JPH02557B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02557B2 JPH02557B2 JP56109825A JP10982581A JPH02557B2 JP H02557 B2 JPH02557 B2 JP H02557B2 JP 56109825 A JP56109825 A JP 56109825A JP 10982581 A JP10982581 A JP 10982581A JP H02557 B2 JPH02557 B2 JP H02557B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oil
- stage
- exhaust valve
- rotary vacuum
- vacuum pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/02—Lubrication; Lubricant separation
- F04C29/026—Lubricant separation
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は油回転真空ポンプに係り、特に、吸気
をオイルミストと共に排気する方式の油回転真空
ポンプに関するものである。
をオイルミストと共に排気する方式の油回転真空
ポンプに関するものである。
従来の油回転真空ポンプを第１図によつて説明
する。図はその縦断面図で、１は第１段排気弁、
２は第２段排気弁、３はオイルボツクス、４は排
気室、５は油層、６は第１段ポンプ室、７は第２
段ポンプ室である。８は第１段ポンプ室６及び第
２段ポンプ室７への給油を行うカムロータであ
り、該カムロータ８の回転によりオイルボツクス
３内の油が通路１５を通つて第１段ポンプ室６に
入り、ポンプ室６から通路１６を通つて第２段ポ
ンプ室７に入る。カムロータ８による潤滑油の供
給機構は例えば実公昭56−9114号公報に示されて
いる。この油回転真空ポンプの第１段排気弁１お
よび第２段排気弁２から排出される排気は、オイ
ルミストを含んだ状態で排気室４内に吐き出され
る。そのため、排気中に水分や腐食性ガスを含ん
でいる場合は、オイルボツクス３の内壁で冷却さ
れ油層５中に混入して油の劣化を早める原因とな
つていた。さらに、給油機構部のカムロータ８に
よつて油層５内の油は常時撹拌が続けられる状態
にあるため、油中の水分や油劣化物によりポンプ
本体に発錆したり、回転、摺動部等の潤滑に支障
を生じポンプを停止させる原因になるなどの欠点
を有するものであつた。
する。図はその縦断面図で、１は第１段排気弁、
２は第２段排気弁、３はオイルボツクス、４は排
気室、５は油層、６は第１段ポンプ室、７は第２
段ポンプ室である。８は第１段ポンプ室６及び第
２段ポンプ室７への給油を行うカムロータであ
り、該カムロータ８の回転によりオイルボツクス
３内の油が通路１５を通つて第１段ポンプ室６に
入り、ポンプ室６から通路１６を通つて第２段ポ
ンプ室７に入る。カムロータ８による潤滑油の供
給機構は例えば実公昭56−9114号公報に示されて
いる。この油回転真空ポンプの第１段排気弁１お
よび第２段排気弁２から排出される排気は、オイ
ルミストを含んだ状態で排気室４内に吐き出され
る。そのため、排気中に水分や腐食性ガスを含ん
でいる場合は、オイルボツクス３の内壁で冷却さ
れ油層５中に混入して油の劣化を早める原因とな
つていた。さらに、給油機構部のカムロータ８に
よつて油層５内の油は常時撹拌が続けられる状態
にあるため、油中の水分や油劣化物によりポンプ
本体に発錆したり、回転、摺動部等の潤滑に支障
を生じポンプを停止させる原因になるなどの欠点
を有するものであつた。
本発明の目的は、上記に鑑みてなされたもの
で、オイルボツクス中の油の劣化を防止し円滑な
運転が持続できる油回転真空ポンプを提供するこ
とにある。
で、オイルボツクス中の油の劣化を防止し円滑な
運転が持続できる油回転真空ポンプを提供するこ
とにある。
本発明は、油を収容したオイルボツクスを備
え、該オイルボツクス中に、第１段排気弁を有す
る第１段ポンプ室および第２段排気弁を有する第
２段ポンプ室並びに給油機構部のカムロータを備
えた油回転真空ポンプにおいて、前記オイルボツ
クス底部に、フイルターを用いて仕切られた沈澱
部を設け、該沈澱部と前記第１段排気弁及び前記
第２段排気弁との間に、前記第１段排気弁及び前
第２段排気弁からの排気を前記沈澱部に導入する
導管を設けたことを特徴とするものである。
え、該オイルボツクス中に、第１段排気弁を有す
る第１段ポンプ室および第２段排気弁を有する第
２段ポンプ室並びに給油機構部のカムロータを備
えた油回転真空ポンプにおいて、前記オイルボツ
クス底部に、フイルターを用いて仕切られた沈澱
部を設け、該沈澱部と前記第１段排気弁及び前記
第２段排気弁との間に、前記第１段排気弁及び前
第２段排気弁からの排気を前記沈澱部に導入する
導管を設けたことを特徴とするものである。
以下本発明の一実施例を図面によつて説明す
る。第２図は本発明の油回転真空ポンプの縦断面
図で、第１図と同一部分または同一に作用する部
分には同一符号が付してあり、この実施例が従来
の油回転真空ポンプと異なるところは、オイルボ
ツクス３の底部に、フイルター９を用いて仕切ら
れた沈澱部１０を設け、該沈澱部１０に、第１段
排気弁１および第２段排気弁２の排気を導入する
導管１１を設けて連通させ、かつ、カムロータ８
に、フイルター１２を介して給油可能にカバー１
３を設けている点である。この構造によれば、第
１段排気弁１および第２段排気弁２の排気は排気
室４に直接吐き出されることなくオイルミストの
酸化等による劣化を防ぎながらすべて沈澱部１０
に導入され、水分や油劣化物などを沈澱させ、フ
イルター９，１２を介して清浄油を循環供給させ
ることができる。さらに、カムロータ８による撹
拌作用はカバー８内にとどめることができるので
油層５内並びに油面の動揺が避けられ、油の劣化
を防止できる。なお、のぞき窓１４を設けること
によりフイルター１２の目づまりを観察できる。
る。第２図は本発明の油回転真空ポンプの縦断面
図で、第１図と同一部分または同一に作用する部
分には同一符号が付してあり、この実施例が従来
の油回転真空ポンプと異なるところは、オイルボ
ツクス３の底部に、フイルター９を用いて仕切ら
れた沈澱部１０を設け、該沈澱部１０に、第１段
排気弁１および第２段排気弁２の排気を導入する
導管１１を設けて連通させ、かつ、カムロータ８
に、フイルター１２を介して給油可能にカバー１
３を設けている点である。この構造によれば、第
１段排気弁１および第２段排気弁２の排気は排気
室４に直接吐き出されることなくオイルミストの
酸化等による劣化を防ぎながらすべて沈澱部１０
に導入され、水分や油劣化物などを沈澱させ、フ
イルター９，１２を介して清浄油を循環供給させ
ることができる。さらに、カムロータ８による撹
拌作用はカバー８内にとどめることができるので
油層５内並びに油面の動揺が避けられ、油の劣化
を防止できる。なお、のぞき窓１４を設けること
によりフイルター１２の目づまりを観察できる。
以上説明したように、本発明によれば、オイル
ボツクス中の油の劣化を防止できるので、ポンプ
本体の発錆や、回転、摺動部等の潤滑の支障が生
じ難くなり円滑な運転の持続が可能になるという
実用的効果を奏することができる。
ボツクス中の油の劣化を防止できるので、ポンプ
本体の発錆や、回転、摺動部等の潤滑の支障が生
じ難くなり円滑な運転の持続が可能になるという
実用的効果を奏することができる。
第１図は従来の油回転真空ポンプの縦断面図、
第２図は本発明の一実施例の油回転真空ポンプの
縦断面図である。 １……第１段排気弁、２……第２段排気弁、３
……オイルボツクス、４……排気室、５……油
層、８……カムロータ、９，１２……フイルタ
ー、１０……沈澱部、１１……導管、１３……カ
バー。
第２図は本発明の一実施例の油回転真空ポンプの
縦断面図である。 １……第１段排気弁、２……第２段排気弁、３
……オイルボツクス、４……排気室、５……油
層、８……カムロータ、９，１２……フイルタ
ー、１０……沈澱部、１１……導管、１３……カ
バー。
Claims (1)
- １ 油を収容したオイルボツクスを備え、該オイ
ルボツクス中に、第１段排気弁を有する第１段ポ
ンプ室および第１段排気弁を有する第２段ポンプ
室並びに給油機構部のカムロータを備えた油回転
真空ポンプにおいて、前記オイルボツクス底部
に、フイルターを用いて仕切られた沈澱部を設
け、該沈澱部と前記第１段排気弁及び前記第２段
排気弁との間に、前記第１段排気弁及び前第２段
排気弁からの排気を前記沈澱部に導入する導管を
設けたことを特徴とする油回転真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10982581A JPS5813186A (ja) | 1981-07-13 | 1981-07-13 | 油回転真空ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10982581A JPS5813186A (ja) | 1981-07-13 | 1981-07-13 | 油回転真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5813186A JPS5813186A (ja) | 1983-01-25 |
| JPH02557B2 true JPH02557B2 (ja) | 1990-01-08 |
Family
ID=14520161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10982581A Granted JPS5813186A (ja) | 1981-07-13 | 1981-07-13 | 油回転真空ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5813186A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10150015A1 (de) * | 2001-10-11 | 2003-04-17 | Leybold Vakuum Gmbh | Mehrkammeranlage zur Behandlung von Gegenständen unter Vakuum, Verfahren zur Evakuierung dieser Anlage und Evakuierungssystem dafür |
| WO2011037132A1 (ja) * | 2009-09-25 | 2011-03-31 | 株式会社アルバック | 油回転真空ポンプ |
| JP2021008833A (ja) * | 2019-06-28 | 2021-01-28 | 株式会社アルバック | 真空ポンプ |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5214490U (ja) * | 1975-07-18 | 1977-02-01 |
-
1981
- 1981-07-13 JP JP10982581A patent/JPS5813186A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5813186A (ja) | 1983-01-25 |
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