JPH0252775B2 - - Google Patents
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- JPH0252775B2 JPH0252775B2 JP12489784A JP12489784A JPH0252775B2 JP H0252775 B2 JPH0252775 B2 JP H0252775B2 JP 12489784 A JP12489784 A JP 12489784A JP 12489784 A JP12489784 A JP 12489784A JP H0252775 B2 JPH0252775 B2 JP H0252775B2
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- air supply
- damper
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Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は、超LSI製造や精密機械の組立、若し
くは未知の微生物等を取扱うバイオテクノロジー
の実験などの特殊作業を行なういわゆるクリンル
ームの空調制御方法に関する。
くは未知の微生物等を取扱うバイオテクノロジー
の実験などの特殊作業を行なういわゆるクリンル
ームの空調制御方法に関する。
外界からの塵埃の侵入を防ぎ超清浄な環境を保
つためには室内を陽圧に制御する必要があり、菌
や有害物質を外界へ漏洩するのを防止するには室
内を陰圧に制御する必要がある。
つためには室内を陽圧に制御する必要があり、菌
や有害物質を外界へ漏洩するのを防止するには室
内を陰圧に制御する必要がある。
このような要請から室内を定風量、定室圧に維
持し、かつフアンの可変風量運転を採用すること
により給排気空調用フアンの省動力化を実現する
制御方式が提案されているが、まずかかる方式の
従来例について説明し、よつて本発明の目的を明
らかにする。
持し、かつフアンの可変風量運転を採用すること
により給排気空調用フアンの省動力化を実現する
制御方式が提案されているが、まずかかる方式の
従来例について説明し、よつて本発明の目的を明
らかにする。
第３図は従来例を示すブロツク図で、クリンル
ーム１，１′にはそれぞれ室内を所望圧力に保つ
べく循環フアン２，２′を有する循環ダクト３，
３′が備えつけられ、各ダクト３，３′の吹出口に
は超高性能フイルタ（HEPAフイルタ）４，
４′が配設されている。
ーム１，１′にはそれぞれ室内を所望圧力に保つ
べく循環フアン２，２′を有する循環ダクト３，
３′が備えつけられ、各ダクト３，３′の吹出口に
は超高性能フイルタ（HEPAフイルタ）４，
４′が配設されている。
そして、前記循環フアンン２，２′にはダンパ
５，５′を設けた給気ダクト６が連結され、その
流入側には給気フアン７が設けられ、一方、クリ
ンルーム１，１′内に配置した微差圧計８，８′の
検知結果に応じて、調節計９，９′を介して前記
ダンパ５，５′は開閉制御される。
５，５′を設けた給気ダクト６が連結され、その
流入側には給気フアン７が設けられ、一方、クリ
ンルーム１，１′内に配置した微差圧計８，８′の
検知結果に応じて、調節計９，９′を介して前記
ダンパ５，５′は開閉制御される。
また、クリンルーム１，１′内には複数台のド
ラフトチヤンバ１０，１０′が置かれ、該ドラフ
トチヤンバ１０，１０′に連結される排気ダクト
１１には排気フアン１２が設けられている。
ラフトチヤンバ１０，１０′が置かれ、該ドラフ
トチヤンバ１０，１０′に連結される排気ダクト
１１には排気フアン１２が設けられている。
図中１３は制御用のマイクロコンピユータで、
該コンピユータ１３はドラフトチヤンンバ１０，
１０′より出力を受けて使用台数を検出し、この
検出結果にもとづいて排気フアン１２の回転数を
制御する。そしてクリンルーム１，１′の室内の
変動を生じた場合は、微差圧計８，８′がこれを
検知して調節計９，９′によりダンパ５，５′を開
閉制御する。ところで、ダンパ５，５′が全開に
なつても所望の圧力が得られない場合、該ダンパ
５，５′はこれに設けられているリミツトスイツ
チ（図示せず）を介してコンピユータ１３に全開
信号を入力し、コンピユータ１３はこの全開信号
を受けて給気フアン７の回転数を上昇させるよう
に制御する。
該コンピユータ１３はドラフトチヤンンバ１０，
１０′より出力を受けて使用台数を検出し、この
検出結果にもとづいて排気フアン１２の回転数を
制御する。そしてクリンルーム１，１′の室内の
変動を生じた場合は、微差圧計８，８′がこれを
検知して調節計９，９′によりダンパ５，５′を開
閉制御する。ところで、ダンパ５，５′が全開に
なつても所望の圧力が得られない場合、該ダンパ
５，５′はこれに設けられているリミツトスイツ
チ（図示せず）を介してコンピユータ１３に全開
信号を入力し、コンピユータ１３はこの全開信号
を受けて給気フアン７の回転数を上昇させるよう
に制御する。
このようにダンパ５，５′の開閉制御と給気フ
アン７の回転数制御という２段階の制御を行なう
ことで、きめの細かな制御が実施でき、また不用
意に給気フアン７の回転数を上昇させることなく
省動力運転を実現できるものである。（以上の定
風量定室圧制御システムについては雑誌「計装」
の1983年６月号参照） ところで、前記クリンルーム１，１′は例えば
１が高圧室、１′が低圧室として構成され相互に
扉１４を介して連続している場合には、該扉１４
を開いた際にルーム１から１′へと空気の流れ、
いわゆるスルーパスが生じ、各室毎に設定された
定風量、定室圧制御の目標値から大きく外れたも
のとなつてしまう。また、扉１４が閉じたとして
も元の状態にもどすまでの事後の復旧に長時間を
必要とするものであつた。
アン７の回転数制御という２段階の制御を行なう
ことで、きめの細かな制御が実施でき、また不用
意に給気フアン７の回転数を上昇させることなく
省動力運転を実現できるものである。（以上の定
風量定室圧制御システムについては雑誌「計装」
の1983年６月号参照） ところで、前記クリンルーム１，１′は例えば
１が高圧室、１′が低圧室として構成され相互に
扉１４を介して連続している場合には、該扉１４
を開いた際にルーム１から１′へと空気の流れ、
いわゆるスルーパスが生じ、各室毎に設定された
定風量、定室圧制御の目標値から大きく外れたも
のとなつてしまう。また、扉１４が閉じたとして
も元の状態にもどすまでの事後の復旧に長時間を
必要とするものであつた。
本発明の目的は前記従来例の不都合を解消し、
室相互にスルーパスが形成されてもこれによる変
動を最少限にとどめ、またスルーパスがなくなつ
た事後の復旧も短時間で行なえるようにして、制
御性能の低下を防止できる動殊作業室の空調制御
方法を提供することにある。
室相互にスルーパスが形成されてもこれによる変
動を最少限にとどめ、またスルーパスがなくなつ
た事後の復旧も短時間で行なえるようにして、制
御性能の低下を防止できる動殊作業室の空調制御
方法を提供することにある。
しかしてこの目的は本発明によれば、室内を所
望圧力に保つべく循環フアンを有する循環ダクト
をそれぞれ備えたクリンルームで、前記循環フア
ンにはダンパを設けた給気ダクトを連結し、該給
気ダクトの流入側には給気フアンを設け、各クリ
ンルーム室内にそれぞれドラフトチヤンバを設置
し、これらドラフトチヤンバに排気フアンを有す
る排気ダクトを連結し、各クリンルームが高圧室
と低圧室とに分かれる場合に、ドラフトチヤンバ
の使用台数を検出してコンピユータが排気フアン
の回転数を制御し、室圧変動を検出してダンパの
開閉と給気フアンの回転数制御という２段階の給
気制御を行なう定風量定室圧制御方法において、
前記ダンパはコンピユータにより開閉制御可能な
ものとし、前記高圧室と低圧室とに分かれるクリ
ンルーム同士を連続させる扉に開閉検知器を設
け、該検知器から扉の開信号を受けた場合は、コ
ンピユータはこの扉の開により一体となるクリン
ルーム同士の室内と周囲との差圧が許容値である
か否かを判断し、許容値以下であれば給気フアン
の回転数を増加し、一方、許容値内であれば高圧
室のダンパの追従性を向上させ、低圧室のダンパ
の追従性を低下させることにより達成される。
望圧力に保つべく循環フアンを有する循環ダクト
をそれぞれ備えたクリンルームで、前記循環フア
ンにはダンパを設けた給気ダクトを連結し、該給
気ダクトの流入側には給気フアンを設け、各クリ
ンルーム室内にそれぞれドラフトチヤンバを設置
し、これらドラフトチヤンバに排気フアンを有す
る排気ダクトを連結し、各クリンルームが高圧室
と低圧室とに分かれる場合に、ドラフトチヤンバ
の使用台数を検出してコンピユータが排気フアン
の回転数を制御し、室圧変動を検出してダンパの
開閉と給気フアンの回転数制御という２段階の給
気制御を行なう定風量定室圧制御方法において、
前記ダンパはコンピユータにより開閉制御可能な
ものとし、前記高圧室と低圧室とに分かれるクリ
ンルーム同士を連続させる扉に開閉検知器を設
け、該検知器から扉の開信号を受けた場合は、コ
ンピユータはこの扉の開により一体となるクリン
ルーム同士の室内と周囲との差圧が許容値である
か否かを判断し、許容値以下であれば給気フアン
の回転数を増加し、一方、許容値内であれば高圧
室のダンパの追従性を向上させ、低圧室のダンパ
の追従性を低下させることにより達成される。
以下、図面について本発明の実施例を詳細に説
明する。
明する。
第１図は本発明の実施例を示すブロツク図、第
２図はフローチヤートで、第１図において前記従
来例を示す第３図と同一構成要素には同一参照番
号を付した。
２図はフローチヤートで、第１図において前記従
来例を示す第３図と同一構成要素には同一参照番
号を付した。
すなわち、高圧室と低圧室のクリンルーム１，
１′内のドラフトチヤンバ１０，１０′は駆動信号
をマイクロコンピユータ１３に送り、コンピユー
タ１３はこの信号を受けてドラフトチヤンバ１
０，１０′の使用台数を検出しそれに応じて排気
フアン１２の回転数を制御する。本発明では、ル
ーム１，１′内に配設した微差圧計８，８′の圧力
検知信号をコンピユータ１３に導入し、循環フア
ン２，２′への流入側に設けられるダンパ５，
５′へコンピユータ１３からの開閉制御信号を導
入し、該コンピユータ１３でダンパ５，５′を開
閉制御するようにした。これにより、従来必要と
された調節計９，９′（第３図参照）が不要とな
り、また、ダンパ５，５′の開閉状態はコンピユ
ータ１３自体が発する開閉制御信号（デジタル
値）をそのままダンパ開度に演算することにより
検知できるので、ダンパ５，５′に設けるリミツ
トスイツチや配線も省略できる。
１′内のドラフトチヤンバ１０，１０′は駆動信号
をマイクロコンピユータ１３に送り、コンピユー
タ１３はこの信号を受けてドラフトチヤンバ１
０，１０′の使用台数を検出しそれに応じて排気
フアン１２の回転数を制御する。本発明では、ル
ーム１，１′内に配設した微差圧計８，８′の圧力
検知信号をコンピユータ１３に導入し、循環フア
ン２，２′への流入側に設けられるダンパ５，
５′へコンピユータ１３からの開閉制御信号を導
入し、該コンピユータ１３でダンパ５，５′を開
閉制御するようにした。これにより、従来必要と
された調節計９，９′（第３図参照）が不要とな
り、また、ダンパ５，５′の開閉状態はコンピユ
ータ１３自体が発する開閉制御信号（デジタル
値）をそのままダンパ開度に演算することにより
検知できるので、ダンパ５，５′に設けるリミツ
トスイツチや配線も省略できる。
一方、給気フアン７に回転制御信号を与えてコ
ンピユータ１３で回転数を制御する点は従来と同
じであり、該コンピユータ１３はこの回転制御信
号を出すことにより同時に給気フアン７の風量を
検知できることになる。
ンピユータ１３で回転数を制御する点は従来と同
じであり、該コンピユータ１３はこの回転制御信
号を出すことにより同時に給気フアン７の風量を
検知できることになる。
このようにして、ダンパ５，５′の開閉と給気
フアン７との２段階の制御を行なうわけである
が、高圧室のクリンルーム１と低圧室のクリンル
ーム１′とを連続する扉１４にリミツトスイツチ
を用いた開閉検知器１５を設け、該開閉検知器１
５の出力信号をコンピユータ１３に導入するよう
にした。
フアン７との２段階の制御を行なうわけである
が、高圧室のクリンルーム１と低圧室のクリンル
ーム１′とを連続する扉１４にリミツトスイツチ
を用いた開閉検知器１５を設け、該開閉検知器１
５の出力信号をコンピユータ１３に導入するよう
にした。
第２図に示すように、扉１４が開かれた場合は
扉の開信号がコンピユータ１３に入力される（ス
テツプ イ）。そしてコンピユータ１３は今まで
行なつていた制御プログラムの実行を停止し、ク
リンルーム１，１′の両方を一体として扱い、室
内と周囲との差圧が許容値内であるか、それ以下
であるかを判断する。そして、許容値以下であれ
ば、給気フアン７の回転数を増加させ周囲に対し
て必要な差圧を確保する（ステツプ ハ）。
扉の開信号がコンピユータ１３に入力される（ス
テツプ イ）。そしてコンピユータ１３は今まで
行なつていた制御プログラムの実行を停止し、ク
リンルーム１，１′の両方を一体として扱い、室
内と周囲との差圧が許容値内であるか、それ以下
であるかを判断する。そして、許容値以下であれ
ば、給気フアン７の回転数を増加させ周囲に対し
て必要な差圧を確保する（ステツプ ハ）。
また、許容値内であれば、高圧室であるクリン
ルーム１側のダンパ５の追従性を向上させ、低圧
室であるクリンルーム１′側のダンパ５′の追従性
を低下させる（ステツプ ニ）。なお、追従性を
向上させるとは、ダンパの比例定数を上げる、つ
まり動作感度を上げることである。扉１４が開く
とスルーパスが形成され、クリンルーム１は圧力
低下によりダンパ５が開いていくがそれに従つて
ルーム１への空気量を増してルーム１からルーム
１′へ、すなわち高圧室から低圧室への気流を確
保することになる。一方、低圧室としてのクリン
ルーム１′ではダンパ５′は閉まろうとするが、圧
力が高くなるのはダンンパ５′全閉に近くなる時
であり、無意味にこのダンパ５′を閉じてやる必
要はない。むしろ、前記のごとく追従性を低下さ
せて、扉１４が閉つてスルーパスがなくなつた後
の復旧速度が向上するように配慮した。
ルーム１側のダンパ５の追従性を向上させ、低圧
室であるクリンルーム１′側のダンパ５′の追従性
を低下させる（ステツプ ニ）。なお、追従性を
向上させるとは、ダンパの比例定数を上げる、つ
まり動作感度を上げることである。扉１４が開く
とスルーパスが形成され、クリンルーム１は圧力
低下によりダンパ５が開いていくがそれに従つて
ルーム１への空気量を増してルーム１からルーム
１′へ、すなわち高圧室から低圧室への気流を確
保することになる。一方、低圧室としてのクリン
ルーム１′ではダンパ５′は閉まろうとするが、圧
力が高くなるのはダンンパ５′全閉に近くなる時
であり、無意味にこのダンパ５′を閉じてやる必
要はない。むしろ、前記のごとく追従性を低下さ
せて、扉１４が閉つてスルーパスがなくなつた後
の復旧速度が向上するように配慮した。
ところで、扉１４が閉まつている場合、開閉検
知器１５からの扉閉信号が送られた時点により今
まで扉１４が開いていたか否かをコンピユータ１
３は判断する（ステツプ ホ）。そして、扉１４
が閉じた直後であれば、スルーパスがなくなつた
事後の復旧を一層早めるためにダンパ５，５′の
追従性を向上させる（ステツプ ハ）。また、扉
１４が長い間閉つていたものであれば、通常の定
風量定室圧制御を行なうようにダンパ５，５′の
開度を制御する（ステツプ ト）。
知器１５からの扉閉信号が送られた時点により今
まで扉１４が開いていたか否かをコンピユータ１
３は判断する（ステツプ ホ）。そして、扉１４
が閉じた直後であれば、スルーパスがなくなつた
事後の復旧を一層早めるためにダンパ５，５′の
追従性を向上させる（ステツプ ハ）。また、扉
１４が長い間閉つていたものであれば、通常の定
風量定室圧制御を行なうようにダンパ５，５′の
開度を制御する（ステツプ ト）。
以上述べたように本発明の特殊作業室の空調制
御方法は、ドラフトチヤンバの使用台数を検出し
てコンピユータが排気フアンの回転数を制御し、
室圧変動を検出してダンパの開閉と給気フアンの
回転数制御という２段階の給気制御を行なう定風
量定室圧制御システムにおいて、クリンルーム間
が扉で連続し、その開閉によりスルーパスが生じ
る場合でもこれによる変動を最少値にとどめるこ
とができ、また扉が閉じられてスルーパスがなく
なつた後の復旧も短時間で行なえるようになり、
その結果制御性能の低下を防止できるものであ
る。
御方法は、ドラフトチヤンバの使用台数を検出し
てコンピユータが排気フアンの回転数を制御し、
室圧変動を検出してダンパの開閉と給気フアンの
回転数制御という２段階の給気制御を行なう定風
量定室圧制御システムにおいて、クリンルーム間
が扉で連続し、その開閉によりスルーパスが生じ
る場合でもこれによる変動を最少値にとどめるこ
とができ、また扉が閉じられてスルーパスがなく
なつた後の復旧も短時間で行なえるようになり、
その結果制御性能の低下を防止できるものであ
る。
第１図は本発明の特殊作業室の空調制御方法の
実施例を示すブロツク図、第２図は実施例を示す
フローチヤート、第３図は従来方式を示すブロツ
ク図である。 １，１′……クリンルーム、２，２′……循環フ
アン、３，３′……循環ダクト、４，４′……超高
性能フイルタ、５，５′……ダンパ、６……給気
ダクト、７……給気フアン、８，８′……微差圧
計、９，９′……調節計、１０，１０′……ドラフ
トチヤンバ、１１……排気ダクト、１２……排気
フアン、１３……マイクロコンピユータ、１４…
…扉、１５……開閉検知器。
実施例を示すブロツク図、第２図は実施例を示す
フローチヤート、第３図は従来方式を示すブロツ
ク図である。 １，１′……クリンルーム、２，２′……循環フ
アン、３，３′……循環ダクト、４，４′……超高
性能フイルタ、５，５′……ダンパ、６……給気
ダクト、７……給気フアン、８，８′……微差圧
計、９，９′……調節計、１０，１０′……ドラフ
トチヤンバ、１１……排気ダクト、１２……排気
フアン、１３……マイクロコンピユータ、１４…
…扉、１５……開閉検知器。
Claims (1)
- １ 室内を所望圧力に保つべく循環フアンを有す
る循環ダクトをそれぞれ備えたクリンルームで、
前記循環フアンにはダンパを設けた給気ダクトを
連結し、該給気ダクトの流入側には給気フアンを
設け、各クリンルーム室内にそれぞれドラフトチ
ヤンバを設置し、これらドラフトチヤンバに排気
フアンを有する排気ダクトを連結し、各クリンル
ームが高圧室と低圧室とに分かれる場合に、ドラ
フトチヤンバの使用台数を検出してコンピユータ
が排気フアンの回転数を制御し、室圧変動を検出
してダンパの開閉と給気フアンの回転数制御とい
う２段階の給気制御を行なう定風量定室圧制御方
法において、前記ダンパはコンピユータにより開
閉制御可能なものとし、前記高圧室と低圧室とに
分かれるクリンルーム同士を連続させる扉に開閉
検知器を設け、該検知器から扉の開信号を受けた
場合は、コンピユータはこの扉の開により一体と
なるクリンルーム同士の室内と周囲との差圧が許
容値であるか否かを判断し、許容値以下であれば
給気フアンの回転数を増加し、一方、許容値内で
あれば高圧室のダンパの追従性を向上させ、低圧
室のダンパの追従性を低下させることを特徴とし
た特殊作業室の空調制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12489784A JPS613933A (ja) | 1984-06-18 | 1984-06-18 | 特殊作業室の空調制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12489784A JPS613933A (ja) | 1984-06-18 | 1984-06-18 | 特殊作業室の空調制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS613933A JPS613933A (ja) | 1986-01-09 |
| JPH0252775B2 true JPH0252775B2 (ja) | 1990-11-14 |
Family
ID=14896807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12489784A Granted JPS613933A (ja) | 1984-06-18 | 1984-06-18 | 特殊作業室の空調制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS613933A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007024326A (ja) * | 2005-07-12 | 2007-02-01 | Dai-Dan Co Ltd | 空調システム |
| JP2011133221A (ja) * | 2011-02-09 | 2011-07-07 | Dai-Dan Co Ltd | 空調システム |
| TWI746271B (zh) * | 2019-11-26 | 2021-11-11 | 日商東芝三菱電機產業系統股份有限公司 | SCADA Web HMI系統 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5545086A (en) * | 1994-08-18 | 1996-08-13 | Phoenix Controls Corporation | Air flow control for pressurized room facility |
| US5538471A (en) * | 1994-11-15 | 1996-07-23 | Innovative Air Systems, Inc. | Dynamic particulate control system and method of operation |
| JP4558152B2 (ja) * | 2000-07-27 | 2010-10-06 | 株式会社奥村組 | 高度清浄施設における室圧制御方法 |
| JP4904014B2 (ja) * | 2005-04-11 | 2012-03-28 | ダイダン株式会社 | 空調システム |
| JP6093658B2 (ja) * | 2013-06-18 | 2017-03-08 | アズビル株式会社 | 全館空調システムにおける自動風量制御方法 |
| JP6770357B2 (ja) * | 2016-07-11 | 2020-10-14 | 株式会社日立プラントサービス | クリーンルーム用空調システム |
-
1984
- 1984-06-18 JP JP12489784A patent/JPS613933A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007024326A (ja) * | 2005-07-12 | 2007-02-01 | Dai-Dan Co Ltd | 空調システム |
| JP2011133221A (ja) * | 2011-02-09 | 2011-07-07 | Dai-Dan Co Ltd | 空調システム |
| TWI746271B (zh) * | 2019-11-26 | 2021-11-11 | 日商東芝三菱電機產業系統股份有限公司 | SCADA Web HMI系統 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS613933A (ja) | 1986-01-09 |
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