応する音波ビームの伝搬路長で
ある。上記φ1とφ2の差Δφは次のようになる Δφ＝φ1−φ2＝2ωD／VL1｛１−（VL1／VR）2｝-1/2
−2ωD／VL2｛１−（VL2／VR）2｝-1/2 ＝2ωD（１／VL1 2−１／2VR 2−9VL1 2／8VR 4）ΔVL(2) ここで、Ｄは圧電基板の面と容器の音波ビーム
反射面との間の距離、ΔVL＝VL1−VL2である。
(2)式から明らかなようにΔφとΔVLとの間には直
線関係が成立する。
上記VL1とVL2の各々に対応する位相差φ1とφ2
は、位相差検出回路５０により直流電圧Vput-1及
びVput-2として夫々出力される。ここで、位相差
検出器５０の出力電圧が位相差に比例して変化
し、位相差がπのときに出力電圧が最大値Vnax
となるとすれば、前記ΔφとΔVput＝Vput-1−
Vput-2との間には次の関係が満足される。
は、位相差検出回路５０により直流電圧Vput-1及
びVput-2として夫々出力される。ここで、位相差
検出器５０の出力電圧が位相差に比例して変化
し、位相差がπのときに出力電圧が最大値Vnax
となるとすれば、前記ΔφとΔVput＝Vput-1−
Vput-2との間には次の関係が満足される。
Δφ＝π／VnaxΔVput (3)
従つて、上記(2)式と(3)式とを用い音速VL1を基
準値とすることによつて、液体の弾性的性質の変
化による音速変化ΔVLを位相差検出器を介して得
ることが可能となる。
準値とすることによつて、液体の弾性的性質の変
化による音速変化ΔVLを位相差検出器を介して得
ることが可能となる。
次に本発明による超音波測定装置の実験例を以
下に示す。
下に示す。
本実験例においては、超音波素子を、分極軸が
厚さ方向のTDK製圧電磁器91A材（長さ25mm、
幅15mm、厚さ５mm）の該分極軸に垂直な一面上に
電極周期210μｍの１対のインターデイジタル電
極を互いに14mm離間してもうけることにより構成
した。該超音波素子は電極面を液体に接して、該
電極面と容器の音波ビーム反射面との距離が5.94
mmとなるように容器に装着した。
厚さ方向のTDK製圧電磁器91A材（長さ25mm、
幅15mm、厚さ５mm）の該分極軸に垂直な一面上に
電極周期210μｍの１対のインターデイジタル電
極を互いに14mm離間してもうけることにより構成
した。該超音波素子は電極面を液体に接して、該
電極面と容器の音波ビーム反射面との距離が5.94
mmとなるように容器に装着した。
上記仕様で、蒸留水を収容した容器を用いた場
合、20℃での音波ビームの波長数は118.30であ
り、この場合のθ＝47.4゜、L1＝17.54mm、fr＝
10.0MHz、VL1＝1482.7ｍ／ｓであつた。VL1に対
する速度差ΔVLはΔφ＝180゜で12.54ｍ／ｓとなり、
また、位相差検出回路の最大出力電圧はΔφ＝π
に対し3.92Vであつた。
合、20℃での音波ビームの波長数は118.30であ
り、この場合のθ＝47.4゜、L1＝17.54mm、fr＝
10.0MHz、VL1＝1482.7ｍ／ｓであつた。VL1に対
する速度差ΔVLはΔφ＝180゜で12.54ｍ／ｓとなり、
また、位相差検出回路の最大出力電圧はΔφ＝π
に対し3.92Vであつた。
このような実験結果が信頼のあるデータである
ことを示すため、権威ある下記の各々の文献に示
されたデータと比較するために本装置を用いた実
験結果を以下に示す。
ことを示すため、権威ある下記の各々の文献に示
されたデータと比較するために本装置を用いた実
験結果を以下に示す。
第５図は20℃の蒸留水における音速を基準とす
る温度に対する速度差の実測値を示すもので、こ
れは公表されている計算値（M.Greenspan、C.
E.Tschiegg、and F.Breckenridge、The
Journal of The Acoustical Society of
America：米国音響学会誌、Vol.28（1956年）、第
500頁）と良く一致する。なお、同図に示す点は
本装置を用いた実測値であり、実線は上記文献か
らの計算値である。また同図に示す特性図では位
相差の変化を速度差に置き換えて示している。よ
つて、本装置は温度の変化に従つた速度差の変化
も正確に測定できることがわかる。
る温度に対する速度差の実測値を示すもので、こ
れは公表されている計算値（M.Greenspan、C.
E.Tschiegg、and F.Breckenridge、The
Journal of The Acoustical Society of
America：米国音響学会誌、Vol.28（1956年）、第
500頁）と良く一致する。なお、同図に示す点は
本装置を用いた実測値であり、実線は上記文献か
らの計算値である。また同図に示す特性図では位
相差の変化を速度差に置き換えて示している。よ
つて、本装置は温度の変化に従つた速度差の変化
も正確に測定できることがわかる。
第６図は18℃の蒸留水における音速の静水圧に
対する速度差の実測値を示す。本実験の場合、深
さ51cm、内径16cmの円形圧力容器内に超音波遅延
デバイスを配置して測定したものである。この結
果は公表されている計算値（W.D. Wilson、The
Journal of the Acoustical Society of
America：米国音響学会誌、Vol.31（1959年）、第
1067頁）と良く一致する。なお、同図に示す実測
値の特性図は蒸留水の温度を上記文献の諸条件に
合わせたものである。よつて、本装置は静水圧の
変化に従つた速度差の変化をも正確に測定できる
ことがわかる。
対する速度差の実測値を示す。本実験の場合、深
さ51cm、内径16cmの円形圧力容器内に超音波遅延
デバイスを配置して測定したものである。この結
果は公表されている計算値（W.D. Wilson、The
Journal of the Acoustical Society of
America：米国音響学会誌、Vol.31（1959年）、第
1067頁）と良く一致する。なお、同図に示す実測
値の特性図は蒸留水の温度を上記文献の諸条件に
合わせたものである。よつて、本装置は静水圧の
変化に従つた速度差の変化をも正確に測定できる
ことがわかる。
以上説明した実施例では、圧電基板の厚さが電
極周期に比べて充分厚くしかも電極面が充填液体
に接する構造の超音波遅延デバイスを例に説明し
た。そのため電極保護の処置としてホトレジスト
膜が塗布されている。一方、厚さがλ以下（λ：
圧電基板における超音波の波長）の薄板状圧電体
に極をもうけた超音波素子を用いることも可能
で、これによれば圧電体の両面に振動が存在する
ことを利用できるので電極面を充填液体に接する
必要がなく、電極保護の要がないという利点があ
る。なお、薄板状圧電体の場合には前述した各式
のVRをラム波速度に置き換えなければならない。
極周期に比べて充分厚くしかも電極面が充填液体
に接する構造の超音波遅延デバイスを例に説明し
た。そのため電極保護の処置としてホトレジスト
膜が塗布されている。一方、厚さがλ以下（λ：
圧電基板における超音波の波長）の薄板状圧電体
に極をもうけた超音波素子を用いることも可能
で、これによれば圧電体の両面に振動が存在する
ことを利用できるので電極面を充填液体に接する
必要がなく、電極保護の要がないという利点があ
る。なお、薄板状圧電体の場合には前述した各式
のVRをラム波速度に置き換えなければならない。
以上説明した超音波測定装置は例えば温度セン
サとして用いることができる。この場合には、第
１図の容器１０の少なくとも一部、望ましくは容
器の音波ビーム反射面を例えばアクリル樹脂など
で外部に存在する熱源に対して透明に構成し、当
該熱源の発熱量に従つて容器内部の液体に温度変
化が与えられるようにすることが望ましい。この
ような温度センサは、レーザのパワーメータ或い
は電子レンジの温度センサなどに用いることがで
きる。その他、本発明は液体の濃度測定など種々
の用途に利用することが可能である。
サとして用いることができる。この場合には、第
１図の容器１０の少なくとも一部、望ましくは容
器の音波ビーム反射面を例えばアクリル樹脂など
で外部に存在する熱源に対して透明に構成し、当
該熱源の発熱量に従つて容器内部の液体に温度変
化が与えられるようにすることが望ましい。この
ような温度センサは、レーザのパワーメータ或い
は電子レンジの温度センサなどに用いることがで
きる。その他、本発明は液体の濃度測定など種々
の用途に利用することが可能である。
以上説明したように本発明によれば、インター
デイジタル電極を具備する超音波トランスデユー
サを利用して、液体中を伝搬する超音波の速度変
化を高精度で測定することが可能な超音波装置を
提供することができ、しかも単一の超音波遅延デ
バイスを用いるので装置の構成が簡略化されるな
どの利点がある。
デイジタル電極を具備する超音波トランスデユー
サを利用して、液体中を伝搬する超音波の速度変
化を高精度で測定することが可能な超音波装置を
提供することができ、しかも単一の超音波遅延デ
バイスを用いるので装置の構成が簡略化されるな
どの利点がある。
第１図は本発明による超音波測定装置の一実施
例、第２図は超音波遅延デバイスの側断面図、第
３図は位相差検出器の一具体例、第４図は第３図
の回路の信号波形図、第５図及び第６図は本発明
による超音波測定装置に基づく実験例である。 １；超音波遅延デバイス、Ａ；入力用トランス
デユーサ、Ｂ；出力用トランスデユーサ、１０；
容器、１４；液体、２０；超音波素子、２２；圧
電基板、２４，２６；インターデイジタル電極、
５０；位相差検出器。
例、第２図は超音波遅延デバイスの側断面図、第
３図は位相差検出器の一具体例、第４図は第３図
の回路の信号波形図、第５図及び第６図は本発明
による超音波測定装置に基づく実験例である。 １；超音波遅延デバイス、Ａ；入力用トランス
デユーサ、Ｂ；出力用トランスデユーサ、１０；
容器、１４；液体、２０；超音波素子、２２；圧
電基板、２４，２６；インターデイジタル電極、
５０；位相差検出器。
Claims (1)
- １ 超音波を反射する反射面を持ち、液体を収容
する単一の容器と、単一の圧電基板の一面に一対
のインターデイジタル電極を互いに離間してもう
けることにより構成される入力用及び出力用の超
音波トランスデユーサを持つ単一の超音波素子と
を具備し、前記入力用超音波トランスデユーサか
ら液体中に放射された超音波が前記反射面で反射
された後出力用超音波トランスデユーサで受波さ
れるように前記超音波素子が前記容器に装着され
た超音波遅延デバイスと、該デバイスの入力用超
音波トランスデユーサの入力信号と出力用超音波
トランスデユーサの出力信号との間の位相差を検
出し出力する位相差検出器を有することを特徴と
する超音波測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56174542A JPS5877655A (ja) | 1981-11-02 | 1981-11-02 | 超音波測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56174542A JPS5877655A (ja) | 1981-11-02 | 1981-11-02 | 超音波測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5877655A JPS5877655A (ja) | 1983-05-11 |
| JPH0250422B2 true JPH0250422B2 (ja) | 1990-11-02 |
Family
ID=15980359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56174542A Granted JPS5877655A (ja) | 1981-11-02 | 1981-11-02 | 超音波測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5877655A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005534894A (ja) * | 2002-06-08 | 2005-11-17 | エルジー イノテック カンパニー リミテッド | スリット弾性波を用いたｓａｗセンサ素子およびその方法 |
| JP5419424B2 (ja) * | 2008-11-14 | 2014-02-19 | 三菱重工業株式会社 | 非破壊検査装置および非破壊検査方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5056291A (ja) * | 1973-09-14 | 1975-05-16 | ||
| JPS51151187A (en) * | 1975-06-20 | 1976-12-25 | Hitachi Ltd | Water drop detector |
-
1981
- 1981-11-02 JP JP56174542A patent/JPS5877655A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5877655A (ja) | 1983-05-11 |
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