JPH048692B2 - - Google Patents
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- JPH048692B2 JPH048692B2 JP58181347A JP18134783A JPH048692B2 JP H048692 B2 JPH048692 B2 JP H048692B2 JP 58181347 A JP58181347 A JP 58181347A JP 18134783 A JP18134783 A JP 18134783A JP H048692 B2 JPH048692 B2 JP H048692B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- exhaust
- room
- suction ports
- detection sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F11/00—Control or safety arrangements
- F24F11/0001—Control or safety arrangements for ventilation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Air Conditioning Control Device (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は空調防塵室の局所排気装置に係り、特
に半導体製造工場、薬品製造工場、食品製造工
場、病院等の空調防塵室に適した局所排気装置に
関する。
に半導体製造工場、薬品製造工場、食品製造工
場、病院等の空調防塵室に適した局所排気装置に
関する。
空調防塵室の各作業箇所に設置された生産設備
から熱風、有機ガス、塵埃等を含むガスが発生す
る場合には、これらのガスを室外に排気しなけれ
ばならない。従来、このような排気は、各作業箇
所に吸込口を有する排気枝管を設け、この排気枝
管を合流した排気メイン管によつて室内で発生し
たガを排気するようにしていた。しかしながら従
来の空調防塵室に於いては、排気メイン管の排気
量は空調防塵室内の各作業場所に於ける生産設備
が全部稼働した状態に於ける必要最大量を排気す
ると共にそれに見合うエアを供給するようにして
いる。従つて従来の空調防塵室は、ある生産設備
が休止しその吸込口が閉じていても排気メイン管
の排気フアンは必要量以上に排気すると共に給気
管からは必要量以上にエアを給気するのでエネル
ギーの損失となる。即ち排気量が多いとそれに見
合うエアを供給しなければならず、この場合空調
防塵室に供給されるエアは空調されるので、余分
のエアを空調するためエネルギーロスが生じるこ
とになる。またある作業箇所に於ける生産設備が
休止し吸込口が閉じたにもかかわらず排気フアン
から必要以上のエアが排気されると、残された他
の排気枝管の排気バランスが崩れ、各排気枝管の
排気に悪影響を与える虞れがある。
から熱風、有機ガス、塵埃等を含むガスが発生す
る場合には、これらのガスを室外に排気しなけれ
ばならない。従来、このような排気は、各作業箇
所に吸込口を有する排気枝管を設け、この排気枝
管を合流した排気メイン管によつて室内で発生し
たガを排気するようにしていた。しかしながら従
来の空調防塵室に於いては、排気メイン管の排気
量は空調防塵室内の各作業場所に於ける生産設備
が全部稼働した状態に於ける必要最大量を排気す
ると共にそれに見合うエアを供給するようにして
いる。従つて従来の空調防塵室は、ある生産設備
が休止しその吸込口が閉じていても排気メイン管
の排気フアンは必要量以上に排気すると共に給気
管からは必要量以上にエアを給気するのでエネル
ギーの損失となる。即ち排気量が多いとそれに見
合うエアを供給しなければならず、この場合空調
防塵室に供給されるエアは空調されるので、余分
のエアを空調するためエネルギーロスが生じるこ
とになる。またある作業箇所に於ける生産設備が
休止し吸込口が閉じたにもかかわらず排気フアン
から必要以上のエアが排気されると、残された他
の排気枝管の排気バランスが崩れ、各排気枝管の
排気に悪影響を与える虞れがある。
本発明はこのような事情に鑑みて為されたもの
で、空調防塵室内の作業状況に応じて排気量並び
に給気量を調節することができる空調防塵室の局
所排気装置を提案することを目的としている。
で、空調防塵室内の作業状況に応じて排気量並び
に給気量を調節することができる空調防塵室の局
所排気装置を提案することを目的としている。
本発明は、空調防塵室内の各作業箇所に開口し
た複数の吸込口を備え該吸込口は作業条件に応じ
て開閉する複数の排気枝管と、各排気枝管が連通
し排気フアンによつて室内のエアを室外に排出す
る排気メイン管と、排気メイン管で排出されたエ
アに応じて室内に空調されたエアを給気フアンに
よつて供給する給気管と、排気メイン管に設けら
れ排気メイン管内の圧力を調整可能な絞り弁と、
排気メイン管内に設けられた圧力検出センサ並び
に風量検出センサと、両検出センサの検出信号に
基づいて排気フアンの回転数、給気フアンの回転
数、並びに絞り弁の開度をコントロールする制御
部とから成ることを特徴としている。
た複数の吸込口を備え該吸込口は作業条件に応じ
て開閉する複数の排気枝管と、各排気枝管が連通
し排気フアンによつて室内のエアを室外に排出す
る排気メイン管と、排気メイン管で排出されたエ
アに応じて室内に空調されたエアを給気フアンに
よつて供給する給気管と、排気メイン管に設けら
れ排気メイン管内の圧力を調整可能な絞り弁と、
排気メイン管内に設けられた圧力検出センサ並び
に風量検出センサと、両検出センサの検出信号に
基づいて排気フアンの回転数、給気フアンの回転
数、並びに絞り弁の開度をコントロールする制御
部とから成ることを特徴としている。
以下添付図面に従つて本発明に係る空調防塵室
の局所排気装置の好ましい実施例を詳説する。
の局所排気装置の好ましい実施例を詳説する。
図に於いて１０は空調防塵室、１２は空調防塵
室１０に形成されるサプライチヤンバ、１４はミ
キシングチヤンバ、１６は環境制御室、１８はリ
ターンチヤンバである。複数の内調機２０はダク
ト２２を介してリターンチヤンバ１８のエアの一
部を吸い込んで空調した後サプライチヤンバ１２
に供給する。空調防塵室１０の側壁はツインウオ
ールとして構成され、リターンチヤンバ１８の大
部分のエアはこのツインウオールの通路２４を通
つてミキシングチヤンバ１４に送られる。ミキシ
ングチヤンバ１４に於いてサプライチヤンバ１２
からのエアと通路２４からのエアとはミキシング
され、HEPAフイルタを内蔵した送気ユニツト
２６により環境制御室１６に清浄エアが供給され
るようになつている。以上が空調防塵室に於ける
エアの循環経路を示す概略構造である。
室１０に形成されるサプライチヤンバ、１４はミ
キシングチヤンバ、１６は環境制御室、１８はリ
ターンチヤンバである。複数の内調機２０はダク
ト２２を介してリターンチヤンバ１８のエアの一
部を吸い込んで空調した後サプライチヤンバ１２
に供給する。空調防塵室１０の側壁はツインウオ
ールとして構成され、リターンチヤンバ１８の大
部分のエアはこのツインウオールの通路２４を通
つてミキシングチヤンバ１４に送られる。ミキシ
ングチヤンバ１４に於いてサプライチヤンバ１２
からのエアと通路２４からのエアとはミキシング
され、HEPAフイルタを内蔵した送気ユニツト
２６により環境制御室１６に清浄エアが供給され
るようになつている。以上が空調防塵室に於ける
エアの循環経路を示す概略構造である。
次に局所排気装置について説明する。環境制御
室１６内には、各作業箇所に種類の異なつた生産
設備２８乃至３８が配設され各生産設備２８乃至
３８には各排気枝管４０乃至５０が設けられてい
る。各排気枝管４０乃至５０は各々吸込口５２乃
至６２を有し、生産設備から生じた有機ガス、無
機ガス、熱風、塵埃等を吸込むようになつてい
る。図に示すように排気枝管４０，４６は排気メ
イン管６４に合流し、排気枝管４２，４８は排気
メイン管６６に合流し、排気枝管４４，５０は排
気メイン管６８に合流する。また排気メイン管６
４には絞り弁７０と排気フアン７２が設けられ、
更に排気メイン管６６には絞り弁７３と排気フア
ン７４が設けられ、また排気メイン管６８にも絞
り弁７６と排気フアン７８が設けられている。ま
た排気メイン管６４には圧力検出センサ８０、風
量検出センサ８２が設けられ、更に排気メイン管
６６には圧力検出センサ８４、風量検出センサ８
６が設けられ、同様に排気メイン管６８にも圧力
検出センサ８８、風量検出センサ９０が設けられ
ている。
室１６内には、各作業箇所に種類の異なつた生産
設備２８乃至３８が配設され各生産設備２８乃至
３８には各排気枝管４０乃至５０が設けられてい
る。各排気枝管４０乃至５０は各々吸込口５２乃
至６２を有し、生産設備から生じた有機ガス、無
機ガス、熱風、塵埃等を吸込むようになつてい
る。図に示すように排気枝管４０，４６は排気メ
イン管６４に合流し、排気枝管４２，４８は排気
メイン管６６に合流し、排気枝管４４，５０は排
気メイン管６８に合流する。また排気メイン管６
４には絞り弁７０と排気フアン７２が設けられ、
更に排気メイン管６６には絞り弁７３と排気フア
ン７４が設けられ、また排気メイン管６８にも絞
り弁７６と排気フアン７８が設けられている。ま
た排気メイン管６４には圧力検出センサ８０、風
量検出センサ８２が設けられ、更に排気メイン管
６６には圧力検出センサ８４、風量検出センサ８
６が設けられ、同様に排気メイン管６８にも圧力
検出センサ８８、風量検出センサ９０が設けられ
ている。
圧力検出センサ８０，８４，８８並びに風量検
出センサ８２，８６，９０の各検出信号は制御装
置９２に入力されるようになつている。またこの
検出センサからの入力信号に基づいて絞り弁７
０，７３，７６の開度並びに排気フアン７２，７
６，７８の回転数がコトロールされる。排気メイ
ン管６４，６６，６８により室内のエアを排気す
ると、その排気量に見合うだけのエアを空調防塵
室１０内に供給しなければならず、そのエアの供
給は次のような装置によつて成される。即ちエア
取入口９４，９６から取入れたエアは外調機９
８，１００によつて空調され、この空調されたエ
アは給気フアン１０２，１０４によつて内調機２
０に送られサプライチヤンバ１２内に供給され
る。また制御装置９２は前記圧力検出センサ８
０，８４，８８、風量検出センサ８２，８６，９
０の検出値に基づいて排気フアン７２，７６，７
８と同様に給気フアン１０２，１０４の回転数を
制御する。
出センサ８２，８６，９０の各検出信号は制御装
置９２に入力されるようになつている。またこの
検出センサからの入力信号に基づいて絞り弁７
０，７３，７６の開度並びに排気フアン７２，７
６，７８の回転数がコトロールされる。排気メイ
ン管６４，６６，６８により室内のエアを排気す
ると、その排気量に見合うだけのエアを空調防塵
室１０内に供給しなければならず、そのエアの供
給は次のような装置によつて成される。即ちエア
取入口９４，９６から取入れたエアは外調機９
８，１００によつて空調され、この空調されたエ
アは給気フアン１０２，１０４によつて内調機２
０に送られサプライチヤンバ１２内に供給され
る。また制御装置９２は前記圧力検出センサ８
０，８４，８８、風量検出センサ８２，８６，９
０の検出値に基づいて排気フアン７２，７６，７
８と同様に給気フアン１０２，１０４の回転数を
制御する。
前記の如く構成された本発明に係る実施例の作
用は次の通りである。まず生産設備２８乃至３８
が全て稼働状態の時に於いては吸込口５２乃至６
２は全開し、排気フアン７２，７６，７８は最大
排気量でエアを排出すると共に給気フアン１０
２，１０４もこれに応じて駆動し、この排気量に
見合うエアを供給する。
用は次の通りである。まず生産設備２８乃至３８
が全て稼働状態の時に於いては吸込口５２乃至６
２は全開し、排気フアン７２，７６，７８は最大
排気量でエアを排出すると共に給気フアン１０
２，１０４もこれに応じて駆動し、この排気量に
見合うエアを供給する。
即ち、制御装置９２は、絞り弁７０，７３，７
６の開度及び排気フアン７２，７４，７８の回転
数をそれぞれ圧力検出センサ８０，８４，８８の
検出圧力が所定の基準圧力になるように制御し、
また、給気フアン１０２，１０４の回転数をそれ
ぞれ風量検出センサ８２，８６，９０の検出風量
に基づいて制御しており、吸込口５２乃至６２が
全開の場合には、各排気フアン７２，７４，７８
は最大排気量となるように制御され、このとき圧
力検出センサ８０，８４，８８の検出圧力は所定
の基準圧力になる。また、給気フアン１０２，１
０４は風量検出センサ８２，８６，９０の検出風
量に基づいて制御され、上記最大排気量に見合う
エアを供給する。
６の開度及び排気フアン７２，７４，７８の回転
数をそれぞれ圧力検出センサ８０，８４，８８の
検出圧力が所定の基準圧力になるように制御し、
また、給気フアン１０２，１０４の回転数をそれ
ぞれ風量検出センサ８２，８６，９０の検出風量
に基づいて制御しており、吸込口５２乃至６２が
全開の場合には、各排気フアン７２，７４，７８
は最大排気量となるように制御され、このとき圧
力検出センサ８０，８４，８８の検出圧力は所定
の基準圧力になる。また、給気フアン１０２，１
０４は風量検出センサ８２，８６，９０の検出風
量に基づいて制御され、上記最大排気量に見合う
エアを供給する。
次に、ある生産設備例えば生産設備２８，３２
が休止すると、その吸込口５２，５６は閉じられ
る。これによりダクト６４，６８の内の圧力は低
下し、風量も若干減少するが、これを圧力検出セ
ンサ８０，８８、風量検出センサ８２，９０が検
出し制御装置９２に入力する。制御装置９２は、
前記低下した圧力がもとの圧力に戻るように、即
ち生産設備２８，３２が休止することによつて不
要になつた排気量を減らすべく絞り弁７０，７６
の開度、排気フアン７２，７８の回転数をコント
ロールする。また同時に制御装置９２はこの排気
量の減少によつて室内への給気量と排気量とがア
ンバランスになるので、風量検出センサ８２，９
０の検出信号に基づいて給気量も減少させるべく
給気フアン１０２，１０４に信号を送り、その回
転数を減少させる。
が休止すると、その吸込口５２，５６は閉じられ
る。これによりダクト６４，６８の内の圧力は低
下し、風量も若干減少するが、これを圧力検出セ
ンサ８０，８８、風量検出センサ８２，９０が検
出し制御装置９２に入力する。制御装置９２は、
前記低下した圧力がもとの圧力に戻るように、即
ち生産設備２８，３２が休止することによつて不
要になつた排気量を減らすべく絞り弁７０，７６
の開度、排気フアン７２，７８の回転数をコント
ロールする。また同時に制御装置９２はこの排気
量の減少によつて室内への給気量と排気量とがア
ンバランスになるので、風量検出センサ８２，９
０の検出信号に基づいて給気量も減少させるべく
給気フアン１０２，１０４に信号を送り、その回
転数を減少させる。
前記実施例では排気メイン管６４，６６，６８
は三系統用いられたのであるが、これに限定され
るものではなく生産設備の種類に応じて一系統で
もよいし、また三以上の系統でもよい。また給気
系統に於いても給気フアンの容量が大きければ前
記実施例の如く給気フアン１０２，１０４を二台
設ける必要はない。
は三系統用いられたのであるが、これに限定され
るものではなく生産設備の種類に応じて一系統で
もよいし、また三以上の系統でもよい。また給気
系統に於いても給気フアンの容量が大きければ前
記実施例の如く給気フアン１０２，１０４を二台
設ける必要はない。
以上説明したように本発明に係る空調防塵室の
局所排気装置によれば、生産設備の稼働状態に応
じて排気フアン並びに給気フアンをコントロール
し、排気量並びに給気量をも変えることにしたの
でエネルギーのロスがなくなる。また生産設備が
休止することに伴つて生産設備のエア吸込口が閉
じると排気フアンの回転数も減少するので他の吸
込口の排気系統に悪影響を与えることはない。
局所排気装置によれば、生産設備の稼働状態に応
じて排気フアン並びに給気フアンをコントロール
し、排気量並びに給気量をも変えることにしたの
でエネルギーのロスがなくなる。また生産設備が
休止することに伴つて生産設備のエア吸込口が閉
じると排気フアンの回転数も減少するので他の吸
込口の排気系統に悪影響を与えることはない。
図面は本発明に係る空調防塵室の局所排気装置
の実施例を示す説明図である。 １０……空調防塵室、２６……送気ユニツト、
２８乃至３８……生産設備、４０乃至５０……排
気枝管、５２乃至６２……吸込口、６４，６６，
６８……排気メイン管、７０，７３，７６……絞
り弁、７２，７６，７８……排気フアン、８０，
８４，８８……圧力検出センサ、８２，８６，９
０……風量検出センサ、９２……制御装置、１０
２，１０４……給気フアン。
の実施例を示す説明図である。 １０……空調防塵室、２６……送気ユニツト、
２８乃至３８……生産設備、４０乃至５０……排
気枝管、５２乃至６２……吸込口、６４，６６，
６８……排気メイン管、７０，７３，７６……絞
り弁、７２，７６，７８……排気フアン、８０，
８４，８８……圧力検出センサ、８２，８６，９
０……風量検出センサ、９２……制御装置、１０
２，１０４……給気フアン。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 室内のエアを循環させ、このエアの循環経路
に空気調和機とエアフイルタとを配してなる空調
防塵室に於いて、 室内の各作業箇所に開口した複数の吸込口を備
え該吸込口が作業条件に応じて開閉する複数の排
気枝管と、 各排気枝管が合流し排気フアンによつて室内の
エアを室外に排出する排気メイン管と、 排気メイン管で排出されたエアに応じて室内に
空調されたエアを給気フアンによつて供給する給
気管と、 排気メイン管に設けられ排気メイン管内の圧力
を調整可能な絞り弁と、 排気メイン管内に設けられた圧力検出センサ並
びに風量検出センサと、 前記複数の吸込口が全開の時並びにいずれかの
吸込口が閉じた時に前記圧力検出センサの検出圧
力が所定の基準圧力になるように前記排気フアン
の回転数及び絞り弁の開度を制御するとともに、
前記風量検出センサの検出風量に基づいて前記給
気フアンの回転数を制御する制御部と、 を備え、前記複数の吸込口の開閉状態に対応した
排気量及び給気量となるようにしたことを特徴と
する空調防塵室の局所排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58181347A JPS6071845A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 空調防塵室の局所排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58181347A JPS6071845A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 空調防塵室の局所排気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6071845A JPS6071845A (ja) | 1985-04-23 |
| JPH048692B2 true JPH048692B2 (ja) | 1992-02-17 |
Family
ID=16099113
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58181347A Granted JPS6071845A (ja) | 1983-09-29 | 1983-09-29 | 空調防塵室の局所排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6071845A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100394046B1 (ko) * | 2001-01-09 | 2003-08-09 | 주식회사 디에스테크 | 청소기 겸용 공조장치 |
| CN110131848B (zh) * | 2018-02-09 | 2021-05-25 | 青岛海尔空调器有限总公司 | 用于空调系统的控制方法及装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5798739A (en) * | 1980-12-10 | 1982-06-19 | Takasago Thermal Eng Co Lts | Exhaustion control device within air conditioning zone |
-
1983
- 1983-09-29 JP JP58181347A patent/JPS6071845A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6071845A (ja) | 1985-04-23 |
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