JPS5877655A - 超音波測定装置 - Google Patents
超音波測定装置Info
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- JPS5877655A JPS5877655A JP56174542A JP17454281A JPS5877655A JP S5877655 A JPS5877655 A JP S5877655A JP 56174542 A JP56174542 A JP 56174542A JP 17454281 A JP17454281 A JP 17454281A JP S5877655 A JPS5877655 A JP S5877655A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/02—Analysing fluids
- G01N29/024—Analysing fluids by measuring propagation velocity or propagation time of acoustic waves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
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- G01N2291/02809—Concentration of a compound, e.g. measured by a surface mass change
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は液体中を伝搬する超音波の速度変化を測定する
ための超音波測定装置に関する。
ための超音波測定装置に関する。
本発明による超音波測定装置は、圧電基板の一面に１対
のくしの歯状電極を組合せて構成したインターディジタ
ル電極を有する超音波トランスデユーサを利用する。こ
のようなトランスデユーサは、インターディジタル電極
への電気信号の印加によって液体中に超音波を放射し、
逆に液体中を伝搬して来た超音波を受波して電気信号を
出力する機能をもっている。従って、２個のトランスデ
ユーサを夫々入力用及び出力用として互いに離間して配
置し、入力用トランスデユーサから液体中に放射された
超音波を所定の伝搬路長を経由させた後出刃用トランス
デユーサで受波するように構成すれば、超音波遅延デバ
イスを得ることができる。
のくしの歯状電極を組合せて構成したインターディジタ
ル電極を有する超音波トランスデユーサを利用する。こ
のようなトランスデユーサは、インターディジタル電極
への電気信号の印加によって液体中に超音波を放射し、
逆に液体中を伝搬して来た超音波を受波して電気信号を
出力する機能をもっている。従って、２個のトランスデ
ユーサを夫々入力用及び出力用として互いに離間して配
置し、入力用トランスデユーサから液体中に放射された
超音波を所定の伝搬路長を経由させた後出刃用トランス
デユーサで受波するように構成すれば、超音波遅延デバ
イスを得ることができる。
本発明はこのような超音波遅延デバイスを利用して、液
体中を伝搬する超音波の速度変化を測定する装置を提供
しようとするものである。
体中を伝搬する超音波の速度変化を測定する装置を提供
しようとするものである。
この目的を達成するための本発明の特徴は、液体を収容
する容器と、単一の圧電基板の一面に１対のインターデ
ィジタル電極を互いに離間してもうけることにより構成
される入力用及び出力用の超音波トランスデユーサを具
備する単一の超音波素子とを有し、前記入力用トランス
デユーサで励起される超音波が容器内の液体中を伝搬し
た後前記出力用トランスデユーサで受波されるごとく、
前記超音波素子が前記容器に装着された超音波遅延デバ
イスと、該デバイスの入力用トランスデユーサの入力信
号と出力用トランスデユーサの出力信号との間の位相差
を検出し出力する位相差検出器とを有し、液体中の音速
の変化を位相差として検出するごとき超音波測定装置に
ある。
する容器と、単一の圧電基板の一面に１対のインターデ
ィジタル電極を互いに離間してもうけることにより構成
される入力用及び出力用の超音波トランスデユーサを具
備する単一の超音波素子とを有し、前記入力用トランス
デユーサで励起される超音波が容器内の液体中を伝搬し
た後前記出力用トランスデユーサで受波されるごとく、
前記超音波素子が前記容器に装着された超音波遅延デバ
イスと、該デバイスの入力用トランスデユーサの入力信
号と出力用トランスデユーサの出力信号との間の位相差
を検出し出力する位相差検出器とを有し、液体中の音速
の変化を位相差として検出するごとき超音波測定装置に
ある。
以下図面により本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明による超音波測定装置の一実施例で、超
音波遅延デバイス１と・該デバイスに周波数ｆｒの入力
信号を与えるシンセサイザー３０と、入力信号をデバイ
ス１の出力レベルに減衰させデバイス１の出力信号との
間のコンパレートを容易にするアッテネータ４０と、該
アッテネータの出力とデバイス１の出力信号との位相差
を比較検出する位相差検出器５０を有する。なお、アッ
テネータ４０を用いることなく入力信号を直接位相差検
出器に与えても良い。
音波遅延デバイス１と・該デバイスに周波数ｆｒの入力
信号を与えるシンセサイザー３０と、入力信号をデバイ
ス１の出力レベルに減衰させデバイス１の出力信号との
間のコンパレートを容易にするアッテネータ４０と、該
アッテネータの出力とデバイス１の出力信号との位相差
を比較検出する位相差検出器５０を有する。なお、アッ
テネータ４０を用いることなく入力信号を直接位相差検
出器に与えても良い。
超音波遅延デバイスｌは、第１回巻びその側断面を示す
第２図から明らかなように、容器１０と超音波素子２０
を有する。
第２図から明らかなように、容器１０と超音波素子２０
を有する。
容器１０には液体の注入口１０αと排出口１０ｂがもう
けられ、容器内に液体１４を充填することができるよう
に構成されている。超音波素子２０け、１対のくしの歯
状電極をインターディジタルに組合せた２組の電極（２
４，２６）を単一の圧電基板２２の一面に互いに離間し
てもうけることにより構成される入力用のトランスデユ
ーサΔと出力用のトランスデユーサ旦を有する。入力用
トランスデユーサΔからは入力端子２４Ｌ０Ｌ及びアー
ス端子２４ｂが引き出され、出力用トランスデユーサ旦
からは出力端子２１５ａ及びアース端子２６ｂが引き出
され、両トランスデユーサのアース端子は容器１０にグ
ラウンドされる。超音波素子２０の圧電基板２２の厚さ
は表面波が励起される厚さ、具体的には該基板に励起さ
れる音波の波長の数倍以上（望ましくは５倍以上）の厚
さを有する。このような構成の超音波素子２０は、第２
図に示すように、電極面を容器１０内の液体１４に接し
、入力用トランスデユーサΔからの音波が液体１４を伝
搬して容器の底面１２で反Ｖされた抜出力用トランスデ
ユーサ旦で受波されるように、容器１０に装着される。
けられ、容器内に液体１４を充填することができるよう
に構成されている。超音波素子２０け、１対のくしの歯
状電極をインターディジタルに組合せた２組の電極（２
４，２６）を単一の圧電基板２２の一面に互いに離間し
てもうけることにより構成される入力用のトランスデユ
ーサΔと出力用のトランスデユーサ旦を有する。入力用
トランスデユーサΔからは入力端子２４Ｌ０Ｌ及びアー
ス端子２４ｂが引き出され、出力用トランスデユーサ旦
からは出力端子２１５ａ及びアース端子２６ｂが引き出
され、両トランスデユーサのアース端子は容器１０にグ
ラウンドされる。超音波素子２０の圧電基板２２の厚さ
は表面波が励起される厚さ、具体的には該基板に励起さ
れる音波の波長の数倍以上（望ましくは５倍以上）の厚
さを有する。このような構成の超音波素子２０は、第２
図に示すように、電極面を容器１０内の液体１４に接し
、入力用トランスデユーサΔからの音波が液体１４を伝
搬して容器の底面１２で反Ｖされた抜出力用トランスデ
ユーサ旦で受波されるように、容器１０に装着される。
上記構成のデバイス１０にシンセサイザー３０から周波
数ｆｒの交流電気信号を入力用トランスデユーサＡに印
加すれば、第２図に示すように、圧電基板２２への法線
と角度θをなす方向に超音波ビームが放射される。この
放射角θは液体中での縦波速度をＶい圧電基板上の表面
波速度をｖＲとすれば、 θ＝ ｓ＋ｎ ｖＬ／ ＶＲ（１１ を満足する。入力用トランスデユーサΔから角度θで液
体１４中へ放射された超音波ビームは、容器底面１２で
反射された抜出力用トランスデユーサ旦で受波され出力
端子２６ｇに遅延出力信号として与えられる。液体中を
伝搬する音波の速度は、該液体の種類、温度、圧力、濃
度などによる液体の弾性的性質に影響され、出力信号の
遅延時間もこれらによって異なって来る。従って・出力
信号の入力信号に対する遅延時間従って位相差を測定す
れば、容器内の液体１４の弾性的性質の変化を観測する
ことができる。
数ｆｒの交流電気信号を入力用トランスデユーサＡに印
加すれば、第２図に示すように、圧電基板２２への法線
と角度θをなす方向に超音波ビームが放射される。この
放射角θは液体中での縦波速度をＶい圧電基板上の表面
波速度をｖＲとすれば、 θ＝ ｓ＋ｎ ｖＬ／ ＶＲ（１１ を満足する。入力用トランスデユーサΔから角度θで液
体１４中へ放射された超音波ビームは、容器底面１２で
反射された抜出力用トランスデユーサ旦で受波され出力
端子２６ｇに遅延出力信号として与えられる。液体中を
伝搬する音波の速度は、該液体の種類、温度、圧力、濃
度などによる液体の弾性的性質に影響され、出力信号の
遅延時間もこれらによって異なって来る。従って・出力
信号の入力信号に対する遅延時間従って位相差を測定す
れば、容器内の液体１４の弾性的性質の変化を観測する
ことができる。
なお、流動状態の液体を用いる場合、第１図および第２
図に示すごとき位置に注入口および排出口を有する本実
施例では超音波の伝搬方向に液体が流動することになる
ので、その流速いかんによっては充填状態の場合に比較
し超音波の伝搬に速度差を生ずるおそれがあり、従って
このような場合には、注入口を容器の側面にもうけ、超
音波の伝搬方向（二対し直角方向から流入するごとく構
成することが有効である。
図に示すごとき位置に注入口および排出口を有する本実
施例では超音波の伝搬方向に液体が流動することになる
ので、その流速いかんによっては充填状態の場合に比較
し超音波の伝搬に速度差を生ずるおそれがあり、従って
このような場合には、注入口を容器の側面にもうけ、超
音波の伝搬方向（二対し直角方向から流入するごとく構
成することが有効である。
第３図は位相差検出器の具体的な回路例で、各超音波送
受波器の出力信号をパルス化するパルス化回路５０１．
パルス化された各出力信号を分周する分周回路５０２、
および分周された各出力信号から位相差に対応するパル
スを作り出し積分回路を介して直流電圧値として出力す
る位相比較回路５０３とからなる。
受波器の出力信号をパルス化するパルス化回路５０１．
パルス化された各出力信号を分周する分周回路５０２、
および分周された各出力信号から位相差に対応するパル
スを作り出し積分回路を介して直流電圧値として出力す
る位相比較回路５０３とからなる。
第４図は第３図の回路中における波形図であり、（Ａ）
〜（Ｉ）の各波形は第３図の同一符号で示す個所の信号
波形を示す。
〜（Ｉ）の各波形は第３図の同一符号で示す個所の信号
波形を示す。
第３図のごとき構成で、位相差検出器の入力端子ｌＮ−
１およびｌＮ−２の夫々に印加された超音波送受波器の
各正弦波出力信号体）および（Ｂ）は、パルス化回路５
０１でパルス化されパルス信号（Ｃ）および（Ｄ）とし
て分周回路５０２に印加される。パルス信号（Ｃ）およ
び（Ｄ）は、分周回路５０２において高周波成分が除去
される（ （Ｅ） 、 （Ｆ） ）と共に分周される。
１およびｌＮ−２の夫々に印加された超音波送受波器の
各正弦波出力信号体）および（Ｂ）は、パルス化回路５
０１でパルス化されパルス信号（Ｃ）および（Ｄ）とし
て分周回路５０２に印加される。パルス信号（Ｃ）およ
び（Ｄ）は、分周回路５０２において高周波成分が除去
される（ （Ｅ） 、 （Ｆ） ）と共に分周される。
分局は速度差の測定領域を拡大するためで、例えば２分
の１分周することにより測定領域は２倍となる。
の１分周することにより測定領域は２倍となる。
分周されたパルス信号（０）および（Ｈ）は位相比較回
路５０３に印加され位相差に対応するパルス信号（Ｉ）
とされた後、出力端子ＯＵＴにそれに対応する直流電圧
値として供給される。なお、位相比較回路における表示
素子５０３ａ及び５０３ｂは、出力信号間の位相差が進
相か遅相かを判断するためのものである。即ち、表示素
子５０３ａおよび５０３ｂの″ＯＮ″状態は、分局前の
位相差Δφ。および分周後の位相差Δφ、が夫々遅相状
態となっていることを示す。
路５０３に印加され位相差に対応するパルス信号（Ｉ）
とされた後、出力端子ＯＵＴにそれに対応する直流電圧
値として供給される。なお、位相比較回路における表示
素子５０３ａ及び５０３ｂは、出力信号間の位相差が進
相か遅相かを判断するためのものである。即ち、表示素
子５０３ａおよび５０３ｂの″ＯＮ″状態は、分局前の
位相差Δφ。および分周後の位相差Δφ、が夫々遅相状
態となっていることを示す。
遅相状態の場合には回路５０２のスイッチＳＷを切換え
れば良く、これにより進相状態での出力関係とまったく
同じ測定が可能となる。
れば良く、これにより進相状態での出力関係とまったく
同じ測定が可能となる。
以上のごとき構成で容器内の液体の弾性的性質が変化し
た場合には、液体中を伝搬する音波に速度変化が生じ、
従って（１）式から明らかなように音波ビームの放射方
向θが変化し伝搬路長りも変化する。液体の弾性的性質
の変化前の音速をＶＬＩ、変化後の音速を■１□とすれ
ば、入力信号に対する各々の位相差は、 φ１＝ωＬ、／Ｖ、、 φ２＝ωＬ２／Ｖ。
た場合には、液体中を伝搬する音波に速度変化が生じ、
従って（１）式から明らかなように音波ビームの放射方
向θが変化し伝搬路長りも変化する。液体の弾性的性質
の変化前の音速をＶＬＩ、変化後の音速を■１□とすれ
ば、入力信号に対する各々の位相差は、 φ１＝ωＬ、／Ｖ、、 φ２＝ωＬ２／Ｖ。
となる。ここに、ωは角周波数、Ｌｌ及びＬ２はｖＬｌ
及びｖＬ□に夫々対応する音波ビームの伝搬路長である
。上記φ１とφ２の差Δφは次のようになるΔφ＝φ、
−φ２ ここで、Ｄは圧電基板の面と容器の音波ビーム反射面と
の間の距離、ΔＶ、＝Ｖ、□−■Ｌ２である。
及びｖＬ□に夫々対応する音波ビームの伝搬路長である
。上記φ１とφ２の差Δφは次のようになるΔφ＝φ、
−φ２ ここで、Ｄは圧電基板の面と容器の音波ビーム反射面と
の間の距離、ΔＶ、＝Ｖ、□−■Ｌ２である。
（２）式から明らかなようにΔφとｌｖＬとの間には直
線関係が成立する。
線関係が成立する。
上記ｖＬｌと■Ｌ２の各々に対応する位相差φ、とφ２
は、位相差検出回路５０により直流電圧Ｖ。ｕｔ−１及
びＶ。ｕｔ−２として夫々出力される。ここで、位相差
検出器５０の出力電圧が位相差に比例して変化し、位相
差がπのときに出力電圧が最大値ｖＩＩＩＩＬＸとなる
とすれば、前記ΔφとΔｖＯｕｔ＝■。ｕｔ−１−■。
は、位相差検出回路５０により直流電圧Ｖ。ｕｔ−１及
びＶ。ｕｔ−２として夫々出力される。ここで、位相差
検出器５０の出力電圧が位相差に比例して変化し、位相
差がπのときに出力電圧が最大値ｖＩＩＩＩＬＸとなる
とすれば、前記ΔφとΔｖＯｕｔ＝■。ｕｔ−１−■。
ｕｔ−２との間には次の関係が満足される。
Δφ＝瓦；Δ■。ｕｔ （３）従って、上記
（２）式と（３）式とを用い音速■、□を基準値とする
ことによって、液体の弾性的性質の変化による音速変化
ｌＶＬを位相差検出器を介して得ることが可能となる。
（２）式と（３）式とを用い音速■、□を基準値とする
ことによって、液体の弾性的性質の変化による音速変化
ｌＶＬを位相差検出器を介して得ることが可能となる。
次に本発明による超音波測定装置の実験例を以下に示す
。
。
本実験例においては、超音波素子を、分極軸が厚さ方向
のＴＤＫ製圧電圧電磁器９１Ａ材さ２５ｍｍ、幅１５胴
、厚さ５薗）の該分極軸に垂直な一面上に電極周期２１
０μｍの１対のインターディジタル電極を互いに１４閣
離間してもうけることにより構成した。該超音波素子は
電極面を液体に接して、該電極面と容器の音波ビーム反
射面との距離が５．９４ｍｍとなるように容器に装着し
た。
のＴＤＫ製圧電圧電磁器９１Ａ材さ２５ｍｍ、幅１５胴
、厚さ５薗）の該分極軸に垂直な一面上に電極周期２１
０μｍの１対のインターディジタル電極を互いに１４閣
離間してもうけることにより構成した。該超音波素子は
電極面を液体に接して、該電極面と容器の音波ビーム反
射面との距離が５．９４ｍｍとなるように容器に装着し
た。
上記仕様で、蒸留水を収容した容器を用いた場合、２０
℃での音波ビームの波長数は１１８．３０であり、この
場合のθ＝４７．４、Ｌ、 ＝ １７．５４ ｍ、／ｒ
” １０．０ ＭＨｚ、ＶＬＩ ＝ １４８２．７ｍ／
ｓであった。■１、に対する速度差Δ■、はΔφ＝１
８０ で１２．５４ｍ／ｇとなり、また、位相差検出回
路の最大出力電圧はΔφ＝πに対し３．９２ Ｖであっ
た。
℃での音波ビームの波長数は１１８．３０であり、この
場合のθ＝４７．４、Ｌ、 ＝ １７．５４ ｍ、／ｒ
” １０．０ ＭＨｚ、ＶＬＩ ＝ １４８２．７ｍ／
ｓであった。■１、に対する速度差Δ■、はΔφ＝１
８０ で１２．５４ｍ／ｇとなり、また、位相差検出回
路の最大出力電圧はΔφ＝πに対し３．９２ Ｖであっ
た。
第５図は２０℃の蒸留水における音速を基準とする温度
に対する速度差の実測値を示すもので、これは公表され
ている計算値（Ｍ、 Ｇｒｅｇ％８ｐ（ＬｆＬ。
に対する速度差の実測値を示すもので、これは公表され
ている計算値（Ｍ、 Ｇｒｅｇ％８ｐ（ＬｆＬ。
Ｃ，Ｅ、 Ｔａｃｈｉｅｇｇ、 ａｔｗｌ
Ｆ、 Ｂｒｅｃｋｇｎｒｉｄｇｇ、 Ｔｈｅ
Ｊｏｕｒｒｕｘｌｏｆ Ｔｈｅ Ａｃｏｕａｔｉｃａｌ
５ｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ａｍｇｒｉｅα：米国音響学
会誌、 Ｖｏｌ、 ２８（１９５６年）、第５００頁）
と良く−致する。
Ｆ、 Ｂｒｅｃｋｇｎｒｉｄｇｇ、 Ｔｈｅ
Ｊｏｕｒｒｕｘｌｏｆ Ｔｈｅ Ａｃｏｕａｔｉｃａｌ
５ｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ａｍｇｒｉｅα：米国音響学
会誌、 Ｖｏｌ、 ２８（１９５６年）、第５００頁）
と良く−致する。
第６図は１８℃の蒸留水における音速の静水圧に対する
速度差の実測値を示す。本実験の場合、深さ５１ｃｒＩ
Ｌ、内径１６ｃｒｒＬの円形圧力容器内に超音波遅延デ
バイスを配置して測定したものである。
速度差の実測値を示す。本実験の場合、深さ５１ｃｒＩ
Ｌ、内径１６ｃｒｒＬの円形圧力容器内に超音波遅延デ
バイスを配置して測定したものである。
この結果は公表されている計算値（Ｗ、 Ｄ、Ｗｉｌａ
ｏ％。
ｏ％。
Ｔｈｅ Ｊｏｎデｎａｌ ｏｆ ｔｈｅ ｋｃ
ｏｕｓｔｔｃａｌ ５ｏｃｉｅｔｙ ｏ／Ａｍ−デ
ｉｃａ：米国音響学会誌、 Ｖｏｌ、 ３１ （１９５
９年）、第１０６７頁）と良く一致する。
ｏｕｓｔｔｃａｌ ５ｏｃｉｅｔｙ ｏ／Ａｍ−デ
ｉｃａ：米国音響学会誌、 Ｖｏｌ、 ３１ （１９５
９年）、第１０６７頁）と良く一致する。
以上説明した実施例では、圧電基板の厚さが電極周期に
比べて充分厚くしかも電極面が充填液体に接する構造の
超音波遅延デバイスを例に説明した。そのため電極保護
の処置としてホトレジスト膜が塗布されている。一方、
厚さがλ以下（λ：圧電基板における超音波の波長）の
薄板状圧電体に電極をもうけた超音波素子を用いること
も可能で、これによれば圧電体の両面に振動が存在する
ことを利用できるので電極面を充填液体に接する必要が
なく、電極保護の要がないという利点がある。なお、薄
板状圧電体の場合には前述した各式のｖＲをラム波速度
に置き換えなければならない。
比べて充分厚くしかも電極面が充填液体に接する構造の
超音波遅延デバイスを例に説明した。そのため電極保護
の処置としてホトレジスト膜が塗布されている。一方、
厚さがλ以下（λ：圧電基板における超音波の波長）の
薄板状圧電体に電極をもうけた超音波素子を用いること
も可能で、これによれば圧電体の両面に振動が存在する
ことを利用できるので電極面を充填液体に接する必要が
なく、電極保護の要がないという利点がある。なお、薄
板状圧電体の場合には前述した各式のｖＲをラム波速度
に置き換えなければならない。
以上説明した超音波測定装置は例えば温度センサとして
用いることができる。この場合には、第１図の容器１０
の少なくとも一部、望ましくは容器の音波ビーム反射面
を例えばアクリル樹脂などで外部に存在する熱源に対し
て透明に構成し、当該熱源の発熱量に従って容器内部の
液体に温度変化が与えられるようにすることが望ましい
。このような温度センサは、レーザのパワーメータ或い
は電子レンジの温度センサなどに用いることができる。
用いることができる。この場合には、第１図の容器１０
の少なくとも一部、望ましくは容器の音波ビーム反射面
を例えばアクリル樹脂などで外部に存在する熱源に対し
て透明に構成し、当該熱源の発熱量に従って容器内部の
液体に温度変化が与えられるようにすることが望ましい
。このような温度センサは、レーザのパワーメータ或い
は電子レンジの温度センサなどに用いることができる。
その他、本発明は液体の濃度測定など種々の用途に利用
することが可能である。
することが可能である。
以上説明したように本発明によれば、インターディジタ
ル電極を具備する超音波トランスデユーサを利用して、
液体中を伝搬する超音波の速度変化を測定することが可
能な超音波装置を提供することができ、しかも単一の超
音波遅延デバイスを用いるので装置の構成が簡略化され
るなどの利点がある。
ル電極を具備する超音波トランスデユーサを利用して、
液体中を伝搬する超音波の速度変化を測定することが可
能な超音波装置を提供することができ、しかも単一の超
音波遅延デバイスを用いるので装置の構成が簡略化され
るなどの利点がある。
第１図は本発明による超音波測定装置の一実施例、第２
図は超音波遅延デバイスの側断面図、第３図は位相差検
出器の一具体例、第４図は第３図の回路の信号波形図、
第５図及び第６図は本発明による超音波測定装置に基づ
く実験例である。 １；超音波遅延デバイス、 Ａ；入力用トランスデユー
サ、 Ｂ；出力用トランスデユーサ、１０；容器、
１４：液体、 ２０；超音波素子、２２；圧電基板
、 ２４．２６：インターディジタル電極、 ５０
；位相差検出器。 特許出願人 東京電気化学工業株式会社 戸田耕司 特許出願代理人 弁理士 山 本 恵 − 尾７１￥１ ０ＬＩ７ｐＬｔ７ 第２図 工 ０ｂ 歳４（２） （１） 孔５ 図 毛乙図 屋η （ｋ：Ｖｍす
図は超音波遅延デバイスの側断面図、第３図は位相差検
出器の一具体例、第４図は第３図の回路の信号波形図、
第５図及び第６図は本発明による超音波測定装置に基づ
く実験例である。 １；超音波遅延デバイス、 Ａ；入力用トランスデユー
サ、 Ｂ；出力用トランスデユーサ、１０；容器、
１４：液体、 ２０；超音波素子、２２；圧電基板
、 ２４．２６：インターディジタル電極、 ５０
；位相差検出器。 特許出願人 東京電気化学工業株式会社 戸田耕司 特許出願代理人 弁理士 山 本 恵 − 尾７１￥１ ０ＬＩ７ｐＬｔ７ 第２図 工 ０ｂ 歳４（２） （１） 孔５ 図 毛乙図 屋η （ｋ：Ｖｍす
Claims (1)
- 液体を収容する単一の容器と、単一の圧電基板の一面に
１対のインターディジタル電極を互いに離間してもうけ
ることにより構成される入力用及び出力用の超音波トラ
ンスデユーサを具備し前記容器の液体と音響的に結合す
る単一の超音波素子とを有する超音波遅延デバイスと、
該デバイスの入力用トランスデユーサの入力信号と出力
用トランスデユーサの出力信号との間の位相差を検出し
出力する位相差検出器とを有することを特徴とする超音
波測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56174542A JPS5877655A (ja) | 1981-11-02 | 1981-11-02 | 超音波測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56174542A JPS5877655A (ja) | 1981-11-02 | 1981-11-02 | 超音波測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5877655A true JPS5877655A (ja) | 1983-05-11 |
| JPH0250422B2 JPH0250422B2 (ja) | 1990-11-02 |
Family
ID=15980359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56174542A Granted JPS5877655A (ja) | 1981-11-02 | 1981-11-02 | 超音波測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5877655A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008089600A (ja) * | 2002-06-08 | 2008-04-17 | Lg Innotek Co Ltd | スリット弾性波を用いたｓａｗセンサ素子およびその方法 |
| WO2010055823A1 (ja) * | 2008-11-14 | 2010-05-20 | 三菱重工業株式会社 | 非破壊検査装置および非破壊検査方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5056291A (ja) * | 1973-09-14 | 1975-05-16 | ||
| JPS51151187A (en) * | 1975-06-20 | 1976-12-25 | Hitachi Ltd | Water drop detector |
-
1981
- 1981-11-02 JP JP56174542A patent/JPS5877655A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5056291A (ja) * | 1973-09-14 | 1975-05-16 | ||
| JPS51151187A (en) * | 1975-06-20 | 1976-12-25 | Hitachi Ltd | Water drop detector |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2008089600A (ja) * | 2002-06-08 | 2008-04-17 | Lg Innotek Co Ltd | スリット弾性波を用いたｓａｗセンサ素子およびその方法 |
| WO2010055823A1 (ja) * | 2008-11-14 | 2010-05-20 | 三菱重工業株式会社 | 非破壊検査装置および非破壊検査方法 |
| JP2010117329A (ja) * | 2008-11-14 | 2010-05-27 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 非破壊検査装置および非破壊検査方法 |
| US9032799B2 (en) | 2008-11-14 | 2015-05-19 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Apparatus and method for nondestructive inspection |
| EP2348312A4 (en) * | 2008-11-14 | 2016-11-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | NON-DESTRUCTIVE TESTING DEVICE AND METHOD |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0250422B2 (ja) | 1990-11-02 |
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