JPH0253185B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0253185B2 JPH0253185B2 JP58057000A JP5700083A JPH0253185B2 JP H0253185 B2 JPH0253185 B2 JP H0253185B2 JP 58057000 A JP58057000 A JP 58057000A JP 5700083 A JP5700083 A JP 5700083A JP H0253185 B2 JPH0253185 B2 JP H0253185B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- workpieces
- work
- belt conveyor
- guides
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
Landscapes
- Sorting Of Articles (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は加工装置に係り、詳しくは複数の工
作機械を具備し、形状の異なる被工作物を適宜選
択して前記工作機械に供給することができる加工
装置に関する。
作機械を具備し、形状の異なる被工作物を適宜選
択して前記工作機械に供給することができる加工
装置に関する。
近年、複数の工作機械を連係して自動制御する
とともに、各工作機械へ形状の異なる被加工物
（ワーク）を夫々自動供給する加工装置が開発さ
れている。そして、このような加工装置において
は供給されるワークの種類、形状、加工工程に応
じてワークを選別し、選別したワークを所望の工
作機械に供給するワーク選別搬送部が設けられ
る。ところで、従来のワーク選別搬送部はワーク
もしくはワークが載置されるプレート等に予め選
別用のマークを付し、このマークを検出、解析し
て前記ワークの加工を行う工作機械を割り出すと
いう構成をとつていた。したがつて、ワーク等に
いちいちマークを付さなければならない面倒があ
るとともに、マークの検出、解析および工作機械
の割り出しを行う回路等の構成が複雑になる欠点
があつた。
とともに、各工作機械へ形状の異なる被加工物
（ワーク）を夫々自動供給する加工装置が開発さ
れている。そして、このような加工装置において
は供給されるワークの種類、形状、加工工程に応
じてワークを選別し、選別したワークを所望の工
作機械に供給するワーク選別搬送部が設けられ
る。ところで、従来のワーク選別搬送部はワーク
もしくはワークが載置されるプレート等に予め選
別用のマークを付し、このマークを検出、解析し
て前記ワークの加工を行う工作機械を割り出すと
いう構成をとつていた。したがつて、ワーク等に
いちいちマークを付さなければならない面倒があ
るとともに、マークの検出、解析および工作機械
の割り出しを行う回路等の構成が複雑になる欠点
があつた。
この発明は上述した事情に鑑み、ワーク等にマ
ークを付す必要がなく、しかも、装置全体の構成
を簡略化でき、調整が容易で安価に製作すること
ができる加工装置を提供するもので、被加工物を
所定の搬送路に沿つて搬送する搬送部を設けると
ともに、前記搬送路上の被加工物のうち所定の高
さ以上の高さを有する被加工物を前記搬送路のど
ちらか一方の側部へ案内し、所定の高さ以下の高
さを有する被加工物をそのまま通過させるワーク
ガイドを前記搬送路に沿つて複数設け、前記各ワ
ークガイドにより前記被加工物を振り分けて選別
することを特徴としている。
ークを付す必要がなく、しかも、装置全体の構成
を簡略化でき、調整が容易で安価に製作すること
ができる加工装置を提供するもので、被加工物を
所定の搬送路に沿つて搬送する搬送部を設けると
ともに、前記搬送路上の被加工物のうち所定の高
さ以上の高さを有する被加工物を前記搬送路のど
ちらか一方の側部へ案内し、所定の高さ以下の高
さを有する被加工物をそのまま通過させるワーク
ガイドを前記搬送路に沿つて複数設け、前記各ワ
ークガイドにより前記被加工物を振り分けて選別
することを特徴としている。
以下図面を参照してこの発明の実施例について
説明する。
説明する。
第１図はこの発明の一実施例の構成を示す平面
図である。
図である。
図において１はワーク等を実線矢印方向に搬送
するベルトコンベアであり、このベルトコンベア
１の側方に数値制御旋盤（以下NC旋盤と称す）
２〜４が１列に配置されている。ベルトコンベア
１とNC旋盤２〜４との間には多軸型工業用ロボ
ツト５〜７が各々設けられており、このロボツト
５〜７はアーム５ａ，５ｂ，６ａ，６ｂ，７ａ，
７ｂおよびハンド５ｃ，６ｃ，７ｃを各々適宜旋
回、伸縮あるいは開閉することにより、NC旋盤
２〜４のチヤツク２ａ〜４ａに加工前のワークを
搬送し、また、加工後のワークをチヤツク２ａ〜
４ａからベルトコンベア１へ搬送する。８はロボ
ツト５の近傍に設けられている素材用コンベアで
あり、未加工ワーク９，９…とNC旋盤２で用い
られる工具１０，１０…とを各々楕円状の搬送路
に沿つて循環させている。また、ベルトコンベア
１の両側に近接して枠１２，１３が設けられてお
り、枠１２にはコンベア１上のワーク９を枠１３
側へ案内するワークガイド１４ａ，１４ｂおよび
ワーク９をベルトコンベア１上から取り込んだ
り、ベルトコンベア１上に搬出したりするワーク
入出部１５ａ，１５ｂが設けられ、枠１３にはワ
ーク９を枠１２側へ案内するワークガイド１４
ｃ，１４ｄが設けられている。また、ベルトコン
ベア１の搬送方向最終端には加工の終了したワー
クが搬入される台１８が設けられている。ここ
で、ワークガイド１４ａ〜１４ｄを左方から見た
場合の側面図を第２図イ〜ニに各々示す。この図
に示すようにワークガイド１４ａ〜１４ｄは各々
枠１２もしくは１３からベルトコンベア１の幅方
向中央部に延びる板状の部材で構成され、ベルト
コンベア１の上面とワークガイド１４ａ〜１４ｄ
の各下端との距離は各々d1，d2，d2，d1となつて
いる。この場合、距離d1，d2は各々５mmおよび30
mm程度に設定されている。したがつて、ベルトコ
ンベア１の上面からの高さが５mm以上30mm以下の
ワークは、ワークガイド１４ａ，１４ｄには案内
されるが、ワークガイド１４ｂ，１４ｃには案内
されずに素通りし、高さが30mm以上のワークはす
べてのワークガイド１４ａ〜１４ｄによつて案内
される。次に、ワーク入出部１５ａについて説明
する。第３図はワーク入出部１５ａの平面図であ
り、この図において２０ａは長方形状のプレート
である。このプレート２０ａ上には軸２１ａを中
心にして回動する略Ｖ字状のレバー２２ａが設け
られており、レバー２２ａの一方の端部２２ａ−
１には凹部２３ａが形成され、レバー２２ａの他
方の端部２２ａ−２には搬送されるワーク９を受
け止める受部２４ａと、ワーク９が受部２４ａに
確実に受け止められた時にONとなるリミツトス
イツチ２５ａとが設けられている。この場合、受
部２４ａに受け止められたワーク９はレバー２２
ａが矢印Ａ方向に回動することにより、ワーク止
め部材２６ａに当接するまで搬送され、部分Ｂに
達する。この部分Ｂにはプレート２０ａの下面側
から光を照射する反射型フオトセンサ２７ａが設
けられてり、このフオトセンサ２７ａの出力信号
により部分Ｂにワーク９があるか否かが検出でき
るようになつている。そして、部分Ｂに載置され
たワーク９はロボツト６によつてNC旋盤３のチ
ヤツク３ａまで搬送され、このチヤツク３ａに把
持されて加工される。また、NC旋盤３による加
工が終了したワーク９はロボツト６によつてチヤ
ツク３ａから部分Ｃまで搬送され、部分Ｃに載置
されたワーク９はレバー２２ａが回動した際にベ
ルトコンベア１上に搬出される。なお、第１図に
示すワーク入出部１５ｂは上述したワーク入出部
１５ａとまつたく同様であるので、その説明を省
略するが、対応する構成要素にはサフイツクスｂ
が付してある。なお、上述した構成におけるベル
トコンベア１、枠１２，１３、ワークガイド１４
ａ〜１４ｄおよびワーク入出部１５ａ，１５ｂに
よりワーク選別搬送部１９が構成されている。
するベルトコンベアであり、このベルトコンベア
１の側方に数値制御旋盤（以下NC旋盤と称す）
２〜４が１列に配置されている。ベルトコンベア
１とNC旋盤２〜４との間には多軸型工業用ロボ
ツト５〜７が各々設けられており、このロボツト
５〜７はアーム５ａ，５ｂ，６ａ，６ｂ，７ａ，
７ｂおよびハンド５ｃ，６ｃ，７ｃを各々適宜旋
回、伸縮あるいは開閉することにより、NC旋盤
２〜４のチヤツク２ａ〜４ａに加工前のワークを
搬送し、また、加工後のワークをチヤツク２ａ〜
４ａからベルトコンベア１へ搬送する。８はロボ
ツト５の近傍に設けられている素材用コンベアで
あり、未加工ワーク９，９…とNC旋盤２で用い
られる工具１０，１０…とを各々楕円状の搬送路
に沿つて循環させている。また、ベルトコンベア
１の両側に近接して枠１２，１３が設けられてお
り、枠１２にはコンベア１上のワーク９を枠１３
側へ案内するワークガイド１４ａ，１４ｂおよび
ワーク９をベルトコンベア１上から取り込んだ
り、ベルトコンベア１上に搬出したりするワーク
入出部１５ａ，１５ｂが設けられ、枠１３にはワ
ーク９を枠１２側へ案内するワークガイド１４
ｃ，１４ｄが設けられている。また、ベルトコン
ベア１の搬送方向最終端には加工の終了したワー
クが搬入される台１８が設けられている。ここ
で、ワークガイド１４ａ〜１４ｄを左方から見た
場合の側面図を第２図イ〜ニに各々示す。この図
に示すようにワークガイド１４ａ〜１４ｄは各々
枠１２もしくは１３からベルトコンベア１の幅方
向中央部に延びる板状の部材で構成され、ベルト
コンベア１の上面とワークガイド１４ａ〜１４ｄ
の各下端との距離は各々d1，d2，d2，d1となつて
いる。この場合、距離d1，d2は各々５mmおよび30
mm程度に設定されている。したがつて、ベルトコ
ンベア１の上面からの高さが５mm以上30mm以下の
ワークは、ワークガイド１４ａ，１４ｄには案内
されるが、ワークガイド１４ｂ，１４ｃには案内
されずに素通りし、高さが30mm以上のワークはす
べてのワークガイド１４ａ〜１４ｄによつて案内
される。次に、ワーク入出部１５ａについて説明
する。第３図はワーク入出部１５ａの平面図であ
り、この図において２０ａは長方形状のプレート
である。このプレート２０ａ上には軸２１ａを中
心にして回動する略Ｖ字状のレバー２２ａが設け
られており、レバー２２ａの一方の端部２２ａ−
１には凹部２３ａが形成され、レバー２２ａの他
方の端部２２ａ−２には搬送されるワーク９を受
け止める受部２４ａと、ワーク９が受部２４ａに
確実に受け止められた時にONとなるリミツトス
イツチ２５ａとが設けられている。この場合、受
部２４ａに受け止められたワーク９はレバー２２
ａが矢印Ａ方向に回動することにより、ワーク止
め部材２６ａに当接するまで搬送され、部分Ｂに
達する。この部分Ｂにはプレート２０ａの下面側
から光を照射する反射型フオトセンサ２７ａが設
けられてり、このフオトセンサ２７ａの出力信号
により部分Ｂにワーク９があるか否かが検出でき
るようになつている。そして、部分Ｂに載置され
たワーク９はロボツト６によつてNC旋盤３のチ
ヤツク３ａまで搬送され、このチヤツク３ａに把
持されて加工される。また、NC旋盤３による加
工が終了したワーク９はロボツト６によつてチヤ
ツク３ａから部分Ｃまで搬送され、部分Ｃに載置
されたワーク９はレバー２２ａが回動した際にベ
ルトコンベア１上に搬出される。なお、第１図に
示すワーク入出部１５ｂは上述したワーク入出部
１５ａとまつたく同様であるので、その説明を省
略するが、対応する構成要素にはサフイツクスｂ
が付してある。なお、上述した構成におけるベル
トコンベア１、枠１２，１３、ワークガイド１４
ａ〜１４ｄおよびワーク入出部１５ａ，１５ｂに
よりワーク選別搬送部１９が構成されている。
次にこの実施例の動作を第１図および第３図を
参照して説明する。
参照して説明する。
まず、ロボツト５が所定のプログラムに従つて
種々の大きさの未加工ワーク９を把んでチヤツク
２ａまで搬送し、また、NC旋盤２による加工が
終了したワーク９をベルトコンベア１上に搬送す
る。そして、ベルトコンベア１上に載置されたワ
ーク９はワークガイド１４ａによつて枠１３側に
寄せられてワークガイド１４ｃの位置に達する。
このワークガイド１４ｃの位置に達したワーク９
のうち形状の大きなものは枠１２側に寄せられ、
形状の小さなものはワークガイド１４ｃの下方を
通過して枠１２側の位置を保持する。なお、以後
説明のために形状の大きなワーク９にはサフイツ
クスａを付し、形状の小さなワーク９にはサフイ
ツクスｂを付す。次に、枠１２側に寄せられたワ
ーク９ａはレバー２２ａの受部２４ａ（第３図）
に当接してリミツトスイツチ２５ａにより検知さ
れる。そして、ワーク入出部１５ａは部分Ｂにワ
ークがないことをフオトセンサ２７ａの出力信号
に基づいて確認した後、レバー２２ａを回動させ
てワーク９ａをワーク止め部材２６ａまで搬送す
る。この時、部分ＣにNC旋盤３から加工の終了
したワーク９ａが搬送されていた場合は、このワ
ーク９ａがベルトコンベア１上に搬出される。一
方、ワークガイド１４ｃの下方を通過したワーク
９ｂは、レバー２２ａには接触せずにワークガイ
ド１４ｄの位置に達し、このワークガイド１４ｄ
により枠１２側に寄せられる。したがつて、ワー
クガイド１４ｄを過ぎた時点ではワーク９ａと９
ｂとは共に枠１２側にある。そして、ワーク９
ａ，９ｂがワークガイド１４ｂの位置に達する
と、ワーク９ａは枠１３側に寄せられ、ワーク９
ｂはワークガイド１４ｂの下方を通過して枠１２
側の位置を保持する。このワークガイド１４ｂの
下方を通過したワーク９ｂはレバー２２ｂに当接
し、ワーク入出部１５ｂは前述したワーク入出部
１５ａと同様の動作を行つてワーク９ｂをワーク
止め部材２６ｂまで搬送するとともに、部分Ｃ
（第３図）にNC旋盤４から加工の終了したワー
ク９ｂが搬送されていた場合は、このワーク９ｂ
をベルトコンベア１上に搬出する。そして、ワー
ク入出部１５ｂによつてベルトコンベア１上に搬
出されたワーク９ｂはそのまま搬送されて台１８
に達し、一方、ワークガイド１４ｂにより枠１３
側に寄せられたワーク９ａはレバー２２ｂには接
触せずに、枠１３側の位置のまま台１８まで搬送
される。
種々の大きさの未加工ワーク９を把んでチヤツク
２ａまで搬送し、また、NC旋盤２による加工が
終了したワーク９をベルトコンベア１上に搬送す
る。そして、ベルトコンベア１上に載置されたワ
ーク９はワークガイド１４ａによつて枠１３側に
寄せられてワークガイド１４ｃの位置に達する。
このワークガイド１４ｃの位置に達したワーク９
のうち形状の大きなものは枠１２側に寄せられ、
形状の小さなものはワークガイド１４ｃの下方を
通過して枠１２側の位置を保持する。なお、以後
説明のために形状の大きなワーク９にはサフイツ
クスａを付し、形状の小さなワーク９にはサフイ
ツクスｂを付す。次に、枠１２側に寄せられたワ
ーク９ａはレバー２２ａの受部２４ａ（第３図）
に当接してリミツトスイツチ２５ａにより検知さ
れる。そして、ワーク入出部１５ａは部分Ｂにワ
ークがないことをフオトセンサ２７ａの出力信号
に基づいて確認した後、レバー２２ａを回動させ
てワーク９ａをワーク止め部材２６ａまで搬送す
る。この時、部分ＣにNC旋盤３から加工の終了
したワーク９ａが搬送されていた場合は、このワ
ーク９ａがベルトコンベア１上に搬出される。一
方、ワークガイド１４ｃの下方を通過したワーク
９ｂは、レバー２２ａには接触せずにワークガイ
ド１４ｄの位置に達し、このワークガイド１４ｄ
により枠１２側に寄せられる。したがつて、ワー
クガイド１４ｄを過ぎた時点ではワーク９ａと９
ｂとは共に枠１２側にある。そして、ワーク９
ａ，９ｂがワークガイド１４ｂの位置に達する
と、ワーク９ａは枠１３側に寄せられ、ワーク９
ｂはワークガイド１４ｂの下方を通過して枠１２
側の位置を保持する。このワークガイド１４ｂの
下方を通過したワーク９ｂはレバー２２ｂに当接
し、ワーク入出部１５ｂは前述したワーク入出部
１５ａと同様の動作を行つてワーク９ｂをワーク
止め部材２６ｂまで搬送するとともに、部分Ｃ
（第３図）にNC旋盤４から加工の終了したワー
ク９ｂが搬送されていた場合は、このワーク９ｂ
をベルトコンベア１上に搬出する。そして、ワー
ク入出部１５ｂによつてベルトコンベア１上に搬
出されたワーク９ｂはそのまま搬送されて台１８
に達し、一方、ワークガイド１４ｂにより枠１３
側に寄せられたワーク９ａはレバー２２ｂには接
触せずに、枠１３側の位置のまま台１８まで搬送
される。
このようにこの実施例においてはワークガイド
１４ａ〜１４ｄによつて、ワーク９が大きさ別に
振り分け選別されるので、NC旋盤２で一次加工
されたワーク９が、NC旋盤３，４へ夫々選別供
給され、したがつて、形状の異なるワークを同一
のラインで加工することができる。
１４ａ〜１４ｄによつて、ワーク９が大きさ別に
振り分け選別されるので、NC旋盤２で一次加工
されたワーク９が、NC旋盤３，４へ夫々選別供
給され、したがつて、形状の異なるワークを同一
のラインで加工することができる。
以上説明したようにこの発明によれば、被加工
物を所定の搬送路に沿つて搬送する搬送部を設け
るとともに、前記搬送路上の被加工物のうち所定
の高さ以上の高さを有する被加工物を前記搬送路
のどちらか一方の側部へ案内し、所定の高さ以下
の高さを有する被加工物をそのまま通過させるワ
ークガイドを前記搬送路に沿つて複数設け、前記
各ワークガイドにより前記被加工物を振り分けて
選別するようにしたので、選別のためにワーク等
にマークを付す必要がなく、しかも、ワークガイ
ドを設けるだけで選別を行うことができるから装
置全体での構成を簡略化することができる。
物を所定の搬送路に沿つて搬送する搬送部を設け
るとともに、前記搬送路上の被加工物のうち所定
の高さ以上の高さを有する被加工物を前記搬送路
のどちらか一方の側部へ案内し、所定の高さ以下
の高さを有する被加工物をそのまま通過させるワ
ークガイドを前記搬送路に沿つて複数設け、前記
各ワークガイドにより前記被加工物を振り分けて
選別するようにしたので、選別のためにワーク等
にマークを付す必要がなく、しかも、ワークガイ
ドを設けるだけで選別を行うことができるから装
置全体での構成を簡略化することができる。
第１図はこの発明の一実施例の構成を示す平面
図、第２図イ〜ニは各々第１図に示すワークガイ
ド１４ａ〜１４ｄの側面図、第３図は第１図に示
すワーク入出部１５ａの構成を示す平面図であ
る。 １……ベルトコンベア（搬送部、搬送路）、２，
３，４……NC旋盤装置（工作機械）、１４ａ〜
１４ｄ……ワークガイド。
図、第２図イ〜ニは各々第１図に示すワークガイ
ド１４ａ〜１４ｄの側面図、第３図は第１図に示
すワーク入出部１５ａの構成を示す平面図であ
る。 １……ベルトコンベア（搬送部、搬送路）、２，
３，４……NC旋盤装置（工作機械）、１４ａ〜
１４ｄ……ワークガイド。
Claims (1)
- １ 複数の工作機械を有するとともに、形状の異
なる被加工物を適宜選別して前記各工作機械へ供
給する加工装置において、前記被加工物を所定の
搬送路に沿つて搬送する搬送部を設けるととも
に、前記搬送路上の被加工物のうち所定の高さ以
上の高さを有する被加工物を前記搬送路のどちら
か一方の側部へ案内し、所定の高さ以下の高さを
有する被加工物をそのまま通過させるワークガイ
ドを前記搬送路に沿つて複数設け、前記各ワーク
ガイドにより前記被加工物を振り分けて選別する
ことを特徴とする加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58057000A JPS59187442A (ja) | 1983-04-01 | 1983-04-01 | 加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58057000A JPS59187442A (ja) | 1983-04-01 | 1983-04-01 | 加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59187442A JPS59187442A (ja) | 1984-10-24 |
| JPH0253185B2 true JPH0253185B2 (ja) | 1990-11-15 |
Family
ID=13043211
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58057000A Granted JPS59187442A (ja) | 1983-04-01 | 1983-04-01 | 加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59187442A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7117876B2 (en) | 1996-09-30 | 2006-10-10 | Akrion Technologies, Inc. | Method of cleaning a side of a thin flat substrate by applying sonic energy to the opposite side of the substrate |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0822492B2 (ja) * | 1986-12-26 | 1996-03-06 | 松下電器産業株式会社 | プリント基板保管箱搬送方法 |
| JP5221017B2 (ja) * | 2005-09-27 | 2013-06-26 | 株式会社安川電機 | 搬送システム |
| JP7743113B1 (ja) * | 2024-08-02 | 2025-09-24 | 株式会社アイファーム | 加工対象物の選別・搬送装置 |
-
1983
- 1983-04-01 JP JP58057000A patent/JPS59187442A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7117876B2 (en) | 1996-09-30 | 2006-10-10 | Akrion Technologies, Inc. | Method of cleaning a side of a thin flat substrate by applying sonic energy to the opposite side of the substrate |
| US7211932B2 (en) | 1996-09-30 | 2007-05-01 | Akrion Technologies, Inc. | Apparatus for megasonic processing of an article |
| US7268469B2 (en) | 1996-09-30 | 2007-09-11 | Akrion Technologies, Inc. | Transducer assembly for megasonic processing of an article and apparatus utilizing the same |
| US7518288B2 (en) | 1996-09-30 | 2009-04-14 | Akrion Technologies, Inc. | System for megasonic processing of an article |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59187442A (ja) | 1984-10-24 |
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