JPH0252439U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0252439U JPH0252439U JP13059388U JP13059388U JPH0252439U JP H0252439 U JPH0252439 U JP H0252439U JP 13059388 U JP13059388 U JP 13059388U JP 13059388 U JP13059388 U JP 13059388U JP H0252439 U JPH0252439 U JP H0252439U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core tube
- furnace
- heat treatment
- treatment furnace
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- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 9
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
Description
第１図はこの考案の一実施例による熱処理炉用
炉心管を示す正面図、第２図は第１図における熱
処理炉用炉心管の側面図、第３図はこの考案の一
実施例による熱処理炉用炉心管とヒーターの側面
図、第４図はこの考案の一実施例による熱処理炉
用炉心管の炉体へのセツト状態を示す部分側面図
、第５図は従来の熱処理炉用炉心管を示す正面図
、第６図は第５図における熱処理炉用炉心管の側
面図、第７図は従来の熱処理炉用炉心管とヒータ
ーの側面図、第８図は従来の熱処理炉用炉心管の
炉体へのセツト状態を示す部分側面図である。 図において、１は炉心管、３は炉心管入口、４
は滑らかな曲面を持つ凸状部、５はソフトブロツ
ク、６はテーパである。なお、図中、同一符号は
同一、又は相当部分を示す。
炉心管を示す正面図、第２図は第１図における熱
処理炉用炉心管の側面図、第３図はこの考案の一
実施例による熱処理炉用炉心管とヒーターの側面
図、第４図はこの考案の一実施例による熱処理炉
用炉心管の炉体へのセツト状態を示す部分側面図
、第５図は従来の熱処理炉用炉心管を示す正面図
、第６図は第５図における熱処理炉用炉心管の側
面図、第７図は従来の熱処理炉用炉心管とヒータ
ーの側面図、第８図は従来の熱処理炉用炉心管の
炉体へのセツト状態を示す部分側面図である。 図において、１は炉心管、３は炉心管入口、４
は滑らかな曲面を持つ凸状部、５はソフトブロツ
ク、６はテーパである。なお、図中、同一符号は
同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 半導体基板を熱処理する、酸化、拡散炉におい
て、炉心管入口外側下部に滑らかな曲面を持つ凸
状部を有することを特徴とする熱処理炉用炉心管
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13059388U JPH0252439U (ja) | 1988-10-05 | 1988-10-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13059388U JPH0252439U (ja) | 1988-10-05 | 1988-10-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0252439U true JPH0252439U (ja) | 1990-04-16 |
Family
ID=31385903
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13059388U Pending JPH0252439U (ja) | 1988-10-05 | 1988-10-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0252439U (ja) |
-
1988
- 1988-10-05 JP JP13059388U patent/JPH0252439U/ja active Pending