JPH0254448A - 光磁気ディスク媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光磁気ディスク媒体、特に、高品質、高性能
な光磁気ディスク媒体に関する。

〔従来の技術〕

従来の光磁気ディスク媒体は、第２図に示すごとく、デ
ィスク基板１の上に希土類金属薄膜２′と、遷移金属薄
膜４とが交互に繰り返し成膜されるが、希土類金属薄膜
２′および遷移金属薄膜４の信頼性、特に耐酸化性を向
上させるためにＴｉ１Ｃｒ等の不働態を形成する金属お
よびＰｔ等の不活性金属の少なくとも一つを記録膜中に
ほぼ均一に添加することが行われている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、このような上述した従来の光磁気ディス
ク媒体は、希土類金属薄膜と遷移金属薄膜に、Ｔｉ、Ｃ
ｒあるいは、Ｐｔ等の金属を、記録膜全体にほぼ均一に
添加し、記録膜の耐酸化性を向上させることはできるが
、媒体の記録再生特性における信号量（キャリア）が大
幅に減少してしまうという欠点がある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の光磁気ディスク媒体は、遷移金属薄膜に比べて
酸化され易い希土類金属薄膜中に、遷移金属薄膜よりも
高濃度のＴｉ、Ｃｒ、Ｐｔ等の元素を添加して構成され
る。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について、図面を参照して説明す
る。

第１図は本発明の一実施例を示す断面図である。

第１図に示す光磁気ディスク媒体は、誘電体層を積載し
たディスク基板１の面上に、ＴｂＴｉ合金、および、Ｆ
ｅＣｏＴｉ合金をターゲットとした通常の方法による共
スパッタ法により、Ｔｂよりなる希土類金属薄膜２およ
びＦｅＣｏよりなる遷移金属薄膜３からなりＴｉなどの
添加元素を添加して成膜される。

この光磁気ディスク媒体は、記録膜の記録再生特性が同
等の耐酸化性を有する従来の記録膜に比べて、信号量と
して１．０．８〜１．５ｄＢ大きな値が得られた。

ここでは、希土類金属として、Ｔｂ、遷移金属として、
ＦｅおよびＣｏを用いた例を示したが、希土類金属、お
よび遷移金属としては、例示した元素に限定されるもの
ではなく、記録膜の成膜用のターゲットとしては、希土
類金属添加元素、および、遷移金属添加元素系とに限定
されることもなく、希土類金属ターゲット、遷移金属タ
ーゲット、および、添加元素ターゲットとを用いた多元
スパッタ法によることもできる。

また、これらのターゲットを上述とは別の組み合わせで
用いて成膜することもできる。

さらに、成膜法としては、スパッタ法に限定されること
はなく、前記各種の材料をソースとして用いた蒸着法に
よっても、成膜することができる。

〔発明の効果〕

本発明の光磁気ディスク媒体は、遷移金属に比べて酸化
され易い希土類金属薄膜中に、遷移金属薄膜中よりも高
濃度の不働態を形成する金属および不活性金属元素の少
なくとも１つを添加することにより、記録膜の耐酸化性
を強化し、遷移金属薄膜中には、希土類薄膜中より低濃
度の添加元素を添加することにより、ディスク媒体の記
録再生特性における信号量の減少を大幅に抑制すること
ができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す断面図、第２図は従来
の一例を示す断面図である。 １・・・・・・ディスク基板、２，２′・・・・・・希
土類金属薄膜、３・・・・・・遷移金属薄膜、４・・・
・・・遷移金属薄膜。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 遷移金属薄膜と、前記遷移金属薄膜中よりも高濃度に不
   働態を形成する金属および不活性金属の少なくとも一方
   が高濃度に添加され前記遷移金属薄膜と交互に繰り返し
   成膜される希土類金属薄膜とを含むことを特徴とする光
   磁気ディスク媒体。