JPH0253942U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0253942U JPH0253942U JP13311488U JP13311488U JPH0253942U JP H0253942 U JPH0253942 U JP H0253942U JP 13311488 U JP13311488 U JP 13311488U JP 13311488 U JP13311488 U JP 13311488U JP H0253942 U JPH0253942 U JP H0253942U
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- JP
- Japan
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- silicon
- gas supply
- supply mechanism
- mechanism section
- plasma
- Prior art date
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- Pending
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- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 4
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- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 2
- 238000010000 carbonizing Methods 0.000 claims 1
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- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Description
第１図は本考案の炭化ケイ素炉芯管製造装置を
示す断面図である。 １…ＣＨ４ガス源、２…Ｈ２ガス源、３…Ａｒ
ガス源、４…ニードルバルブ、５…ガスラインフ
イルタ、６…マスフローコントローラ、７…圧力
計、８…ストツプバルブ、９…ケイ素炉芯管、１
０…誘導コイル、１１…高周波発振器、１２…電
力計、１３…トラツプ、１４…真空ポンプ、Ａ，
Ｃ…機構部、Ｂ…制御部、Ｄ…排気部。
示す断面図である。 １…ＣＨ４ガス源、２…Ｈ２ガス源、３…Ａｒ
ガス源、４…ニードルバルブ、５…ガスラインフ
イルタ、６…マスフローコントローラ、７…圧力
計、８…ストツプバルブ、９…ケイ素炉芯管、１
０…誘導コイル、１１…高周波発振器、１２…電
力計、１３…トラツプ、１４…真空ポンプ、Ａ，
Ｃ…機構部、Ｂ…制御部、Ｄ…排気部。
Claims (1)
- ＣＨ４―Ｈ２系プラズマ又はＣＨ４―Ａｒ系プ
ラズマ用のガスを供給するガス供給機構部と、該
ガス供給機構部からのガスをケイ素炉芯管内にて
イオン化し、そのプラズマ反応による該ケイ素炉
芯管の内壁へのスパツタリングによりケイ素を炭
化させて炭化ケイ素炉芯管を完成させるプラズマ
反応機構部とを有することを特徴とする炭化ケイ
素炉芯管製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13311488U JPH0253942U (ja) | 1988-10-12 | 1988-10-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13311488U JPH0253942U (ja) | 1988-10-12 | 1988-10-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0253942U true JPH0253942U (ja) | 1990-04-18 |
Family
ID=31390691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13311488U Pending JPH0253942U (ja) | 1988-10-12 | 1988-10-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0253942U (ja) |
-
1988
- 1988-10-12 JP JP13311488U patent/JPH0253942U/ja active Pending