JPH0245627U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0245627U JPH0245627U JP12482088U JP12482088U JPH0245627U JP H0245627 U JPH0245627 U JP H0245627U JP 12482088 U JP12482088 U JP 12482088U JP 12482088 U JP12482088 U JP 12482088U JP H0245627 U JPH0245627 U JP H0245627U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor phase
- core tube
- phase growth
- growth apparatus
- furnace core
- Prior art date
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- Pending
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Description
第１図は本考案の一実施例の構成図、第２図は
従来の減圧気相成長装置の構成図である。 １１，２１……石英炉芯管、１２，２２……ヒ
ーター、１３，２３……反応ガス、１４，２４…
…メカニカルブースターポンプ、１５，２５……
ロータリーポンプ、１６，２６……ウエハー、１
７，２７……石英治具。
従来の減圧気相成長装置の構成図である。 １１，２１……石英炉芯管、１２，２２……ヒ
ーター、１３，２３……反応ガス、１４，２４…
…メカニカルブースターポンプ、１５，２５……
ロータリーポンプ、１６，２６……ウエハー、１
７，２７……石英治具。
Claims (1)
- 反応ガス導入部から排気部に向かつて径を小さ
くした炉芯管を有することを特徴とする減圧気相
成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12482088U JPH0245627U (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12482088U JPH0245627U (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0245627U true JPH0245627U (ja) | 1990-03-29 |
Family
ID=31374883
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12482088U Pending JPH0245627U (ja) | 1988-09-22 | 1988-09-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0245627U (ja) |
-
1988
- 1988-09-22 JP JP12482088U patent/JPH0245627U/ja active Pending