JPH025349A - ディスク電流の異常検知装置 - Google Patents
ディスク電流の異常検知装置Info
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- JPH025349A JPH025349A JP63148717A JP14871788A JPH025349A JP H025349 A JPH025349 A JP H025349A JP 63148717 A JP63148717 A JP 63148717A JP 14871788 A JP14871788 A JP 14871788A JP H025349 A JPH025349 A JP H025349A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 35
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 2
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- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、イオン注入ｍＷにおけるディスク電流の異
常検知装置に関するものである。
常検知装置に関するものである。
イオン注入装置は、ウェハー等のイオン注入対象が搭載
されたディスクを回転並進制御回路により回転並進させ
、イオンビームを照射してイオン注入を行う。この場合
、チャージアンプの防止のため、エレクトロン・シャワ
ーを利用するのが一般的にとなっている。エレクトロン
・シャワーはフィラメントを加熱し、それにより発生す
る熱電子をあるエネルギーで引出し、それを対向面に衝
突させ、その際に発生する２次電子をウェハー面に照射
するものである。
されたディスクを回転並進制御回路により回転並進させ
、イオンビームを照射してイオン注入を行う。この場合
、チャージアンプの防止のため、エレクトロン・シャワ
ーを利用するのが一般的にとなっている。エレクトロン
・シャワーはフィラメントを加熱し、それにより発生す
る熱電子をあるエネルギーで引出し、それを対向面に衝
突させ、その際に発生する２次電子をウェハー面に照射
するものである。
ところが、ウェハーに照射される２次電子の量が不足す
ると（＋）のチャージアップが生じ、多すぎると（−）
のチャージアンプが生ずる。そこでウェハーに照射する
２次電子の量を制御し、ディスクには常に一定の電流が
流れるようにする必要がある。
ると（＋）のチャージアップが生じ、多すぎると（−）
のチャージアンプが生ずる。そこでウェハーに照射する
２次電子の量を制御し、ディスクには常に一定の電流が
流れるようにする必要がある。
しかしながら、エレクトロン・シャワーの制御回路のな
んらかの異常によりディスク電流が設定値から大きく外
れた場合でも、オペレータはそれに気付かずにイオン注
入してしまう場合が生ずる。
んらかの異常によりディスク電流が設定値から大きく外
れた場合でも、オペレータはそれに気付かずにイオン注
入してしまう場合が生ずる。
したがって、この発明の目的は、ディスク電流が設定範
囲からずれたときこれを検出できるようにしたディスク
電流の異常検知装置を提供することである。
囲からずれたときこれを検出できるようにしたディスク
電流の異常検知装置を提供することである。
この発明のディスク電流の異常検知装置は、イオン注入
対象が配設されたディスクに接続されてイオン注入時に
前記ディスクに流れるディスク電流を検出するディスク
電流検出部と、このディスク電流検出部の検出値を上限
値および下限値と比較して前記検出値が前記上限値と前
記下限値の間にない場合に検出信号を出力する比較部と
を備えたＪ）のである。
対象が配設されたディスクに接続されてイオン注入時に
前記ディスクに流れるディスク電流を検出するディスク
電流検出部と、このディスク電流検出部の検出値を上限
値および下限値と比較して前記検出値が前記上限値と前
記下限値の間にない場合に検出信号を出力する比較部と
を備えたＪ）のである。
この発明の構成によれば、ディスクＴ１’ｌＡ＋食出部
で検出した検出値が比較部の第１の基準値と第２の基準
値との間にない場合、比較部より検出信号が出力される
。このため、ディスク電流が設定範囲からずれたときこ
れを検出できる。したがって、たとえば前記検出信号に
よりオペレータにイオン注入を中断させるためのインク
ーロンク信号を発生することができる。
で検出した検出値が比較部の第１の基準値と第２の基準
値との間にない場合、比較部より検出信号が出力される
。このため、ディスク電流が設定範囲からずれたときこ
れを検出できる。したがって、たとえば前記検出信号に
よりオペレータにイオン注入を中断させるためのインク
ーロンク信号を発生することができる。
この発明の一実施例を第１図ないし第２図に基づいて説
明する。すなわち、このディスク電流の異常検知装置は
、ディスク電流検出部１と、比較部２からなる。
明する。すなわち、このディスク電流の異常検知装置は
、ディスク電流検出部１と、比較部２からなる。
ディスク電流検出部１は、ウェハ等のイオン注入対象が
配設されたディスク３に接続されてイオン注入時にディ
スク３に流れるディスク電流を検出するもので、抵抗を
実施例としてビーム中継ボックス１５に設けられ、ディ
スク電流を電圧に変換している。このディスク電流検出
部１はビーム電流を計測しイオン注入装置の制御部に信
号を送信するカレントインテグレータ（図示せず）に直
列に接続されている。
配設されたディスク３に接続されてイオン注入時にディ
スク３に流れるディスク電流を検出するもので、抵抗を
実施例としてビーム中継ボックス１５に設けられ、ディ
スク電流を電圧に変換している。このディスク電流検出
部１はビーム電流を計測しイオン注入装置の制御部に信
号を送信するカレントインテグレータ（図示せず）に直
列に接続されている。
ディスク３の近傍には、ファラデーカップ４が設けられ
るとともに、チャージアップの防止のため中性化用の熱
電子ｅを放出する電子放出部５を設けている。６は中性
化電源であり、電子放出部５の電ａ！８および熱電子引
出用型ｔＡ９を有するとともに、ディスク電流に応じて
電源８を制御するディスク電流制御回路を含むコントロ
ール部７を存する。なお、ディスク電流はイオンビーム
ＩＢの照射によるビーム電流Ｉ８と電子放出部５より発
生する熱電子の流入による２次電子電流１ｅからなる。
るとともに、チャージアップの防止のため中性化用の熱
電子ｅを放出する電子放出部５を設けている。６は中性
化電源であり、電子放出部５の電ａ！８および熱電子引
出用型ｔＡ９を有するとともに、ディスク電流に応じて
電源８を制御するディスク電流制御回路を含むコントロ
ール部７を存する。なお、ディスク電流はイオンビーム
ＩＢの照射によるビーム電流Ｉ８と電子放出部５より発
生する熱電子の流入による２次電子電流１ｅからなる。
比較部２はディスク電流検出部１の検出値を上限値およ
び下限値と比較して前記検出値が前記上限値と前記下限
値の間にない場合に検出信号を出力するものである。比
較部２は実施例ではコントロール部７に設けられる。す
なわち、ディスク電流検出部１の検出値である電圧信号
はディスク電流計測部１０に入力されて他のレベルの電
圧に変換され、比較部２に入力されるとともに、ディス
ク電流制御回路（図示せず）に入力される。
び下限値と比較して前記検出値が前記上限値と前記下限
値の間にない場合に検出信号を出力するものである。比
較部２は実施例ではコントロール部７に設けられる。す
なわち、ディスク電流検出部１の検出値である電圧信号
はディスク電流計測部１０に入力されて他のレベルの電
圧に変換され、比較部２に入力されるとともに、ディス
ク電流制御回路（図示せず）に入力される。
比較部２はウィンドウ型のコンパレータを実施例とし、
上限値と比較するための上限用比較器１１と、下限値と
比較するための下限用比較器１２と、ハイ電圧ｖＨが印
加されて上限用比較器１１の＋側入力端子に接続された
上限値設定用の可変抵抗器１３およびロウ電圧ｖＬが印
加されて下限用比較２Ｓ１２の一例入力端子に接続され
た下限値設定用の可変抵抗器１４からなる。ディスク電
流計測部１０の出力端子は上限用比較器１１の一例入力
端子および下限用比較器１２の＋側入力端子に接続され
る。また上限用比較器１１および下限用比較器１２の出
力端子は電圧＋■が印加されるとともに、検出信号発生
部１６に接続される。検出信号発生部１６はトランジス
タ１７とリレー２０とが直列に接続されてトランジスタ
１７のエミッタ側がアースされリレー側に電圧−■が印
加され、トランジスタ１７のベースに上限用比較器１１
および下限用比較器１２の出力端子が接続される。
上限値と比較するための上限用比較器１１と、下限値と
比較するための下限用比較器１２と、ハイ電圧ｖＨが印
加されて上限用比較器１１の＋側入力端子に接続された
上限値設定用の可変抵抗器１３およびロウ電圧ｖＬが印
加されて下限用比較２Ｓ１２の一例入力端子に接続され
た下限値設定用の可変抵抗器１４からなる。ディスク電
流計測部１０の出力端子は上限用比較器１１の一例入力
端子および下限用比較器１２の＋側入力端子に接続され
る。また上限用比較器１１および下限用比較器１２の出
力端子は電圧＋■が印加されるとともに、検出信号発生
部１６に接続される。検出信号発生部１６はトランジス
タ１７とリレー２０とが直列に接続されてトランジスタ
１７のエミッタ側がアースされリレー側に電圧−■が印
加され、トランジスタ１７のベースに上限用比較器１１
および下限用比較器１２の出力端子が接続される。
１８．１９は抵抗、２１はリレー２０の動作によりオン
となる接点２１であり、検出信号が発生することとなる
。
となる接点２１であり、検出信号が発生することとなる
。
この実施例は、イオンビームＩＢおよび２次電子電流１
ｅ−をディスク３に照射してイオン注入を行うとき、デ
ィスク３にディスク電流が流れ、ディスク電流検出部１
で検出値が電圧信号となってコントロール部７のディス
ク電流計測部１０に入力されである電圧信号に変換され
、比較部２に入力される。比較部２に入力した電圧信号
が上限値および下限値の間にあるときは上限用比較器１
１および下限用比較器１２ともに出力端は十となるため
、トランジスタ１７は導通せず、リレー２０は動作しな
い。比較部２に入力した電圧信号が上限値を越えた場合
には上限用比較器１１の出力端がマイナスとなり、下限
値よりも小さくなった場合には下限用比較器１２の出力
端がマイナスとなり、いずれの場合もトランジスタ１７
のヘース電流が流れるのでリレー２０が動作し、接点２
１がオンとり検出信号が発生する。この検出信号が警報
用のインターロック信号の場合、オペレータは警報によ
りイオン注入を中断することができる。
ｅ−をディスク３に照射してイオン注入を行うとき、デ
ィスク３にディスク電流が流れ、ディスク電流検出部１
で検出値が電圧信号となってコントロール部７のディス
ク電流計測部１０に入力されである電圧信号に変換され
、比較部２に入力される。比較部２に入力した電圧信号
が上限値および下限値の間にあるときは上限用比較器１
１および下限用比較器１２ともに出力端は十となるため
、トランジスタ１７は導通せず、リレー２０は動作しな
い。比較部２に入力した電圧信号が上限値を越えた場合
には上限用比較器１１の出力端がマイナスとなり、下限
値よりも小さくなった場合には下限用比較器１２の出力
端がマイナスとなり、いずれの場合もトランジスタ１７
のヘース電流が流れるのでリレー２０が動作し、接点２
１がオンとり検出信号が発生する。この検出信号が警報
用のインターロック信号の場合、オペレータは警報によ
りイオン注入を中断することができる。
この発明のディスク電流の異常検知装置によれば、ディ
スク電流検出部で検出した検出値が比較部の第１の基準
値と第２の基準値との間にない場合、比較部より検出信
号が出力される。このため、ディスク電流が設定範囲か
らずれたときこれを検出できる。したがって、たとえば
前記検出信号によりオペレータにイオン注入を中断させ
るためのインターロック信号を発生することができると
いう効果がある。
スク電流検出部で検出した検出値が比較部の第１の基準
値と第２の基準値との間にない場合、比較部より検出信
号が出力される。このため、ディスク電流が設定範囲か
らずれたときこれを検出できる。したがって、たとえば
前記検出信号によりオペレータにイオン注入を中断させ
るためのインターロック信号を発生することができると
いう効果がある。
第１図はこの発明の一実施例の説明図、第２図は比較部
の回路図である。 １・・・ディスク電流検出部、２・・・比較部２ ｔ
′Ｖ Ｎ
の回路図である。 １・・・ディスク電流検出部、２・・・比較部２ ｔ
′Ｖ Ｎ
Claims (1)
- イオン注入対象が配設されたディスクに接続されてイオ
ン注入時に前記ディスクに流れるディスク電流を検出す
るディスク電流検出部と、このディスク電流検出部の検
出値を上限値および下限値と比較して前記検出値が前記
上限値と前記下限値の間にない場合に検出信号を出力す
る比較部とを備えたディスク電流の異常検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63148717A JPH025349A (ja) | 1988-06-15 | 1988-06-15 | ディスク電流の異常検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63148717A JPH025349A (ja) | 1988-06-15 | 1988-06-15 | ディスク電流の異常検知装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH025349A true JPH025349A (ja) | 1990-01-10 |
Family
ID=15459022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63148717A Pending JPH025349A (ja) | 1988-06-15 | 1988-06-15 | ディスク電流の異常検知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH025349A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6918566B2 (en) | 2001-11-16 | 2005-07-19 | Murakami Corporation | Accessory holder in cabin |
-
1988
- 1988-06-15 JP JP63148717A patent/JPH025349A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6918566B2 (en) | 2001-11-16 | 2005-07-19 | Murakami Corporation | Accessory holder in cabin |
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